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专业分类
晶体学
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2020年
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1.
硅基上Si1-xGex合金的外延生长及性能研究
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袁紫媛
潘睿
夏顺吉
魏炼
叶佳佳
李晨
陈延峰
芦红
《人工晶体学报》
2020,49(11):2178-2193
硅基上高质量的异质外延生长是实现高性能微电子器件的基础,本文通过低温分子束外延技术在Si衬底上实现了全组分的Si1-x Gex(0
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