铝互连线的电迁移问题及超深亚微米技术下的挑战

铝互连线的电迁移问题历来是微电子产业的研究热点，其面临的电迁移可靠性挑战也是芯片制造业最持久和最重要的挑战之一.从20世纪90年代开始，超深亚微米(特征尺寸≤0.18 μm)铝互连技术面临了更加复杂的电迁移可靠性问题.从电迁移理论出发，分析概括了铝互连电迁移问题的研究方法，总结了上世纪至今关于铝互连电迁移问题的主要经验；最后结合已知的结论和目前芯片制造业现状，分析了当前超深亚微米铝互连线电迁移可靠性挑战的原因和表现形式，提出了解决这些问题的总方向. 关键词： 电迁移 铝互连 微结构     

下料问题的优化模型及其快速算法

结合生产实际中具体的下料问题,本文建立了该类问题的优化模型,并提出下料方式的遴选三准则,即高利用率优先准则,长度优先准则和时间优先准则.运用本文的算法对一维下料的利用率高达99.6%,机器时间4秒.对二维的利用率为98.9%,机器时间约7秒.     

高电荷态离子207Pbq+(24≤q≤36)与Si(110)固体表面作用的电子发射研究

报道了利用兰州重离子加速器国家实验室ECR源引出的高电荷态离子207Pbq+(24≤q≤36)入射到Si(110)表面产生的电子发射的实验测量结果.结果表明,高电荷态离子与固体表面相互作用产生的电子发射产额Y与入射离子的电荷态q、入射角度ψ和入射能量E都有很强的关联.首次发现,电子发射产额Y与入射角度ψ间有接近1/tanψ的关系.理论分析认为,这些过程与基于经典过垒模型的势能电子发射过程密切相关.     

Ar?NO团簇的同步辐射光电离研究

利用国家同步辐射实验室合肥光源的真空紫外同步辐射，使NO分子和Ar原子混合物的超声分子束发生光电离，测量了Ar，NO和异类团簇Ar·NO的光电离效率谱. 在谱中，在与Ar原子的共振线对应的能量区域(11.5—12.0 eV)观察到一个强的类共振结构. 这个结果表明，在异类团簇Ar·NO的内部，稀有气体Ar原子的激发能转移到与它接触的分子NO上，使分子NO发生电离. 关键词： Ar·NO团簇 同步辐射 光电离 能量转移     

What Is Its Real Existing Form?——Theoretical and Experimental Studies on 2-Mercaptobenzothiazole

1 INTRODUCTION The study of heterocyclic molecules with aroma- tic rings and their absorptions on metals is of con- siderable importance from both theoretical and te- chnological points of view. These molecules are in- teresting because of their applications as corrosion inhibitors and flotation collectors, and their abilities to form self-assembly layers[1]. 2-Mercaptobenzo- thiazole (C7H5NS2, in the following MBT) is an important heterocyclic molecule, which can be used as corrosion …     

激光自混频干涉效应中相位噪声的测量

本文研究了半导体激光器的自混频干涉效应,使用法布里-珀罗腔将输入场的相位噪声转换为强度噪声,完成了不同反馈以及不同外部距离下相位噪声的测量,并与自由运转时量子阱半导体激光器的相位噪声进行了比较.理论与实验基本一致.     

一类图的特征多项式与匹配多项式

本文对一类具有对称轴的图A_n(n≥0),得到了它的特征多项式及匹配多项式的精确表达式;同时还得到A_(?)的完美匹配数。     

Multiparty Quantum Secret Sharing of Key Using Practical Faint Laser Pulses

Based on a bidirectional quantum key distribution protocol [Phys. Rev. A 70 (2004)012311], we propose a (m-1, m-1)-threshold scheme of m (m≥3)-party quantum secret sharing of key by using practical faint laser pulses. In our scheme, if all the m-1 sharers collaborate, they can obtain the joint secret key from the message sender. Our scheme is more feasible according to the present-day technology.     

SPME-GC-MS快速分析炼油厂废水中痕量VOCs

采用固相微萃取-气相色谱-质谱联用(SPME-GC-MS)对炼油厂废水中痕量挥发性有机化合物(VOCs)进行了定性分析,简化了预处理过程,总分析时间为1h左右.对比处理前后的废水样品的MS定性结果,为废水处理工艺的评价以及有机物降解机理提供了依据.