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PECVDSiON薄膜的工艺控制,性质及其潜在应用 总被引:2,自引:1,他引:1
研究了等离子增强化学气相淀积氮氧化硅薄膜的工艺控制、性质以及薄膜波导在超大规模集成电路光互连中的潜在应用。 相似文献
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介绍超大规模集成电路(VLSI)波导(?)互连技术的最新进展,并预测其发展方向,以及如阿解决存在的实际问题。 相似文献
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基于Domino/Notes R5高校院系信息管理系统 总被引:3,自引:0,他引:3
论述Lotus Notes作为首选办公平台的技术优势探讨Lotus Domino/Notes所提供的工作流主标准的Web服务、应用和开发环境,及其它通信、协作和协调等3大主要特点。以“班级信息管理系统”为开发实例,分析了主要功能模块的构成及其技术特色,并探讨了基于Lotus Notes技术平台、B/S(浏览器/服务器)模式的“高校院系办公自动化管理系统”的解决方案。 相似文献
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研究了在硅基底上采用等离子增强化学汽相淀积(PECVD)氮氧化硅(SiON)所形成的包括通道波导、条汉志、倒脊型波导等多种结构的特性,通过对测试结果进一步分析,总结出有关结论并提出一些改进方法。 相似文献
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考虑固体热容激光器对工作介质的要求,对比分析了掺钕的玻璃、YAG和GGG的多种材料性能。并对三者在激光工作周期内的瞬态温度场及热应力进行了数值模拟。结果表明:在给定的边界及工作条件下,当钕玻璃激光器以热容方式工作,时间为5 s时,介质最高升温超过400 K,最大热致应力为25 MPa,接近其断裂极限的50%。在此条件下进行冷却,当水温为283 K时,需经过约120 s才基本恢复到初始工作状态。而Nd:YAG和Nd:GGG两种介质在相同输入工作条件下,工作时间可达10 s,且温度分布相对平坦,温差和热应力较小,经水冷约30 s可恢复到初始状态。但模拟计算中,发现Nd:YAG在冷却阶段的最大应力达77 MPa,已超过断裂阈值下限值的50%。兼顾冷却时间、材料所能承受的应力及晶体生长尺寸,以及实现100 kW的平均功率输出等因素,Nd:GGG晶体是目前三者中比较适合于作为高平均功率、重复率热容方式工作的激光材料。 相似文献
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Approximate formulas of temperature and stress distributions and thermal induced effects in a heat capacity slab laser 总被引:3,自引:0,他引:3
Approximate formulas of transient temperature and stress distributions in the slab of a two-side pumped heat capacity laser are attained by solving the heat diffusion equation. Based on the formulas, the distributions of temperature and stress during the pump period of a two-sided symmetrically laser diode array (LDA) pumped Nd:GGG slab laser with 5-kW average output power are numerically simulated. The results show that the temperature in the slab will averagely increase by more than 70 ℃ after operating for 10 seconds; the stress and maximum of the temperature difference in the slab are about 30 MPa and 24 ℃, respectively. The thermal induced effects are discussed also. 相似文献
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祖继锋 《辽宁师范大学学报(自然科学版)》1997,20(3):198-202
研究了在硅基底上采用等离子体增强化学汽仃淀积氮氧化硅所形成导波结构的特性。分析了应用特点,存在问题及今后研究方向。 相似文献