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感应耦合等离子体刻蚀在聚合物光波导制作中的应用 总被引:1,自引:0,他引:1
提出了利用感应耦合等离子体(ICP)刻蚀技术提高聚合物光波导器件性能的方法,介绍了ICP刻蚀技术的原理和优点。选取聚甲基丙烯酸甲酯-甲基丙烯酸环氧丙酯(P(MMA-GMA))作为波导材料,采用氧气作为刻蚀气体,研究了ICP参数变化对刻蚀效果的影响。介绍了倒脊形光波导的制备过程,采用改变单一工艺参数的方法,分析了刻蚀效果随时间、功率、压强、气体流量等参数的变化,对参数优化后刻蚀得到的凹槽和平板结构进行了表征。实验结果表明:在天线射频功率为300 W,偏置射频功率为30 W,气体压强为0.5 Pa,氧气流速为50 cm3/min的条件下,可获得侧壁陡直、底面平整的P(MMA-GMA)凹槽结构。 相似文献
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系泊系统在深海洋流发电的整体安全性方面占据着重要地位,其部分或全部损毁均有可能造成洋流发电机丢失。为验证两种不同系固方法的优劣,依据凝集质量法建立方形网格系固结构的力学模型,以台湾海峡实测水文参数为环境载荷,探究该方形系固结构的动力响应问题。研究结果表明:对照组复合缆末端的有效张力变化幅值小,在大幅度急变流条件下,line1 EndB的有效张力随时间变化幅值仅为2line7,5的1/10;沿缆长方向,方形网格系固条件下,相对于复合缆两端有效张力的差值来说,发电机模型系缆两端有效张力的差值较小。单根缆绳断裂情况下,采用网格系固法,能够有效分散断裂缆绳的有效张力,相比于对照组复合缆line2 EndB端有效张力增量为4.94%,网格系固法未断裂缆绳1line11,1EndB有效张力增量仅为0.154%,这种方法表现出较强的应急能力。同时发现,网格系缆与网格基地的连接点沿边界对称分布时,系统整体的高频振动能够得到有效抑制。 相似文献
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46.
呼图壁种牛场草原生态站鼠类群落初步研究 总被引:6,自引:3,他引:3
本文根据1995年7 ̄8月的调查资料并采用聚类分析方法对呼图壁种牛场草原生态站鼠类群落及其演替进行了分析研究。结果表明:该地区的鼠类可划分为2种群落,灰仓鼠+小家鼠为主的农田居民点鼠类群落,五趾跳鼠+根田鼠为主的荒漠草原鼠类群落,种的多样性和生态环境的差异有关,随着人类经济活动的增加,经营时间的不同,鼠类群落受到的影响程度也不一样,在荒漠向人工环境转化过程中存在于其中的鼠类也呈现有规律的演替现象。 相似文献
47.
为选择合适的激光参量与光伏电池参量,以提高激光无线能量传输(LWPT)系统的能量转换效率,通过实验研究了LWPT系统中能量接收单元,也即光伏电池在半导体激光照射下的输出特性。通过波长为808 nm和915 nm的激光辐照GaAs和Si光伏电池,研究了不同激光功率密度、光伏电池温度、电池类型以及激光入射角度对光伏电池输出特性与能量转换效率的影响。实验中,在波长为808 nm的激光功率密度从0.06 W/cm2上升至0.37 W/cm2的过程中,Si电池的最大输出功率从0.12 W上升至0.32 W,能量转换效率从50.9%下降至21.2%;GaAs电池的最大输出功率从0.40 W上升到1.07 W,能量转换效率从57.9%下降至23.8%。随着激光功率密度的增加,光伏电池的输出功率先增加而后趋于饱和,但是高功率密度激光引起的电池温升会导致其光电转换效率的下降,所以激光功率密度的选择与光伏电池温度的控制是提高LWPT系统能量转换效率的关键因素。 相似文献
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探讨了一维对流弥散方程的时间依赖反应系数函数的反演问题及其在一个土柱渗流试验中的应用.借助一个积分恒等式,讨论了正问题单调解的存在条件及反问题的数据相容性.进一步考虑一个扰动土柱试验模型模拟问题,应用一种最佳摄动量正则化算法,对反应系数函数进行了数值反演模拟,并应用于实际试验数据的反分析,反演重建结果不仅与相容性分析一致,而且与实际观测数据基本吻合. 相似文献
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高一年级1.在△ABC中 ,∠A =2 0° ,AB =AC =b ,BC=a .求证 :a3 +b3 =3ab2 .2 .若 π6 ≤x≤ π3,求函数 y =tanx -sin2 xtanx +sin2 x的最大值和最小值 .3 .若函数f(x)在 (-∞ ,3]上是减函数 ,且f(a2 -sinx)≤f(a+ 1+cos2 x)对一切x∈R恒成立 ,求实数a的取值范围 .高二年级1.在棱长为a的正方体ABCD -A1 B1 C1 D1中 ,过BD1 的截面分别交AA1 、CC1 于E、F两点 ,求四边形BED1 F面积的最小值 .(北京 含 笑 )2 .已知 :x ,y∈R+ ,且x + y =1.求u =1x3 +12y的… 相似文献