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小尺寸物体三维面形高精度测量 总被引:3,自引:1,他引:2
采用变形光栅条纹囹样直接分析的方法对小尺寸物体面形实现高精度测量.研制了一台小型的三维表面轮廓测试仪,测量范围(30×30)mm2,精度20μm,初步用于人类牙齿表面三维测量.最后提出了存在的问题和改进方向. 相似文献
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二元光学衍射透镜波象差分析 总被引:1,自引:1,他引:0
通过对衍射透镜一级衍射象的波象差分析,由比较系数方法导出其赛得和数. 相似文献