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1.
提出了一种利用热应力改变镜面曲率的可调焦微光学自适应微镜。与传统自适应微镜相比,采用该原理制作的微镜具有驱动电压低和驱动力较大的优点,而且制作简单。以硅为基底进行了表面热氧化、光刻显影、HF酸刻蚀、KOH湿法刻蚀,溅射铝膜等微加工工艺的研究,获得硅铝双金属可调焦微反射镜4×4阵列,单元尺寸3 mm×3 mm,单晶硅基底厚60μm,硅表面溅射的铝膜厚150 nm。该微镜的镜面填充率为100%,可变形镜面占总镜面面积的79%。利用激光波面干涉仪对可调焦微反射镜的动态性能进行了测试。实验表明,该微镜可产生单向连续变形,最大变形量15.8μm,非线性滞后27%,工作电压0~2.5V,可调焦范围∞~0.036 m。 相似文献
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4.
<正>A novel direct writing technique using submicron-diameter fibers is presented.This technique adopts contact mode in the process of writing,and submicron lines with different widths have been obtained. Experimental results demonstrate that the resolution of this technique can be smaller than the exposure wavelength of 442 nm,and 380-nm-wide line is achieved.In addition,the distribution of light fields in the photoresist layer is analyzed by finite-difference time-domain method. 相似文献
5.
光学信息处理在六十及七十年代的发展,主要集中在相干光处理技术上,它取得了许多重要的成果.与此同时,计算机图象处理也以惊人的速度发展着,并得到了广泛的应用.即使如此,光学信息处理仍未失去它的青春活力.其主要原因在于,光学系统对二维信号(图象)具有高容量的平行处理能力,这是计算机处理所望尘莫及的.然而,相干光学处理的发展存在着一些根本性的障碍.因此,自七十年代后期以来,非相干光(白光)信息处理开?... 相似文献
6.
This paper presents systematically the doping effects of halogens in YBa2Cu3O7-δ polycrystalline samples, with a series of concentrations of fluorine, chlorine, bromine or iodine. All samples were prepared by chemical method of citrate pyrolysis, which makes the halogen concentration in the samples more uniform. Samples doped with F have Tc as high as 94.5K, Cl, Br and I dopings also raise Tc to a certain extent. In addition, the influence of halogen doping on critical current density, morphology, constitution and so forth is discussed. 相似文献
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二元微透镜的位相平衡设计及叠加积分衍射分析 总被引:4,自引:3,他引:4
本文用位相平衡设计法设计了优化的二元光学微透镜,这是对Dammann阶梯波带片设计方法的一种改进。文中用叠加积分作了二元微透镜的衍射分析,并与Dammann法作了比较,计算结果说明本方法的衍射效率及象质都优于Dammann法。且能设计更大相对口径(D/f)。具有任意物象距的二元微透镜。 相似文献
10.