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传统的激光三角法测量玻璃厚度时,玻璃与测头的相对位置需保持固定,每当玻璃位置移动时,均需重新标定才能进行准确测量。针对这一问题,提出可自适应位移变化的玻璃厚度激光三角测量方法,玻璃在不同位置时均可以直接对玻璃厚度进行测量。首先分析当玻璃位于基准位置时,其前、后表面反射光的成像光斑间距与玻璃厚度之间的关系;其次分析当玻璃位移变化时,成像光斑间距与玻璃前表面位置、玻璃厚度之间的关系,建立数学模型,并相应地提出修正算法来消除玻璃位移变化对厚度测量的影响;最后设计了基于激光二极管-互补金属氧化物半导体(LD-CMOS)的激光三角测量系统,并采用多块已知厚度的玻璃样本进行标定和测量实验。实验结果表明,当玻璃位置在1~4.5 mm的范围内变动时,不同位置处玻璃厚度测量的绝对误差小于0.010 mm,并且相对误差均在0.5%以内。该方法实现了玻璃在不同位置时对玻璃厚度的高精度测量,无需重复标定,具有很好的实用性、灵活性和通用性。 相似文献
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激光干涉任意转角测量的信号线性化处理方法 总被引:2,自引:0,他引:2
激光干涉测角技术由于受到测量原理非线性的限制,大多只能用于小角度的测量。为了增大测角范围,提出了一种将测量原理进行线性化处理的方法,以实现任意转角的干涉测量。采用空间上互相垂直放置的2套干涉系统分别获得两路正交信号,将所得到的正弦信号和余弦信号的差值作为输出信号,这样处理后输出信号和被测转角之间基本上呈线性关系。对这种方法进行了理论分析及实验验证。实验结果表明.处理后信号的线性得到了大大的提高,非线性误差减小到信号处理前的1/20。 相似文献
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激光干涉任意转角测量信号的获得及误差补偿技术 总被引:1,自引:0,他引:1
采用信号处理的方法对激光干涉测角系统的特性进行线性化处理,需要产生两路正交信号。采用空间互相垂直的两套干涉系统获得信号难免会使系统复杂、调整困难,因此提出了一种插值处理方法,可以利用测量得到的一路信号获得线性输出信号。输出信号的非线性误差较处理前大大减小了,但是无法满足高精度测量的要求。还提出了针对误差产生的原因进行的误差补偿技术。实验结果表明,提出的方法可以实现任意转角的高精度测量,光程差的测量误差小于±0 2μm,对应的转角测量误差为0 63″。 相似文献
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