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针对声表面波传感器在生物检测中的性能评价与优化,提出一种快捷验证适用于生物传感器的声表面波器件质量负载灵敏度的实时检测方法。首先基于二维近似假设和周期性边界条件,建立了以石英为压电基底材料、SiO2为波导层的Love波传感器的三维有限元分析模型,从理论上验证了波导层对Love波传感器灵敏度的影响。在实验上,通过MEMS工艺制备以ST-90°X石英为基底的声表面波传感器,通过磁控溅射镀膜技术在其表面生长不同厚度的SiO2波导层。利用热蒸镀技术在器件延迟线区域生长铝薄膜作为质量负载效应,利用Tetramethylammonium Hydroxide (TMAH)溶液对铝的缓慢腐蚀效果,模拟质量负载从有到无的逆过程,从而实现对声表面波传感器的灵敏度验证与评价,并从实验上探究不同厚度波导层对Love波传感器灵敏度的影响及其最佳波导层厚度。 相似文献
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20万千瓦发电机组数学模型 总被引：5，自引：0，他引：5
本文为２０万千瓦发电机组数学模型工作的简要总结。工作的目标是使用小型电子数字计算机实时模拟再热锅炉－汽机单元机组在变工况下的动态响应及稳态特性。整个模型为一多变量动态系统，采用非线性常微分方程组直接数值积分，其计算结果与实际情况相当吻合。模型已使用在火电厂模拟控制台上。 相似文献
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