MEMS器件中电极制作工艺的研究

研究了常用的国产BP212正型紫外光刻胶和光学曝光机在利用剥离工艺制备电极中的适用性.结果表明,采用国产的光刻胶和曝光设备完全可以得到实用性的带有凹面的光刻胶剖面和线条均匀性达到微米级的金属线条,简化了lift-off工艺,降低了成本,改进了金属电极的制备方法.     

语音技术领域的PCT国际检索小议

语音技术领域的PCT国际专利申请日益增多,基于专利检索与审查的工作经验,向语音技术领域的专利申请人员介绍容易产生困惑的PCT国际专利申请表格填写问题。     

基于语音识别技术口语自动评测的专利分析

基于语音识别的口语自动评测技术使得用户可以通过计算机获得自己发音水平,在中国被应用于普通话水平测试和计算机辅助发音学习系统中,有关口语自动评测技术的专利申请量也在迅速增长。针对此领域的专利文献,进行多项指标的专利统计分析,分析技术发展状况、重要申请人的分布及申请特点等,对专利发展趋势进行研究。通过介绍这一领域专利的现状和发展趋势,希望对业内人士有所帮助。