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相似文献
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1.
本文研究Si中间淀积层对CoSi2/Si(100)固相异质外延的影响.用离子束溅射方法在Si(100)衬底上制备了Co/Si/Ti/Si多层薄膜结构,通过快速热退火使多层薄膜发生固相反应.实验表明,利用Co/Si/Ti/Si固相反应得到的CoSi2薄膜具有良好的外延特性,薄膜也具有良好的电学特性和热稳定性.实验发现在较低温度退火时,生成Co2Ti4O之类化合物,作为扩散阻挡层有利于CoSi2薄膜的外延.在多层薄膜结构中加入Si非晶层,既能减少衬底Si消耗量,又能保持CoSi2良好外延特性  相似文献   

2.
用MOCVD方法制备的GaN_(1-x)P_x三元合金的喇曼与红外光谱   总被引:1,自引:0,他引:1  
采用光辐射加热低压金属有机化学气相淀积(L P- MOCVD)方法在蓝宝石衬底上生长了高P组分的Ga N1 - x-Px 三元合金薄膜,通过喇曼光谱和红外反射谱技术研究了Ga N1 - x Px 合金中P掺杂所引入的振动模.与非掺P的Ga N相比,在Ga N1 - x Px 合金的喇曼谱和红外反射谱中分别观测到了多个由P所引入的振动模,文中将它们分别归因于Ga- P键振动引起的准局域模、间隙模以及P掺入造成的局部晶格无序激活的振动模  相似文献   

3.
在激光钕玻璃中,由于Nd~(3+)与配位体的相互作用,使谱线轮廓加宽,产生谱线重叠,使得在一些跃迁带内各组成谱难以分辨,以致很难确定其能级的分裂情况。本文采用自消卷积方法,将由Perkin-Elmer紫外、可见分光光度计上在室温下测得的一种激光玻璃中Nd~(3+)的~4I_(9/2)→~4F_(5/2)、~2H_(9/2)谱带进行了数值处理,消除了谱线本征线型,从而改善了光谱分辨率。  相似文献   

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