浅谈微结构物理

本文简要介绍八十年代新兴的人工微结构领域．从最基本的几种微结构的构成与制作谈起，展望了微结构在电子工业方面的应用前景，并论及微结构在物理学基础研究方面的深远意义。     

金硫氢原体模拟成矿的拉曼研究

金硫氢原体模拟成矿的拉曼研究程光煦（南京大学现代分析中心及固体微结构物理国家实验室，微结构科学技术高等研究中心南京２１００９３）蔡元吉，周茂（地矿部南京地质矿产研究所南京２１０００２）ＲａｍａｎＩｎｖｅｓｔｉｇａｔｉｏｎｆｏｒＴｈｅＳｏｌｕｔｉｏｎｏ...     

光学工艺 微细加工技术与设备

TN305．7 2005064472 超厚SU-8负胶高深宽比结构及工艺研究=Process study of high-aspect-ratio ultrathick SU-8 microstrUCt ure[刊, 中]/张金娅(上海交通大学微纳米科学技术研究院,薄膜 与微细技术教育部重点实验室．上海(200030)),陈迪…∥ 功能材料与器件学报．-2005,11(2)．-251-254 采用新型SU-8光刻胶在UV-LIGA技术基础上制备 了各种高深宽比MEMS微结构,研究了热处理和曝光两 个重要因素对高深宽比微结构的影响,解决了微结构的开 裂和倒塌等问题,优化了SU-8胶工艺,获得了最大深宽比 为27:1的微结构。图6表1参7(于晓光)     

飞秒激光相干场诱导材料功能微结构

飞秒激光在整个脉冲宽度内具有极好的相干性，因而当从同一光束分出的两束或两束以上的光束时间与空间上实现相互叠加时将会形成强度周期性调制的电磁场．这种周期调制的电磁场与材料产生相互作用，能诱导出相应的周期微结构．最近通过两束或两束以上飞秒激光干涉诱导功能微结构得到了广泛研究．文章综合了国内外飞秒激光研究小组在干涉诱导微结构方面的一些最新成果以及作者在这方面开展的工作，对飞秒激光干涉技术的原理及其在诱导微结构方面的应用进行了介绍．     

YBCO薄膜热稳定性和微结构的关系研究

我们已报道过YBa2Cu3O7-δ（YBCO）的过热现象并且对其过热的机制进行了研究．在本文的工作中，主要研究了YBCO薄膜的微结构对于其过热行为的影响．通过高温金相显微镜对具有不同微结构的YB（的薄膜的不同的熔化行为进行了实时观测，并且用原子力显微镜（AFM）和X射线衍射仪（XRD）对这些具有不同品质的薄膜进行表征．结果表明，YBCO薄膜的微结构对于其过热度以及整个薄膜熔化的过程有很大的影响，高品质的薄膜具有低界面缺陷比率，由此导致了其在熔化过程中较高的过热度．本文同时在实时观测，AFM和XRD所得到实验结果的基础上，通过半共格界面能的理论很好的解释了YBCO薄膜在不同的微结构情况下体现出来熔化和过热行为的差异．     

当代凝聚态物理学的发展

本文简述了当今凝聚态物理学发展中的一些比较活跃的领域．分四节进行论述：首先讨论了新的有序相的探索与研究，然后分别论述了低维体系与无序体系的物理学，最后讨论了人工微结构材料及其物理学．     

北京大学“人工微结构和介观物理”国家重点实验室

北京大学“人工微结构和介观物理”国家重点实验室北京大学“人工微结构和介观物理实验室”于１９９０年２月开始建设。１９９３年元旦１５日正式通过国家验收并于当年正式对国内外开放。八十年代以来。由于人们对固体电子结构和电子运动规律认识的深化，材料科学技术特别...     

物理汽相淀积薄膜的微结构和内应力

文章综述的内容为：（１）物理汽相淀积（ＰＶＤ）薄膜的微结构；（２）ＰＶＤ薄膜的内应力；（３）膜的微结构和内应力的关系．着重介绍制备参数对微结构、内应力和两者之间的主要联系的影响．提出了确立两者的联系还需进一步研究的问题和优化微结构和内应力的一个途径———梯度膜     

非均匀微结构光纤中双折射现象的研究

报道了利用飞秒脉冲激光与非均匀微结构光纤相互作用中产生超连续光谱后在非均匀微结构光纤传输中双折射拍频现象的研究.利用35?fs的飞秒激光脉冲在高双折射微结构光纤中的传输过程中直接观察到了拍频现象.并利用有限元方法对该光纤进行了模拟计算分析，计算得出在600?nm处拍频长度为毫米量级.所得结果与实验一致. 关键词： 双折射效应 微结构光纤 超连续光谱 有限元法     

液态金属的初始状态对凝固微结构影响的模拟研究

采用分子动力学方法对液态金属Ａｌ在不同的初始状态下，以相同急冷速率凝固的过程进行模拟跟踪研究，发现：在玻璃转变温度Ｔｇ以上（即过冷液态）时，系统的微结构组态情况基本一致，相差甚微；但在Ｔｇ以下时，不同的初始液态微结构对其固态微结构有明显的影响；且在Ｔｇ处各种固态微结构之间的差别发生突发性的变化。这一结果对于深入理解液－固微结构之间的转变关系，具有一定的重要意义。     

掺La的Bi－2201相材料的拉曼散射研究

本文利用激光拉曼光谱研究了Ｌａ替代Ｓｒ对Ｂｉ－２２０１相材料的微结构和氧含量的影响．实验表明，随着Ｌａ含量的增加，体系中额外氧增加，晶体的结构畸变加剧，晶格的无序程度增大．本大利用调制的晶格失配模型对这种由Ｌａ替代Ｓｒ所造成的结构畸变行为进行了讨论．     

用SEM研究质子辐照YBaCuO的微结构

用ＳＥＭ（扫描电子显微镜）研究ＹＢａＣｕＯ超导体及ＹＢａＣｕＯ／ＹＳＺ 超导薄膜经质子辐照所引起的微结构变化，发现质子辐照可使超导晶粒变细、变密、分布较均匀，并在ＹＳＺ 衬底上发生趋向排列．这些都有利于超导电性的改善．     

锗衬底表面圆柱形仿生蛾眼抗反射微结构的研制EI北大核心CSCD

采用严格耦合波分析方法研究了长波红外波段锗基底的圆柱形周期阵列仿生蛾眼抗反射微结构的衍射特性,并进行理论分析和模拟仿真验证。重点分析了周期、深度、占空比和整体面型轮廓等参数对微结构抗反射特性的影响,得出具有较好抗反射效果的结构组合参数。采用二元曝光技术和反应离子刻蚀技术在锗基底上制备该亚波长周期微结构。通过热场发射扫描电子显微镜对微结构表面形貌进行表征,并应用红外成像光谱仪在长波红外波段分别对双面抛光锗片、单面微结构和双面微结构进行测试对比,结果显示在8~12μm范围内双面微结构的反射率小于8%,基本达到设计要求。     

锗衬底表面圆柱形仿生蛾眼抗反射微结构的研制

采用严格耦合波分析方法研究了长波红外波段锗基底的圆柱形周期阵列仿生蛾眼抗反射微结构的衍射特性,并进行理论分析和模拟仿真验证。重点分析了周期、深度、占空比和整体面型轮廓等参数对微结构抗反射特性的影响,得出具有较好抗反射效果的结构组合参数。采用二元曝光技术和反应离子刻蚀技术在锗基底上制备该亚波长周期微结构。通过热场发射扫描电子显微镜对微结构表面形貌进行表征,并应用红外成像光谱仪在长波红外波段分别对双面抛光锗片、单面微结构和双面微结构进行测试对比,结果显示在8~12μm范围内双面微结构的反射率小于8%,基本达到设计要求。     

铌钛超导体的非合金化制备

本文研究了Nb片和Ti片在不同温度下的扩散行为，并利用Nb片和Ti片交替组配加工，经过扩散反应制备出了NbTi超导线．运用扫描电镜（SEM）观察了Nb／Ti界面的扩散形态及微结构，并对热处理工艺的合理选择进行了讨论．结果表明：经800℃，5小时扩散可得到厚度最大，Ti含量最高的NbTi超导相．该工艺制备出的NbTi超导线材的临界电流密度Jc可达到2800A／mm^2（5T、4．2K）和4200A／mm^2（3T、4．2K），与传统工艺制备出的超导体的性能相当．     

光子晶体光纤非线性特性的研究

光子晶体光纤是近年来出现的一种通常由单一介质构成，并由波长量级的空气孔构成微结构包层的新型光纤．文章介绍了光子晶体光纤的制作工艺、工作原理、基本特性、目前的研究重点和进展情况，重点评述了光子晶体光纤非线性特性方面的研究，特别是在超连续光谱的产生、光孤子效应以及频率变换等方面的实验和理论成果以及潜在的应用．     

微结构特性的光学测试平台

微结构是微机电系统的基本元件,其几何尺寸、运动特性、材料及力学特性直接影响微机电系统的整体性能。提出一种将计算机微视觉、米劳显微干涉、频闪成像和激光多普勒测振等技术充分融合的微结构静态和动态特性的光学测试平台,分别对微谐振器的平面和离面周期运动特性和微机械扭转镜的离面瞬时运动特性进行测试研究。实验结果表明,利用计算机微视觉和频闪成像技术能够实观微结构的平面位移、运动相位及喈振频率等周期运动参量的测试．位移的重复精度为30nm;利用显微干涉和频闪成像技术可实现微结构的离面位移及表面扭曲等周期运动参量的测试．位移的重复精度为3nm;激光多普勒测振技术具有在频域上对微结构瞬态运动进行分析的优点．是时域上周期运动测试的重要补充。     

散裂中子源多学科应用研讨会简讯

2004年“散裂中子源多学科应用研讨会”由中国高等科学技术中心、中国科学院物理研究所散裂中子源设计组共同主办，于2004年8月4日—6日在北京中国科学院物理研究所召开．中国科学院白春礼副院长写信祝贺会议的召开；中国高等科学技术中心叶铭汉院士和中国科学院基础科学局张杰院士主持会议；洪朝生院士、梁敬魁院士、范海福院士、王震西院士、张焕乔院士、解思深院士等出席了会议；中国科学院有关部门领导和中国科学院物理研究所领导莅临会议指导．     

Bi_2Sr_（1．8）La_（0．2）Cu_（1－x）MxOy（M＝Ni，Z

本文利用Ｘ射线衍射、电子衍射和拉曼散射对Ｂｉ２Ｓｒ１．８Ｌａ０．２ＣＵ１－ｘＭｘＯｙ（Ｍ＝Ｎｉ，Ｚｎ）体系的微结构进行了研究．实验表明，随着掺杂量的增加，掺Ｚｎ体系的结构畸变明显大于掺Ｎｉ体系的结构畸变．由此看来，非磁性杂质Ｚｎ之所以比磁性杂质Ｎｉ对Ｔｃ具有更大的抑制作用，应该归因于Ｚｎ掺杂造成材料中严重的结构畸变．     

金刚石膜微结构的慢正电子束测量研究

用慢正电子束辅助以拉曼光谱方法对一批较高质量的PECVD金刚石膜的微结构进行测量研究．拉曼光谱实验结果显示,这批金刚石膜中金刚石相含量比较高,正电子湮没实验进一步从微观结构上指出各个金刚石膜之间存在很大差异,并且从缺陷角度发现各样品中缺陷尺寸和缺陷浓度不一样,造成膜质量不同．S-E曲线变化趋势反映出各样品金刚石晶体结构存在明显不同．这表明正电子湮没技术是测量金刚石膜微结构的有力手段．