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结合实验中的工艺技术参数,以Pb,Ti两金属靶的反应共溅射为例,对我们提出的金属氧化物薄膜的多离子束反应共溅射模型进行数值计算,分别得出了各靶的溅射速率R,反应腔中反应气体分压p以及衬底Pb,Ti的金属单质和氧化物所占的有效面积百分比与反应共溅射中直接可调的物理量,即反应气体总量Q和溅射离子束流J的关系.计算结果表明,该模型揭示了反应溅射具有滞回效应的本质特征,反映了反应共溅射中相关参数的相互影响与相互耦合的特点,给出了薄膜中组分原子百分比及其氧化物的形态与溅射工艺的关系,指出了多离子束反应共溅射中稳恒溅
关键词: 相似文献
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周成龙李子森张梓超郭艳辉 《安全与电磁兼容》2020,(3):37-40
从测试状态、设备分类、稳态电压和瞬变特性等方面,对比分析了GJB 181系列标准中对28 V直流用电设备的飞机供电特性要求,并对供电适应性试验方法中耐电压尖峰、耐过压浪涌和耐欠压浪涌的试验方法、指标参数和合格判据等进行了详细对比分析。阐述了GJB 181系列标准在工程应用中的局限性和兼容性,对如何通过供电适应性试验并在机载28 V直流用电设备中实施工程应用,提出了指导性建议。 相似文献
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阐述复杂电子装备防雷电分析和防护设计。对直击雷采用场区多层防雷电,其接地设计采用独立接地方式;对感应雷的防护,要求电子装备的供电端口、数据端口安装避雷器,同时要求装备内长度超过15 m的重要信号电缆端口装避雷器。 相似文献
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采用CST电磁仿真软件,对在金属平板上方的同轴电缆进行高空核电磁脉冲仿真,研究了不同长度、不同线径、不同入射角度、不同接地方式、单层及多层屏蔽时,同轴电缆内部芯线耦合的感应电流及感应电压。 相似文献