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利用等离子增强化学气相沉积法在硅衬底上制备了 α-Si:H/SiNx叠层薄膜用来钝化晶体硅太阳电池. 用有效少子寿命表征薄膜的钝化效果, 通过模拟高频电容-电压测试结果分析薄膜钝化的机理. 将α-Si:H/SiNx薄膜的钝化效果与使用相同方法制备的 α-Si:H薄膜进行对比, 发现 α-Si:H/SiNx 薄膜的钝化效果明显优于 α-Si:H薄膜. 不同温度下热处理后, α-Si:H/SiNx薄膜的钝化效果随着温度的上升先提高后降低. 在最佳热处理温度300 ℃下进行热处理, α-Si:H/SiNx 薄膜的钝化效果能在90 min内始终保持优于 α-Si:H薄膜. 模拟计算结果表明, α-Si:H/SiNx薄膜的钝化效果与 α-Si:H/Si界面处的态密度有关.
关键词:
太阳电池
钝化
α-Si:H/SiNx薄膜')" href="#">α-Si:H/SiNx薄膜
热处理 相似文献
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采用低压化学气相沉积法(LPCVD)在大面积(40 cm ×40 cm)超薄柔性玻璃和硬质玻璃衬底上分别制备了B掺杂的ZnO(BZO)透明导电薄膜及非晶硅薄膜太阳能电池,对比了两种衬底上BZO薄膜的形貌、光学和导电性能及其非晶硅薄膜电池的性能.结果表明,在相同LPCVD工艺下,超薄柔性玻璃衬底上BZO薄膜的生长速率相对减小;当生长相同厚度BZO薄膜时,超薄柔性玻璃衬底的透光率相对于硬质玻璃衬底提高约2;,同时并具有相同的导电能力.在柔性玻璃衬底上制备的非晶硅薄膜电池的初始和稳定转化效率也相对提高,分别达到9.16;和7.82;. 相似文献
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Si82笼状分子的第一性原理研究 总被引:1,自引:1,他引:0
本文构建了Si82笼状分子的具有C2v对称性的初始原子结构模型.采用基于密度泛函的第一性原理方法对其结构进行优化计算.研究发现:经过结构驰豫,Si82分子对称性从C2v下降为Cs,部分硅原子从顶点位置向内凹陷,导致键长和键角均发生变化.对Si82笼状分子的稳定性、轨道分布和电荷分布等性质进行了分析和讨论. 相似文献
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Magnetic transitions and magnetoresistance effect of the HfFe_6Ge_6-type Y_{0.9}La_{0.1}Mn_6Sn_6 compound have been investigated in the temperature range of 5-380K. The sample displays antiferromagnetic behaviour in the whole temperature range below Néel temperature T_N=309K. The metamagnetic transition from antiferromagnetism to ferromagnetism can be induced by an applied field. The metamagnetic transition field decreases monotonically from 2T at 5K to 0.4T at 300K. The giant magnetoresistance effect is observed with the metamagnetic behaviour, such as -10.4% at 245K under a field of 5T. 相似文献