宽波段的类金刚石薄膜光学窗口

 介绍了实用化宽波段光学镀膜窗口的研制过程，研制的光学窗口实现了从可见至远红外波段使用同一光学器件工作的目标，主要波段透过率在70%以上。该产品膜层均匀性优于95%，可以抵抗潮热、温度变化等恶劣环境,可耐受高功率的红外激光辐射，通过了GJB2485—95《光学膜层通用规范》和Q/AF20087—2003《宽波段军用光学镀膜窗口规范》的标准检测。     

脉冲准分子激光淀积薄膜的实验研究

 利用两种脉宽(30ns，500fs)的KrF准分子激光展开了淀积类金刚石薄膜的实验研究，并且成功地制备了大面积不含氢成分的HF-DLC薄膜，运用时空分辨的等离子体发射光谱诊断系统和离子探针系统研究了等离子体特性对薄膜性能的影响。尝试了利用准分子激光制备非晶硅薄膜，研究了实验参数对非晶硅薄膜制备的影响，并分析了制备具有良好电学和光学性能的非晶硅薄膜的条件。