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溶胶-凝胶法制备高取向K(Ta,Nb)O3薄膜 总被引:8,自引:1,他引:8
K(Ta,Nb)O_3具有良好的电光特性、非线性光学特性和热释电特性.K(Ta,Nb)O_3薄膜在光电子集成电路中有着良好的应用前景.国外主要是进行K(Ta,Nb)O_3单晶和陶瓷的研究工作,近年来也有制备K(Ta,Nb)O_3薄膜的报导.我们采用溶胶-凝胶法制备KTa_(0.65)Nb_(0.35)O_3薄膜.制备过程如下:把Ta(OC_2H_5)_5,Nb(OC_2H_5)_5和K(OC_2H_5)溶于无水C_2H_5OH 中配成0.2 相似文献
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