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X射线干涉仪以非常稳定的单晶硅晶格作为长度单位 ,可以实现亚纳米精度的微位移测量。提出了将 X射线干涉仪和扫描隧道显微镜结合起来 ,利用单晶硅的晶格尺度测量扫描探针显微镜样板节距的技术方案 ,并进行了实验研究 相似文献
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表面微观形貌测量及其参数评定的发展趋势 总被引:7,自引:0,他引:7
由于表面加工质量的不断提高,对微观形貌测量技术提出了更高的要求。传统触针式轮廓仪测量具有稳定、可靠、测量动态范围大等优点,但会划伤被测表面;而非接触式形貌测量技术克服了接触式测量易划伤表面的缺点,它主要包括光学散射法、各种光探针法、光学显微干涉法以及采用SEM、STM、光子隧道显微镜和原子力显微镜(AFM)来探测表面微观形貌的方法。各种测量方法均有其优点和局限性。光学测量方法由于受衍射限制,使其横向分辨率很难提高,在测量大斜率及台阶表面时,测量误差很大。而AFM被公认为是一种理想的表面微观形貌测量方法。此外,在表面微观形貌评定方面,国际上正积极探索各种三维评定参数以取代原来的二维参数。 相似文献
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软X射线激光全息术采用短波长X射线激光光源,从而可获得空间分辨率很高的三维全息图,但目前它还存在许多问题。用计算机来模拟仿真提供了一种有力手段。本文采用方块、英文字母、汉字等作样品,对无透镜傅利叶变换软X射线激光全息术作了模拟仿真,其结果和可见光全息实验及理论都相符合。 相似文献
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