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41.
42.
Monte Carlo方法研究低能电子束曝光沉积能分布规律   总被引:4,自引:0,他引:4       下载免费PDF全文
建立一个描述低能电子在多元多层介质中散射的物理模型,运用MonteCarlo方法模拟低能电子在靶体胶衬底中的复杂散射过程,在此基础上通过大量计算研究入射束能、胶层厚度、衬底材料等不同曝光条件对抗蚀剂沉积能密度分布的影响,获得沉积能分布规律:适量的低束能、薄胶层、低原子序数衬底可以使前散射电子对胶中沉积能密度分布的贡献增大、背散射电子的贡献减小,从而提高曝光分辨率. 关键词: 电子束曝光 MonteCarlo方法 低能电子散射 能量沉积  相似文献   
43.
Many Ligularia species have long been used as traditional folk medicine for theirantibiotic, antiphlogistic and antitussive activities1, and were found to be an importantsource of eremophilane. In the course of our search for bioactive sesquiterpenoids, w…  相似文献   
44.
邓薇  严培胜  高成修 《数学杂志》2006,26(5):545-550
本文提出了带时间窗和车辆数目限制的车辆路线问题的数学模型,针对该问题的特征构造了一种路线生成算法和禁忌搜索算法,并对Solomon提出的C1、R1、RC1类数据集给出了数值运算的结果,实验结果表明算法是有效的.  相似文献   
45.
带有单模糊映射的一般变分不等式解的存在性   总被引:1,自引:1,他引:0  
众所周知,在各种变分不等式问题中,解的存在性是最基础也是最重要的问题之一.本文的目的是在Hilbert空间中研究带有单模糊映射的一般变分不等式解的存在性.此外,还讨论了几种特殊情况.  相似文献   
46.
采用差示FTIR光谱技术,研究了氯柱硼镁石在30℃下浓度为0.5,12和18%MgCl_2水溶液中溶解及相转化平衡饱和水溶液中硼氧配阴离子的FTIR光谱。给出了溶液中硼氧配阴离子的FTIR光谱振动频率的归属,515cm~(-1)为单和二硼氧配阴离子特征峰,630cm~(-1)为三硼氧配阴离子特征峰,550cm~(-1)为四硼氧配阴离子特征峰。对饱和水溶液中硼氧配阴离子的存在形式及其相互作用以及与相转化析出固相的关系进行了讨论。  相似文献   
47.
基于Lee等人的离子温度梯度模导致的反常热能输运系数,本文研究了辅助加热托卡马克等离子体的能量约束行为,并对自举电流的效应作了初步考虑。结果表明,计算得到的能量约束时间随等离子体电流I_p和托卡马克大半径R增大而增长,随注入功率P_t、环向场B_t以及等离子体小半径α的增大而缩短。这些结果与Kaye-Goldston的经验约束定标具有相同的趋势。自举电流的存在总是导致能量约束时间的增加,当自举电流与总电流的比值γ较小时,能量约束时间的增加率约为γ/2。此外,自举电流将造成锯齿反转半径的减小。  相似文献   
48.
木文对Ginzburg-Landau-Newed模型的动力学行为进行了讨论,得到了该模型的整体吸引子的存在性,同时得到了此吸引子维数的下界估计和该吸引子的Hausdorff维数和Wactal(分形)维数的上界估计.  相似文献   
49.
MeasurementoftheFirstHyperpolarizabilityofSubstitutedKeteneN,S-acetalsbyHyper-RayleighScatteringinSolutionGAOXingyu;CHENJingb...  相似文献   
50.
停流—荧光动力学分析法测定痕量钛的研究   总被引:3,自引:1,他引:2  
利用自行组装的停流-荧光动力学分析仪,采用停流法汇合流体动力注入技术,研究了钛与3.5-二溴水杨基荧光酮的荧光增强动力学反应性质,讨论了流速、进样时间对方法灵敏度和精密度的影响,提出了一个快速、简便、精确测定钛的分析方法,并用于稀土样品及合成样品中痕量钛的测定.方法检测限为8×10~(-3)ppm,大多数元素的干扰均可用动力学方法消除.  相似文献   
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