不同沉积参量下ZrO2薄膜的微结构和激光损伤阈值

ZrO2采用X射线衍射(XRD)技术分析了不同充氧条件和沉积温度对ZrO2溥膜组成结构的影响,并对不同工艺下制备的薄膜的表面粗糙度和激光损伤阈值进行了测量。结果发现随着氧压的升高,ZrO2溥膜将由单斜相多晶态逐渐转变为非晶态结构,而随着基片温度的增加,溥膜将由非晶态逐渐转变为单斜相多晶态。同时发现随着氧压升高晶粒尺寸减小,而随着沉积温度增加,晶粒尺寸增大。氧压增加时工艺对表面粗糙度有一定程度的改善,而沉积温度升高,工艺对表面粗糙度的改善不明显。晶粒尺寸大小变化与表面粗糙度变化存在对应关系。激光损伤测量表明,氧压条件和沉积温度对ZrO2薄膜的抗激光损伤能力有着较大影响。     

分流环型绝热过渡区双绕螺旋线Wiggler束流传输实验

束流传输实验结果表明，分流环型过渡区双绕螺旋线圆极化Ｗｉｇｇｌｅｒ的端口区磁场，具有良好对称性，能基本保证磁场强度由零绝热过渡到均匀区，没有磁场畸变，因而对电子束流的能散度影响小，端口束流损失少。当入口端γ＝２的５００Ａ束流时，有约３５０Ａ束流传输到均匀区，而在相同条件下，喇叭口型绝热过渡区Ｗｉｇｇｌｅｒ只有１２０Ａ的束流传输到３４ｃｍ处的均匀区。分流环型变磁场技术可用于双绕螺旋线Ｗｉｇｇｌｅｒ变参自由电子激光。     

离子辅助沉积大口径传输反射镜面形控制研究

 针对大型激光系统中光束质量低和波前畸变等特点,采用离子辅助电子束蒸发技术成功实现对多层膜残余应力的精确控制。通过分析氧化铪、氧化硅单层膜残余应力变化规律,研究了离子源束压、束流参量对膜层折射率、残余应力性质及大小的影响。540 mm×340 mm×60 mm规格大口径传输反射镜面形PV值达到0.5λ(λ=632 nm),小光束损伤测试情况下,样品元件的损伤阈值大于30 J/cm2(N-on-1,1 064 nm,5 ns),利用该技术制备的大口径传输反射镜已获得成功应用。