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研究了自组织生长SiGe岛(量子点)中Si组分对形状演化的影响.采用UHV/CVD方法生长了 不同Si组分的SiGe岛,用AFM对其形状和尺寸分布进行了分析,实验结果表明SiGe岛从金字 塔形向圆顶形转变的临界体积随Si组分的增大而增大.通过对量子点能量的应变能项进行修正,解释了量子点中Si组分对形状演化的影响.在特定的工艺条件下得到了单模尺寸分布的 金字塔和圆顶形量子点.结果表明,通过调节SiGe岛中的Si组分,可以实现对SiGe岛形状和 尺寸的控制.
关键词:
自组织生长SiGe岛
Si组分
临界体积 相似文献
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非离子型水性环氧乳液的制备工艺及性能研究 总被引:1,自引:0,他引:1
采用实验室自制的非离子型高分子乳化剂通过相反转法对环氧树脂E-20进行乳化分散来制备水性环氧乳液,对环氧树脂乳化的工艺条件进行了优化研究,并对不同条件的乳液进行了综合性能的分析。具体工艺条件包括:环氧树脂乳液体系中各物料的比例关系,乳化时体系的温度和搅拌速度。结果表明,乳化剂含量为12.5%,助溶剂含量为11.5%,乳化温度为30℃,搅拌速度为300r/min时,乳液的稳定性及漆膜的综合性能(包括漆膜的力学性能和抗腐蚀性能)佳。 相似文献
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UHV/CVD硅锗膜的Raman光谱分析 总被引:6,自引:0,他引:6
本文提出一种用Raman光谱测量SiGe合金膜中的锗组分及应变的方法,方法是非破坏的。并用这一方法测量了几种不同锗组分和膜厚度的SiGe合金样品,它们都是用UHV/CVD设备生长的,其中两个样品还与X-射线双晶衍射的结果作了比较,两种方法的结果十分一致,这说明本文提出的方法是准确可靠的,这些样品用于制作SiGe/Si异质结PMOSFET,对0.5um 沟长器件,跨导达112ms.mm^-1。 相似文献
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