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1.

该文基于掺钪AlN薄膜制备了高次谐波体声波谐振器(HBAR),研究了钪(Sc)掺杂浓度对AlN压电薄膜材料特性及器件性能的影响。研究表明,当掺入Sc的摩尔分数从0增加到25%时,压电应力系数e33增加、刚度 下降,导致Al1-xScxN压电薄膜的机电耦合系数 从5.6%提升至15.8%,从而使HBAR器件的有效机电耦合系数 提升了3倍。同时,当Sc掺杂摩尔分数达25%时,Al1-xScxN(x为Sc掺杂摩尔分数)压电薄膜的声速下降13%,声学损耗提高,导致HBAR器件的谐振频率和品质因数降低。  相似文献   

2.
3.
为了研究基于近红外纳秒脉冲激光的高反射率金属薄膜的加工可行性以及加工效果, 采用纳秒脉冲激光对高反射率铝膜进行激光加工, 分别测量了在不同激光光斑尺寸和不同激光能量的条件下, 铝膜表面所发生的烧蚀形态变化。结果表明, 即使铝膜表面反射率高达96%, 依然能对铝膜进行激光加工; 使用较高功率激光对铝膜表面进行离焦加工(能量密度约小于1000J/mm2)的烧蚀图样比使用较低功率激光对铝膜表面进行对焦加工(能量密度约大于2000J/mm2)的烧蚀图样更加规则。相关实验结果对激光加工高反射率材料时激光参量的选择可起到一定的指导作用。  相似文献   
4.
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7.
We propose a system of time-division multiplexing(TDM) and spatial frequency-division multiplexing(SFDM). Extrinsic Fabry–Perot interferometric sensors are applied to detect weak acoustic signals. The broadband source is employed, the light from it is modulated by a pulse signal sequence and is efficiently amplified by semiconductor optical amplifiers. Experimental results show that the equivalent noise pressure spectrum level is-97.2 d B re 1 rad/√Hz below 1250 Hz, and the cross talk between two sensors in one TDM channel is-32.7 d B with a cavity length difference of 60 μm. The number of sensors in this multiplexing system can theoretically reach 160.  相似文献   
8.
随着世界经济一体化进程的加快,物流产业正在世界范围内迅速发展,物流业在国民经济中占据了重要的地位,为了提高物流管理水平和效率,降低物流成本,开发了一种物联网智能物流车辆监控系统。该系统能够实现对物流配送作业全过程的可视化监控管理,让物流配送部门可以实时掌握配送作业的进度以及配送过程中人、车、物的状况,从而有效提升物流 配送过程的精细化管理水平,增强对物流配送过程的安全把控。  相似文献   
9.
目前通信机房内应用的空调系统主要有两大类,一类为机房专用空调机组,占据着大部分份额,如艾默生力博特、Hiross等,主要为欧美品牌;另一类为舒适性空调机组,在局部小基站内有使用,如大金、三菱、海尔等,主要为日本和国内品牌。根据调查表明,使用舒适性空调机组的机房内产生和发现的问题较多。主要表现为机  相似文献   
10.
信息系统灾难恢复能力评估方法研究   总被引:1,自引:0,他引:1  
论文提出了一种信息系统灾难恢复能力评估方法:信息资产分析方法、本地灾难恢复和远程灾难恢复等级的划分方法,并在此基础上,利用AHP层次分析法,构建了一套灾难恢复能力评估指标体系。该方法可以使评估结果具有更好的针对性和全面性。  相似文献   
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