Design of a hyper-numerical-aperture deep ultraviolet lithography objective with freeform surfaces

We have proposed and developed a design method of a freeform surfaces(FFSs) based hyper-numerical-aperture deep ultraviolet(DUV) projection objective(PO) with low aberration. With an aspheric initial configuration,lens-form parameters were used to determine the best position to remove elements and insert FFSs. The designed FFSs PO reduced two elements without increasing the total thickness of the glass materials. Compared with aspheric initial configuration, the wavefront error of the FFSs PO decreased from 0.006λ to 0.005λ, the distortion reduced from 1 to 0.5 nm, and the aspheric departure decreased from 1.7 to 1.35 mm. The results show that the design method of the FFSs PO is efficient and has improved the imaging performance of PO. The design method of FFSs PO provides potential solutions for DUV lithography with low aberrations at 10–5 nm nodes.     

具有流动和侧向Helmholtz共振器的驻波管内声场研究——Ⅰ.理论分析

对于无流动的驻波管,侧向加入Helmholtz共振器已经被证实是降低火箭或涡轮发动机燃烧室燃烧噪声的一种好的新方法。但实际情况在燃烧室内是有低速流动的,本文对这种侧向具有Helmholtz共振器又有流动驻波管内的声场进行理论分析,建立相应的数学物理问题,并进行求解,包括:(1)建立有流动驻波管和Helmholtz共振器连接处的间断条件。(2)提出同时计及流动、共振器喉部粘性和多孔影响的Helmholtz共振器声阻抗计算公式。(3)建立驻波管末端反射条件。上述理论工作已得到实验证实。     

掩埋型离子交换玻璃光波导的变分分析

用变分法对离子交换法制备的掺铒光波导的传播特性进行了分析,推导出了适用于掩埋型离子交换玻璃沟道光波导中场分布传播常量的变分表达式,构建了场分布的厄米-高斯型试探解,在两种不同实验条件下,采用变分法确定了试探解中的待定参量,获得光波导中的场分布,利用传播常量的变分公式和已确定的场分布计算得到了传播常量和有效折射率。计算数据表明:导波区域的有效折射率稍稍地大于限制层的折射率,说明离子交换法制备的波导器件是弱波导;高的辅助退火电场强度和适当的退火时间下,所制备的光波导可以支持更多光模式的传输。该方法计算过程简洁、快速,计算结果与实验结果吻合。     

二维气相色谱——定义、基本方法和前景

气相色谱是强有力的分离分析技术,它的最终目标是在最短时间分离出尽可能多的组分,并给予定性定量结果,因此对其需要:(1)研究色谱系统和最佳选择性固定相;(2)提高柱效;(3)研究选择性检测器。但是,这些要求总有一定限度。原则上讲要把复杂混合物进行完全的分离是难以实现的,因为在进行色谱过程中,各组分总具有一定的谱带宽度。于是,早在五十年代便逐步出现了二维等技术。二十年前,已有气液色谱(GLC)和薄层色谱(TLC)联用的例子,当时未引起广泛注意。     

基于非度量多维尺度分析的噪声声品质主观评价研究

以等响处理后双耳记录的车内噪声为例,针对非度量多维尺度分析(NMDS)是否适用于研究一致性较强的噪声声品质主观评价这一疑问进行研究。研究发现,按照评价者之间正负相关性分类处理的方法,对于运用NMDS揭示了一致性较强的复杂车内噪声声品质潜在的主观感知结构起着重要作用。采用该方法可以揭示出:车内噪声的偏好性可以作为主观感知相似性主要子维度的表示;评价者分类处理之后,两类评价者对于车内噪声的偏好性均可采用一个维度表示,并可直接采用成对比较法的直接排序法获得;一类评价者的偏好性与低沉度成正比,而另一类评价者与低沉度成反比。     

铅基复合钙钛矿型弛豫铁电单晶的生长基元与生长机理Ⅰ.PMNT单晶的表面形貌、负晶结构及生长基元的组装与拆分

铅基复合钙钛矿型弛豫铁电单晶体PMNT的生长基元为多种[BO_6]配位八面体,晶体生长过程可视为多种八面体基元与Pb~(2 )的组装过程.这些生长基元向{111}面叠合时易采取法向生长机制,向{001}面叠合时易采取层状生长机制,由此决定了晶体生长速度的各向异性与晶体的形貌.Bridgman法生长的PMNT晶体在生长过程中由内向生长机制形成规则的负晶结构;在晶体生长过程中,在其自然表面上可形成正形与负形两种形貌;在高温退火过程中,由于PbO的分解,晶体表面上可形成类似“蚀象”的构型,这些可从[BO_6]八面体生长基元的组装或拆分方面获得解释.     

非线性驻波现象的数值模拟与实验结果的比较

强非线性驻波实验研究发现很多重要的物理现象,如高次谐波成倍增长、饱和、分岔和混沌等。采用Euler方程和MacCormack四阶精度差分方法,成功地数值模拟了非线性驻波高次谐波成倍增长和饱和现象,并与相应的实验结果作了详细比较,符合很好。     

非平稳MDP平均模型及其滚动式算法

本文考虑可数状态空间非平稳马尔可夫决策过程（ＭＤＰ）的平均目标．首先,我们指出并改正了Ｐａｒｋ,ｅｔ,ａｌ［１］和Ａｌｄｅｎ,ｅｔａｌ［２］的错误,并在弱于Ｐａｒｋ,ｅｔａｌ［１］的条件下,借助于新建立的最优方程,证明了最优平均值的收敛性和平均最优马氏策略的存在性．其次,给出了ε（＞０）－平均最优马氏策略的滚动式算法．     

关于微穿孔板吸声体频带宽度极限的讨论

依据马大猷教授的微穿孔板吸声体准确理论,利用计算机辅助设计对于该结构频带宽度极限情况从理论上进行了讨论,把极限频宽和最大吸声系数的制约关系量化,并得到此情况下应用于低频或高频环境孔径的选用范围,以及此情况下板厚和穿孔率与传统观念不同的特点。以上分析结果以及所提供的结构参数为宽频带微穿孔板的具体设计提供有价值的参考。     

有限振幅驻波声场中的分岔实验研究

在一维有限振幅驻波声场中观察到了分岔现象。除了理论所预期的高次谐波存在外，次谐波、分数谐波亦存在于有限振幅驻波声场中。随基波声压级提高，最终达到混饨状态。