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采用MOCVD技术在Al2O3(0001)衬底上生长了GaN薄膜,使用透射光谱、光致发光光谱和X射线双晶衍射三种技术测试了五类GaN薄膜样品,实验结果表明:GaN薄膜透射谱反映出的GaN质量与X射线双晶衍射测量的结果一致,即透射率越大,半高宽越小,结晶质量越好;而X射线双晶衍射峰半高宽最小的样品,其PL谱的带边峰却很弱,这说明PL谱反映样品的光学性能与X射线双晶衍射获得的结晶质量不存在简单的对应关系,同时还报导了一种特殊工艺生长的高阻GaN样品的RBS/沟道结果。 相似文献
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黎朝仁张飞刘鑫熊杰陶伯万赵晓辉 《低温物理学报》2013,(6):430-434
金属有机化学气相沉积法(MOCVD)能够在长的柔性金属基带上连续、快速、均匀沉积YBa2Cu3O7-δ(YBCO)薄膜,因而极具开发价值.MOCVD制备YBCO涂层导体的关键技术之一在于金属有机源(MO)的制备.国外化学试剂公司在以2,2,6,6-4甲基-3,5庚二酮(thd)为配体的MO源上技术较为成熟,并已实现商业化生产,但是价格昂贵,其中Ba(thd)2价格约为700元/g.另外,与Y(thd)3和Cu(thd)2相比,Ba(thd)2挥发性、稳定性差且制备困难.本文对金属有机Ba源的制备、稳定性及真空下的蒸发特性进行了研究.通过引入助配体四乙烯基戊胺,该Ba源的蒸发温度比纯的Ba(thd)2更低,稳定性更高,且成本仅为30元/g,对于降低YBCO高温超导带材的制备成本具有重要意义.采用该Ba源制备的300nm厚YBCO薄膜的Jc达到2.0MA/cm2(77K,0T),表明其具有很好的实用性. 相似文献
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朱昌伟熊杰陶伯万赵晓辉张飞夏玉东薛炎郭培 《低温物理学报》2013,(6):455-459
溅射法制备高温超导YBa2Cu3O7-δ(YBCO)薄膜材料目前存在的主要问题是沉积速率慢,制备效率低,大面积薄膜均匀性差.本文中,设计了多工位盒型靶直流溅射镀膜系统,提高了YBCO薄膜沉积速率和制备效率,一次工艺流程可沉积六片产品,总薄膜沉积速率最高可到250nm/h.基片自转与公转相结合,提高了薄膜的面内均匀性,同时研究了公转速度与自转速度的关系以及它们对薄膜生长的关系,发现只有在基片公转速度合适的情况下才能生长出性能好的薄膜.LaAlO3(LAO)单晶基片上YBCO薄膜临界电流密度超过2.8MA/cm2(77K,500nm,0T),薄膜微波表面电阻Rs(10GHz,77K)﹤0.2mΩ,1.8英寸内薄膜面内厚度起伏小于3%,双面薄膜一致性好,能够满足微波器件应用的要求. 相似文献
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SOLUTE REDISTRIBUTION IN THE INITIAL TRANSIENT REGION OF DIRECTIONAL SOLIDIFICATION SPECIMEN 下载免费PDF全文
The solute redistribution during initial transient process of directional solidification of a binary alloy is associated with the solid-liquid interface advancing velocity which will pass a hysteretic process approaching to the externally imposed velocity. In the present paper, a new accelerated growth equation, dV/dt = μG[m/G·(dGL*)/dt+Ve-V] is deduced, based on which a new formula for the initial transient solute redistribution is obtained with the reasonable assumption that the solid-liquid interface advancing velocity changes exponentially during solidification. It shows that the kinematic effect dominates solidification at high velocity while the coupling effect of thermal and mass transportation controls that at lower velocity.In addition, another new equation to calculate the time required for a planar interface to lose stability is also found. Since the effects of the imposed thermal gradient are taken into account in the new equations, they are more reasonable and satisfactory than those given by Tiller et al. and by Smith et al. 相似文献
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本文讨论了在三层平板介质波导中TE波的传播问题.三层平板的芯区由Kerr介质构成,其折射率平方(n2)的剖面分布随x作抛物分布变化.本文将应用变分法中的里兹方法,求出亥姆霍兹方程的第一级近似的解析解. 相似文献