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1.
约束刻蚀剂层技术对金属铝的微结构加工研究
蒋利民
黄选民
田中群
田昭武
《高等学校化学学报》
2006,27(8):1540-1544
采用约束刻蚀剂层技术, 以亚硝酸钠为先驱物, 通过电化学氧化产生刻蚀剂(硝酸)刻蚀铝, 并以NaOH为捕捉剂, 在电极模板上形成约束刻蚀剂层. 在金属铝表面加工出梯型槽微结构, 加工分辨率约为500 nm. 通过测量表面氢离子浓度, 对捕捉剂的约束效果进行了分析.
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