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121.
122.
123.
针对复杂结构对准标记仿真需求,联合严格耦合波法和分层近似法提出一种对准标记鲁棒性分析方法。利用该方法构建仿真模型:以晶圆质量和信噪比为评价函数,研究了标记槽深、槽宽、膜层厚度和侧壁对称变形等参数变化对标记鲁棒性的影响;以对准误差为评价函数,研究了侧壁非对称变形对标记鲁棒性的影响。并结合对准标记鲁棒性分析结果明晰了光刻机提升标记工艺适应性的策略。最后借助VirtualLab商业软件和实验平台,验证了分析方法的有效性和准确性。所提方法和给出的工艺适应性策略,对于对准标记设计优化和光刻机对准精度提升具有重要的理论意义和应用价值。 相似文献
124.
光纤光栅(FBG)传感器具有灵敏度高,测量量程大,抗电磁干扰能力强,耐高温能力强等诸多优点,在爆炸冲击测试领域具有广泛的应用前景。针对空腔爆炸压力变化历程对压力传感器的性能要求,设计了一种抗冲击FBG压力传感器。传感器采用圆平膜片作为承压面,利用均匀压力作用下的挠度拉伸FBG产生位移。对传感器的力学模型进行了理论计算,并进行了有限元仿真,理论分析与数值模拟计算结果误差小于2%。使用标准压力源对传感器进行了标定,获得最终的压力灵敏度为545.187 kPa/nm,线性度相关度为99.998%。根据空腔爆炸现场防护需求,设计了有效的抗爆防护装置,并将该传感器成功用于空腔爆炸爆后气体压力变化历程测量,取得很好的测试效果。 相似文献
125.
126.
讨论了测度μ在满足非倍条件下,Marcinkiewicz积分算子及其与RBMO(μ)函数、Lipschitz函数生成的交换子的有界性,通过Marcinkiewica积分及该交换子在Lebesgue空间中的有界性,得到了该算子及交换子在非齐型空间上的Morrey空间中的有界性. 相似文献
127.
带控制片方柱绕流的非定常数值模拟 总被引:2,自引:0,他引:2
对高雷诺数下带控制片的方体(在方柱之前放置一小尺度的柱形薄片)非定常绕流进行了数值模拟。数值模拟方法采用RNG重整化群紊流模型,SIMPLE算法,在非定常计算中引入双重时间步方法,将方体和控制片区域作为求解域的一部分作整体求解。结果表明,控制片与方柱之间距离的不同,使得控制片所形成的涡被抑止或产生卡门涡街,从而对柱体侧面边界层的分离发生影响,产生三种典型的流态,柱体时均阻力系数相对于无控制片的情况迅速减小,当控制片偏离柱体轴心时,柱体升力系数迅速增大,偏心至柱体外壁面附近达到极大值。阻力系数达到最小值后将产生跳跃式的增大,而升力系数在达到最大值后也将产生跳跃式的减小。 相似文献
128.
对含有不同切口损伤的复合材料层合板试件进行了拉伸试验,采用电阻应变计同步测量切口损伤前缘区域随载荷的变化,测定含切口损伤层合板的剩余强度,并讨论了损伤长度和损伤角度对剩余强度的影响规律.建立含切口损伤复合材料层合板有限元模型,分析了含切口损伤复合材料层合板的拉伸失效行为,计算了含切口损伤复合材料层合板的剩余强度,确定了剩余强度与切口损伤状态的关系.计算结果与试验结果具有较好的一致性. 相似文献
129.
多目标整数规划中的遗传算法 总被引:3,自引:0,他引:3
以下料问题为例建立了多目标整数规划的数学模型,描述了用遗传算法求解多目标整数规划问题的方法.这种算法较圆满的解决了既考虑费用又考虑需求的下料问题,具有广泛的应用价值. 相似文献
130.
氟碳表面活性剂是目前表面活性最高的特种表面活性剂,在三次采油等领域具有良好的应用前景。 用小幅周期振荡法研究了羟基磺基甜菜碱型氟碳表面活性剂(FS)在油-水界面的扩张粘弹性能,考察了振荡频率、FS质量分数、无机盐(NaCl、CaCl2、MgCl2)对FS在油-水界面的扩张粘弹性能的影响。 结果表明,FS溶液在油水界面的扩张模量、扩张弹性和扩张粘度随着FS质量分数的增加而出现最大值,随着频率的增大而略有增加。 加入无机盐时,扩张模量、扩张弹性随NaCl质量分数增大而出现最大值,而随着CaCl2或者MgCl2质量分数的增加,FS溶液的扩张模量、扩张弹性和扩张粘度减小,而当CaCl2或者MgCl2质量分数分别为0.05%、0.1%时,tanθ达到最大值。 相似文献