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利用超高速相机,在曝光时间100 ns时,对不同能量下激光在氮气气体开关中形成的火花通道进行拍照,得到了不同焦距下激光波长266 nm时激光火花通道长度与激光能量的关系。开展了激光触发气体火花开关的实验研究,激光触发开关延时、抖动随激光能量的增加而减小。将火花通道长度与激光触发开关的特性进行了分析,气体开关的抖动随着激光火花通道长度的增加而减小,当火花通道沿电极间轴向长度达到开关电极间距40%时,开关的抖动为亚ns量级。 相似文献
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利用有向签名和盲签名相结合的方法,在ElGamal公钥体制的基础上提出了一种新型数字签名方案,并对其安全性进行了分析,同时依据初等数论知识从理论上证明了该方案中的可行性,并通过实例验证,在真正意义上实现了电子交易中的匿句特性,并达到了安全性和可操作性的实用要求。 相似文献
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电子束光刻是下一代光刻技术中的有力竞争者,在微纳加工尤其是光刻掩膜制造上具有显著的竞争优势。 开发高性能的光刻胶并优化出最佳的显影条件和工艺是提升电子束光刻效率的基础。 本文在前期开发出的二氧化碳基聚碳酸酯电子束光刻胶的基础上,进一步探究了正性聚碳酸环己撑酯(PCHC)胶的显影条件对电子束光刻性能的影响,具体研究了显影剂以及显影温度和时间等工艺条件,筛选出了最优显影剂正己烷,最佳显影温度0 ℃,最佳显影时间30 s。 在该条件下,PCHC的灵敏度和对比度分别为208 μC/cm2和3.06,并实现了53 nm的分辨率,超过了当下广泛使用的PMMA-950k电子束光刻胶,有望为科研院所和半导体加工车间提供一种性能优异、成本低廉的新型电子束光刻胶。 相似文献
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