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研磨作为4H碳化硅(4H-SiC)晶片加工的重要工序之一,对4H-SiC衬底晶圆的质量具有重要影响。本文研究了金刚石磨料形貌和分散介质对4H-SiC晶片研磨过程中材料去除速率和面型参数的影响,基于研磨过程中金刚石磨料与4H-SiC晶片表面的接触情况,推导出简易的晶片材料去除速率模型。研究结果表明,磨料形貌显著影响4H-SiC晶片的材料去除速率,材料去除速率越高,晶片的总厚度变化(TTV)越小。由于4H-SiC中C面和Si面的各向异性,4H-SiC晶片研磨过程中C面的材料去除速率高于Si面。在分散介质的影响方面:水基体系研磨液的Zeta电位绝对值较高,磨料分散均匀,水的高导热系数有利于控制研磨过程中的盘面温度;乙二醇体系研磨液的Zeta电位绝对值小,磨料易发生团聚,增大研磨过程的磨料切入深度,晶片的材料去除速率提高,晶片最大划痕深度随之增大。 相似文献
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利用两个已发表的CO J=1-0观测样本, 结合12CO(1-0), 13CO(1-0)和C18O(1-0)与红外IRAS 4个波段数据, 对29个CO J =1-0基本完全成图云核计算了它们的一些基本参数, 如云核尺度、维里质量、12CO(1-0), 13CO(1-0)与C18O(1-0)的总光度、红外光度等. 给出了12CO(1-0), 13CO(1-0)和C18O(1-0)光度与红外光度及它们比值之间的相关性, 进而讨论恒星形成率(红外光度)与分子气体示踪之间的关系. 结果表明CO J =1-0同位素光度之间有着很好的相关性, 且CO J =1-0同位素光度与红外光度均有一定相关性, 但是相关性不如河内47个巨分子云核和河外65个星系HCN J =1-0与红外光度及其比值之间的相关性好. 这些也许暗示恒星形成率和恒星形成效率主要依赖于高的气体体密度而并非高的柱密度. 相似文献
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通过使用氧化锌代替传统的金属无机盐为锌源,制备了手性金属-有机骨架(CMOF)[Zn(L-mal)(H2O)2]n并对其手性分离性能进行了考察。将ZnO和L-苹果酸按物质的量之比1∶1溶于水中,在室温下静置24 h即可得到[Zn(L-mal)(H2O)2]n。以100 mg [Zn(L-mal)(H2O)2]n为吸附剂,将250μL 1 g/L的联糠醛外消旋体加入其中,并以4.5 mL异丙醇和1 mL甲醇为萃取剂和洗脱剂进行选择性吸附实验,最终滤液使用高效液相色谱仪(HPLC)进行分析。结果表明,[Zn(L-mal)(H2O)2]n对R-联糠醛具有较好的选择性吸附,其对映体过量(ee)值为20%。该工作为CMOF的绿色制备提供了一定的方法和经验并拓展了其在手性分离领域的应用。 相似文献
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吲哚美辛对人喉癌Hep-2细胞系的抑制作用 总被引:1,自引:0,他引:1
目的:评价吲哚美辛对人喉癌Hep-2细胞系的抑制作用。方法:应用不同剂量的吲哚美辛作用于人喉癌细胞系Hep-2后,进行细胞形态观察,并用台盼蓝染色法检测细胞生长情况和流式细胞仪分析细胞DNA含量。结果:Hep-2细胞系在吲哚美辛作用下,细胞生长形态改变,细胞活力降低,流式细胞仪分析形成明显的亚二倍体峰,并与药物剂量及作用时间有依赖关系,电镜下见凋亡细胞。结论:吲哚美辛能抑制人喉癌细胞系Hep-2的生长,诱导细胞凋亡。 相似文献
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正宇宙中各尺度的恒星形成,不论是位于宇宙边缘的第1代恒星还是在我们银河系家园里的恒星,都是贯穿于宇宙起源和天体演化的核心科学问题。可以说,恒星是宇宙中的原子,有关恒星是怎样形成的这一问题则是当代天体物理学研究的枢纽:恒星形成不但决定星系的结构和演化,而且人类赖以生存的行星系统的起源也与之紧密相关。另外,宇宙中的大部分元素(包 相似文献
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展示了对超新星遗迹IC 443及其相互作用的分子云区域进行的12CO, 13CO和C18O三条谱线同时成图观测. 这是在这个区域进行的第一次大尺度, 高分辨率的13CO成图观测. 12CO和 13CO的分布与光学, 红外, X射线以及中性氢(HI)等图像进行了多波段比较. 通过研究不同区域内12CO, 13CO和HI原子气体的运动学特征, 给出了受到激波扰动的气体团块的运动学信息. 在B区, 基于Wang 和Scoville(1992)的工作提出了新的模型, 这个模型很自然地解释了在尺度较小的区域中, 同时存在不同速度激波的原因. 利用HI和CO在空间和速度上的不同分布对这个模型进行了验证. 对B区中心区域, 给出了分子气体在激波作用下的离解率随激波速度的变化关系. 第一次给出了这个区域受到激波作用的 13CO长时间积分的谱线, 由此计算了 12CO的光学厚度, 并就受激波作用后的12CO谱线光学薄的假设加以讨论验证. 相似文献
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变电站自动化系统实时数据库的研究 总被引:5,自引:0,他引:5
针对关系型数据库系统在变电站自动化系统的实时应用中存在的缺陷,分析了变电站自动化系统中实时数据库系统的构成及数据对象的分类,提出了变电站自动化系统的实时数据库模型,并对其数据库结构、事务处理进行了设计。该模型在变电站自动化系统中的得到了应用。 相似文献
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