Design of a hyper-numerical-aperture deep ultraviolet lithography objective with freeform surfaces

We have proposed and developed a design method of a freeform surfaces(FFSs) based hyper-numerical-aperture deep ultraviolet(DUV) projection objective(PO) with low aberration. With an aspheric initial configuration,lens-form parameters were used to determine the best position to remove elements and insert FFSs. The designed FFSs PO reduced two elements without increasing the total thickness of the glass materials. Compared with aspheric initial configuration, the wavefront error of the FFSs PO decreased from 0.006λ to 0.005λ, the distortion reduced from 1 to 0.5 nm, and the aspheric departure decreased from 1.7 to 1.35 mm. The results show that the design method of the FFSs PO is efficient and has improved the imaging performance of PO. The design method of FFSs PO provides potential solutions for DUV lithography with low aberrations at 10–5 nm nodes.     

激光测振有限元反演优化方法测量黏弹材料动态力学参数

基于非接触式光学测振和有限元反演对黏弹材料复模量的测量进行了理论和实验研究。针对反演精度受测点选择影响显著的问题进行了误差分析,推导了灵敏度矩阵的计算公式;得到了反演误差的计算方法;找出了影响反演精度的主要误差来源;通过测点优化,提高了泊松比测试精度。利用温频等效原理,在常压、变温条件下对橡胶样品进行了温频等效测量,实验研究表明,该系统可以以较少的温度台阶获得材料主曲线,反演结果与动态机械分析仪(DMA)测试结果误差在10%以内,进一步印证了反演系统的有效性。     

谐振管形状对热声发动机内非线性声场的影响

研究了谐振管一端受活塞声源激励,另一端刚性封闭条件下,管道形状对热声发动机谐振管内部非线性声场的影响。基于流体力学基本方程建立了渐变截面谐振管内一维非线性声场的模型,考虑了黏性耗散及非线性效应的影响。利用伽辽金法数值求解了该模型的速度势方程,分析了谐振管形状、活塞振动速度及激励频率对管内声场的影响。将双曲形、指数形、锥形、正弦形等四种变截面谐振管内的非线性声场与圆柱形直管的情况进行了比较。结果反映了谐振管内声场的压力波动受活塞振动速度及谐振管形状的影响;显示了当活塞振动幅度较大时,谐振管内出现的波形畸变、频率曲线偏移、共振频率滞后等非线性现象;揭示了变截面谐振管在抑制管内的高阶谐波及提高压比等方面的优越性。     

具有流动和侧向Helmholtz共振器的驻波管内声场研究Ⅰ.理论分析

对于无流动的驻波管,侧向加入Helmholtz共振器已经被证实是降低火箭或涡轮发动机燃烧室燃烧噪声的一种好的新方法。但实际情况在燃烧室内是有低速流动的,本文对这种侧向具有Helmholtz共振器又有流动驻波管内的声场进行理论分析,建立相应的数学物理问题,并进行求解,包括:(1)建立有流动驻波管和Helmholtz共振器连接处的间断条件。(2)提出同时计及流动、共振器喉部粘性和多孔影响的Helmholtz共振器声阻抗计算公式。(3)建立驻波管末端反射条件。上述理论工作已得到实验证实。     

基于非度量多维尺度分析的噪声声品质主观评价研究

以等响处理后双耳记录的车内噪声为例,针对非度量多维尺度分析(NMDS)是否适用于研究一致性较强的噪声声品质主观评价这一疑问进行研究。研究发现,按照评价者之间正负相关性分类处理的方法,对于运用NMDS揭示了一致性较强的复杂车内噪声声品质潜在的主观感知结构起着重要作用。采用该方法可以揭示出:车内噪声的偏好性可以作为主观感知相似性主要子维度的表示;评价者分类处理之后,两类评价者对于车内噪声的偏好性均可采用一个维度表示,并可直接采用成对比较法的直接排序法获得;一类评价者的偏好性与低沉度成正比,而另一类评价者与低沉度成反比。     

大振幅驻波的实验研究Ⅱ：驻波场谐波的饱和

大振幅驻波在激波形成前的过程中,谐波声压级随基波声压级（L_p1）增长而出现饱和现象。在L_p1<153 dB时,m次谐波声压振幅p_m与基波声压幅值p₁;呈p_m~p₁^m关系。基波升高1 dB,m次谐波升高m dB。之后,各次谐波均开始趋于饱和。次数越高,饱和越快,p_m~p₁^m的关系逐渐变为p_m~p₁的趋向。在频率域内,变化过程大致可划分为三个区域：I.线性区;Ⅱ.变化区;Ⅲ.激波区。三个区域对应了时域的激波形成。L_p1>160dB后,即可认为激波已经形成。基波与电信号的关系也呈饱和现象,但与频率有关。上述结果有助于理论研究工作的进一步深入。     

PEG-Cl－添加剂存在下的铜电结晶过程研究

用线性电位扫描、循环伏安和计时安培电化学方法研究了聚乙二醇(PEG)和Cl^－同时存在时, 酸性镀铜溶液中Cu在玻碳电极(GCE)上的电结晶过程. 研究表明, PEG-Cl^－作用下Cu 的电结晶按瞬时成核和三维生长方式进行. PEG-Cl^－使电极表面的活性点急剧减少, 并降低了Cu^2＋的扩散系数, 阻化了Cu的电沉积和成核过程. PEG-Cl^－作用时, Cl^－离子仍然表现出较强的促进作用, 随Cl^－浓度的增大, Cu^2＋的扩散系数、Cu的沉积速度和成核速度都有所提高. 适宜的PEG, Cl^－浓度使成核数密度增大.     

铅基复合钙钛矿型弛豫铁电单晶的生长基元与生长机理Ⅰ.PMNT单晶的表面形貌、负晶结构及生长基元的组装与拆分

铅基复合钙钛矿型弛豫铁电单晶体PMNT的生长基元为多种[BO_6]配位八面体,晶体生长过程可视为多种八面体基元与Pb~(2 )的组装过程.这些生长基元向{111}面叠合时易采取法向生长机制,向{001}面叠合时易采取层状生长机制,由此决定了晶体生长速度的各向异性与晶体的形貌.Bridgman法生长的PMNT晶体在生长过程中由内向生长机制形成规则的负晶结构;在晶体生长过程中,在其自然表面上可形成正形与负形两种形貌;在高温退火过程中,由于PbO的分解,晶体表面上可形成类似“蚀象”的构型,这些可从[BO_6]八面体生长基元的组装或拆分方面获得解释.     

美、日声学第三次联合年会

美、日声学第三次联合年会美国声学学会和日本声学学会（称音响学会）于１９９６年１２月２日至６日在美国檀香山（Ｈｏｎａｌｕｌｕ）召开了第三次联合年会。出席会议者近１５００人。宣读和展示１３３５篇论文，参加者遍及太平洋周围各国以及一些欧洲国家，是国际声学界...     

马氏需求和随机供应下的订货和定价问题

考虑到零售商的固定订货费用以及在供应商供货不确定因素的影响下,研究了零售商的联合定价和订货问题.在一定的条件下,以极大化销售周期中的利润为准则,证明了零售商联合订货和定价最优策略的存在性,并且得到了最优策略具有$(s,S,p)$的结构.分析了供货的不确定性对最优策略的影响,特别是零售商所获得的最大利润与得到供货的概率成正比的关系,即每阶段得到货的概率越大,零售商获得的利润越多.