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为了解决半导体激光器传统刻蚀工艺中侧壁陡直度差和器件难以重复制作的问题,利用湿法腐蚀与干法刻蚀相结合的刻蚀手段,对980nm锥形半导体激光器刻蚀工艺进行优化.通过对台面粗糙度与刻蚀速度的研究,确定湿法腐蚀液和浓度配比的差异.并分析电感耦合等离子刻蚀对脊波导与腔破坏凹槽表面形貌的影响.研究结果表明,选择配比为NH_3·H_2O∶H_2O_2∶H_2O=1∶1∶50的腐蚀液进行湿法腐蚀,刻蚀速率约为7nm/s,速率容易控制.且样品表面具有较好的粗糙度和均匀性,利用电感耦合等离子刻蚀得到的脊波导与腔破坏凹槽侧壁陡直度良好,没有出现横向钻蚀的情况. 相似文献
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合成了O,O′-二(4-甲苯基)二硫代磷酸N,N-二乙铵([Et2NH2][(4-MeC6H4O)2PS2],NOP),采用元素分析、红外光谱、核磁共振谱和单晶X射线衍射测试技术对其结构进行了表征,同时研究了NOP的热稳定性和缓蚀性。 NOP晶体属单斜晶系,P21/n空间群,晶胞参数为:a=1.424 1(3) nm,b=2.008 7(4) nm,c=1.436 6(3) nm,V=3.959 9(15) nm3,Dc=1.286 Mg/m3,Z=8,F(000)=1.632,μ(MoKα)=0.360 mm-1,S=1.001,(Δ/σ)max=0.001,R1=0.077 6,wR2=0.174 9(I>2σ(I))。 NOP的不对称结构单元中包括2个独立的子单元,2个子单元之间通过N-H…S氢键形成了一维链结构。 在H2SO4溶液中,NOP能有效抑制Q235钢的腐蚀,是一种抑制阳极反应为主的高效混合型缓蚀剂;NOP在Q235钢表面的吸附符合Langmuir吸附等温式,属自发进行的物理和化学吸附。 CCDC813309 相似文献
113.
磷钨钒杂多酸相转移催化剂的制备及其深度氧化脱硫性能 《燃料化学学报》2019,47(11):1337-1345
以钒原子取代的Keggin型磷钨杂多酸与不同的季铵类阳离子表面活性剂反应合成了一系列磷钨钒杂多酸相转移催化剂,采用红外和X射线衍射对催化剂进行了表征。以H_2O_2为氧化剂,对模型柴油的氧化脱硫反应进行了研究,考察了季胺类表面活性剂种类、不同季胺盐含量、催化剂用量、氧硫比、反应温度等参数对反应的影响。结果表明,所制备的杂多酸相转移催化剂保留有杂多酸阴离子和季铵盐阳离子的结构特征。[(C_(16)H_(33)(CH_3)_3) N]_3H[PW_(11)VO_(40)]催化剂具有最佳的氧化脱硫性能和重复使用性能,在n(催化剂)/n(模型柴油)=1∶80,n(H_2O_2)/n(模型柴油)=8∶1,反应温度50℃,反应时间3 h的反应条件下,二苯并噻吩的转化率可达到100%;催化剂重复使用五次后,转化率为99.7%。反应过程中,该催化剂与反应物形成微乳体系,如同一个均相混合物,而反应结束体系静置一段时间后,催化剂和产物又形成两相,通过离心法就可以快速分离和回收催化剂。 相似文献
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119.
This work looks at a new type of electron linear accelerator. Compared with the traditional electron linac, it has only two main parts: a klystron and an accelerating tube, without the electron gun element. This new kind of linac could perform just like its predecesors but reduce cost and space. The preliminary design and simulation have been accomplished. In this paper, an overview discussion about the performance tests and some improvements to increase the beam current are presented. 相似文献
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