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1.
铝互连线的电迁移问题历来是微电子产业的研究热点,其面临的电迁移可靠性挑战也是芯片制造业最持久和最重要的挑战之一.从20世纪90年代开始,超深亚微米(特征尺寸≤0.18 μm)铝互连技术面临了更加复杂的电迁移可靠性问题.从电迁移理论出发,分析概括了铝互连电迁移问题的研究方法,总结了上世纪至今关于铝互连电迁移问题的主要经验;最后结合已知的结论和目前芯片制造业现状,分析了当前超深亚微米铝互连线电迁移可靠性挑战的原因和表现形式,提出了解决这些问题的总方向.
关键词:
电迁移
铝互连
微结构 相似文献
2.
3.
脉冲放电等离子体烟气治理技术具有流程简单,一次投资成本低,无二次污染,可同时脱硫脱硝,形成的副产物可回收利用等特点。 相似文献
4.
从甘肃兰州郊区采集的黄斑星天牛(Anoplophora nobilis)僵硬虫尸上分离得到的2株单胞菌株Ftn-1和Ftn-12,形态学和生物学观察表明两个菌株在PSA培养基上培养(24~25℃)96h的菌落直径均为3.2~3.7cm,基物表层的颜色为灰白色,基物为肉色;在米饭培养基上成咖啡色,在Bilai's培养基上气生菌丝稀少,白色.Ftn-1产生大小两种分生孢子,大孢子为32.5~50um,小孢子为7.5~15um×3.75um,小型分生孢子聚成假头状着生在细长的分生孢子梗上,大型分生孢子着生在短粗的瓶梗上,粘胞团为米黄色,厚垣孢子顶生或侧生;Ftn-12也产生大小两种分生孢子,大孢子为50~60um,小孢子10~17.5um×3.75~5um,,粘胞团墨绿色,厚垣孢子顶生或侧生.根据镰胞菌鉴定方法,初步鉴定Ftn-1为茄病镰胞(Fusarium sonalj),Ftn-12为茄病镰胞蓝色变种(Fusarium sonali var.coerleum). 相似文献
5.
本将制作课件的两个教学软件Authorware与PowerPoint进行比较,对Authorware的交互性优势如何运用到教学教学中进行了探讨。 相似文献
6.
In this paper, we are concerned with the initial and boundary value problem for the following equations not in divergence form: 相似文献
7.
8.
本文介绍了多路逆磁测量方法及利用这一方法在HER装置上测量热电子环沿轴向的长度与晃荡电子密度的轴向分布的实验结果。 相似文献
9.
基于一个描述夸克胶子火柱演化的相对论流体力学模型,研究了夸克相、强子相互作用以及非热过程(DrellYan对、粲强子衰变)的中等质量双轻子的产生.发现由于相边对夸克胶子物质演化的影响和RHIC能量核碰撞产生的夸克胶子物质具有高的初始温度,夸克相对双轻子的贡献显著增强,比那些来自强子相互作用的贡献重要,甚至能与来自非热的贡献比较.表明中等质量双轻子的增强是一个在核碰撞中产生了夸克胶子物质的可能信号.
关键词:
夸克-胶子物质
双轻子增强
相对论流体力学模型 相似文献
10.
众所周知,函数exp(-x~2/2)的原函数不能用初等函数来表示,此时,我们说“积不出”。本文在此意义下仅就被积函数中含exp(-x~2/2)的积分进行了讨论。首先考虑积分,然后是积分为多项式),得到了在应用上较为方便的结果。 相似文献