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镨和铕离子注入硅的快速热退火研究 总被引:1,自引:0,他引:1
利用离子注入技术将稀土Pr和Eu离子引入外延硅片中,经快速热退火使注入层再结晶和电激活。对Pr离子注入样品,在较低温度940℃下退火,样品具有电子导电性,注入离子起施主作用,而在较高强度1240℃下退火,则具有穴穴导电性,注入离子起受主作用,即有两种导电行为。 相似文献
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本报告了一种在一小时内氧化高温超导体的快速烧结工艺,对Bi-Sr-Ca-Cu-O系统进行了一系列实验研究。成功地在10分钟内烧结出具有85K相的超导体,此种方法对探索新型氧化物超导体和大量生产具有重要意义。本还对85K相形成及110K相含量很少的问题进行了分析。 相似文献
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