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物理学
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2011年
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1.
SiON钝化膜对硅衬底氮化镓绿光LED可靠性的影响
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邱虹
刘军林
王立
江风益
《发光学报》
2011,32(6):603-607
研制了4种不同表面钝化类型Si衬底GaN基绿光LED,分别标记为样品A、B、C、D.样品A无钝化层,样品B为台面SiON钝化,样品C为侧面SiON钝化,样品D为台面和侧面均钝化.将4种样品进行了常温60 mA(电流密度312 A/cm2)下168 h的加速老化,并对比了老化前后的I-V和光衰等特性.结果表明:侧边的Si...
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