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In this paper, a micro capacitive sensor with nanometer resolution is presented for ultra-precision measurement of micro components, which is fabricated by the MEMS (micro electromechanical systems) non-silicon technique. Based on the sensor, a micro capacitive tactile probe is constructed by stylus assembly and packaging design for dimension metrology on micro/nano scale, in which a data acquiring system is developed with AD7747. Some measurements of the micro capacitive tactile probe are performed on a nano positioning and measuring machine (NMM). The measurement results show good linearity and hysteresis with a range of 11.6 μm and resolution of better than 5 nm. Hence, the micro capacitive tactile probe can be integrated on NMM to realize measurement of micro structures with nanometer accuracy. 相似文献
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本文报道了以甲基丙烯酸-N,N-甲氨基乙酯(DMAEMA)与过硫酸盐体系以引发的丙烯酰吗啉(AMP)的水溶液聚合,得到下列方程:Rp[K2S2O8]0.46[DMAEMA]0.49[AMP]1.09;Ea=30.21KJ/mol。试用四氯乙烯(TCNE)处理的丙烯酸吗啉聚合物P(AMP)的紫外光谱分析,发现DMAEMA不仅参与引发AMP聚合,而且还进入P(AMP)分子链中。P(AMP)分子量比聚丙烯酰腹P(AAm)的小,而且随AMP(DMAEMA或温度)增加而增加(降低)。P(AMP)及其轻度交联的水凝胶表现出热敏性。 相似文献
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探索规律指导实践—读《现代数学课程论》雨辰(江苏教育出版社210009)编者的话由丁尔主编的“现代数学课程论”是国家教委重点的研究课题,并获得全国教育科学规划重点研究成果鉴定组的好评.本书是我国第一部详细论述数学课程论专著.本书至少有以下一些特点:... 相似文献
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二元单晶稀土六硼化物(REB6)具有丰富的物理性质,其中单晶LaB6具有优异的电子发射特性,影响二元REB6发射性能的物理机理及其他二元REB6是否具有良好的发射特性,需要进一步研究.本文采用基于密度泛函理论的第一性原理计算对典型二元单晶REB6(RE=La,Ce,Pr,Nd,Sm,Gd)的电子结构、功函数进行了理论分析,并对区熔法制备的高质量单晶REB6的热发射性能进行测试.电子结构计算结果表明,二元REB6费米能级附近具有很高的态密度,宽域分布的稀土元素的d电子决定了REB6优异发射性能的电子态,局域分布的f轨道对发射性能不利.功函数理论计算表明具有d态价电子的二元REB6(RE=La,Ce,Gd)具有较低功函数.热发射测试结果表明,以上单晶REB6 (100)晶面功函数热发射测试值与理论计算值基本相符.最终理论计算结合实验结果表明, LaB6... 相似文献
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在光生电流远大于二极管反向饱和电流,并联电阻为无穷大且二极管反向饱和电流与光强无关的假设条件下,理论上推导出全工况光伏组件输出特性预测模型,并采用Matlab/Simulink搭建了仿真系统.对单(多)晶硅光伏组件的实验与预测对比,表明模型可以准确预测组件在任意光强与温度下的输出特性,预测误差在6%以下.研究结果发现,相对于光强变化,温度变化对组件输出特性预测影响更大;多晶硅组件预测难于单晶硅组件.对实际环境中单位光强与单位温度实时改变时的预测表明,组件输出主要由所受辐照总光强决定,而不是器件温度;且需要根据外界情况调整组件的输出电压,以实现最大功率输出. 相似文献