光刻技术:发展路径及未来趋势

光刻技术在半导体器件大规模生产中发挥重要作用.今天,多数先进半导体生产都已经应用ArF准分子激光浸润光刻技术.双重图像曝光和侧壁图像转移技术使ArF准分子激光浸润光刻技术延伸到32纳米半节距(HP)器件的制造成为可能.为了制造更小尺寸的器件,必须开发新的制造工艺.极端紫外线光刻是制造22纳米半节距甚至更小尺寸半导体器件的先进下一代光刻技术解决方案.另外,其他技术解决方案,如纳米压印光刻技术和无掩模直描光刻技术等也被考虑用于制造更小节点尺寸的器件,但是目前这些方案仅仅处在研发阶段,而且在现阶段就已经呈现出在大规模生产中的诸多困难.本文从材料的角度对光刻技术进行一个整体描述,并对光刻技术未来趋势进行讨论.     

聚对苯二甲酸丁二酯/水滑石纳米复合材料的制备与表征

聚对苯二甲酸丁二酯;水滑石;对苯二甲酸;纳米复合     

生物质合成气一步法合成LPG的实验研究

由生物质气化合成液体燃料(甲醇、二甲醇和低碳烃类),是理想的碳中性绿色燃料,将其用作城市交通和民用燃料,已经引起全世界的广泛关注.[1,2]     

麝香草的新单萜配糖物的分离与合成

从麝香草(Thymus vulgaris L)的甲醇萃取物中分离出三个单萜配糖物. 用核磁共振光谱确定了它们的结构为对伞花-9-基-β-D-葡糖苷(1), 5-β-D-葡糖苷百里氢醌(2)和2-β-D-葡糖苷百里氢醌(3). 其中1是新化合物, 用以对伞花-9-醇为原料的对映体选择性合成方法确定了化合物1的8位的立体化学为R型.     

用偶合反应流动注射化学发光法测定矿样和水样中的痕量铊

将Tl(Ⅲ)置换Co(Ⅱ)-EDTA配合物中的Co(Ⅱ)与Co(Ⅱ)-鲁米诺-H2O2化学发光体系相偶合,建立了流动注射化学发光测定铊的新方法。本方法测定铊的线性范围为3.0×10-6~1.0×10-2mg/mL,检出限为1.0×10-6mg/mL。对1.0×10-4mg/mL的Tl(Ⅲ)标准溶液连续11次测定的相对标准偏差为2.0%。方法可用于矿样和水样中铊的测定。     

2,2’-二氨基苯氧基二硫化物的电极过程动力学研究

利用循环伏安法、线性伏安法及旋转圆盘电极技术，研究了2,2’-二氨基苯氧基二硫化物(DAPOD)在含有0.1 mol•L－1 LiClO4电解质的乙腈/四氢呋喃有机溶液中，铂、金、玻碳及石墨电极上的电化学行为.伏安结果表明DAPOD中的二硫键与硫巯基之间的氧化还原反应属动力学不可逆过程，这种在室温下表现出的电化学反应不可逆性是有机二硫化物普遍存在的不足，必须通过分子内或分子间的电催化来改善其可逆性能.旋转圆盘电极测试结果显示， DAPOD的阴极还原反应级数为0.5，阳极氧化反应级数为1.由此推知DAPOD电还原属两电子转移反应，分两步完成：第一步为平衡的化学反应步骤；第二步为电子转移步骤，属决速步.同时还测定了DAPOD的阴极与阳极传递系数、交换电流、平衡电势及标准速率常数等相关的动力学常数.通过比较铂、金、玻碳及石墨四种不同材料电极对DAPOD的电极过程的影响,发现石墨对DAPOD的还原过程具有电催化作用.     

短尾蝮新突触前毒素和细胞毒素的纯化及部分序列

用反相高效液相色谱技术对中国产短尾蝮蛇(Agkistrodon blomhoffii brevicaudus)毒中的毒性蛋白重新进行了纯化,结果从中获得了3个由约122个氨基酸残基构成的毒蛋白(AgTx-1,AgTx-2和AgTx-3)。三者对小鼠的LD_(50)分别为0.075,0.51和6.6mg/kg。在小鸡颈二腹肌标本上的毒理分析表明,AgTx-1和AgTx-2均在阻遏接头传递之后,亦不影响肌肉对乙酰胆碱的敏感性。在AgTx-3的作用下,标本的间接收缩则由于舒张不全而逐渐变小,最后停止在挛缩状态。部分氨基酸序列测定结果又表明,AgTx-1和AgTx-2的N-端32肽序列完全相同。考虑到AgTx-1的LD_(50)在粗毒中的含量及其序列等均与前文报道的β-AgTx极为相似,故我们认定它们为同一毒素,并定名为β_1-AgTx。而AgTx-2则应是新的突触前毒素,相应地定名为β_2-AgTx,至于AgTx-3便是新发现的细胞毒素。     

示波极谱法直接测定水中超痕量钨

本文对钨—溴邻苯三酚红极谱催化波进行了研究,发现体系中加入四乙基碘化铵后,极谱渡高明显增加,体系的稳定性显著提高,检出限达1.8×10~(-11)mol/L。确定了最佳条件,拟定了不经分离富集直接测定水中痕量钨的方法。此外还对极谱波性质进行了探讨,证明该极谱波为配合物吸附催化氢波,讨论了阳离子表面活性物质对催化氢波的作用机理。     

变分过渡态理论对OCS,CO2,CS2体系的研究

本文用变分过渡态理论,首次对无鞍点的释能反应O+CS→CO+S、O+CO→CO+O和S+CS→CS+S进行了动力学研究,考察了反应动力学瓶颈区性质,计算了反应的速度常数,并将O+CS反应的速度常数值与实验值及经典轨迹计算结果进行了比较,三者基本相符.