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用捕获膜技术和卢瑟福背散射(RBS)谱仪测定Ag靶在27keV Ar+离子轰击下的溅射原子角分布,从而确定不同剂量下Ag的溅射产额,并对其靶点表面形貌进行扫描电子显微镜(SEM)观察。结果发现,所有的角分布都呈over-cosine形状,但其溅射产额却随着表面形貌不同而不同。根据溅射产额Y与轰击离子入射角φ变化关系,讨论不同轰击剂量下溅射产额的差别,肯定了表面形貌是影响溅射产额的一个重要因素,并由此提出“表观产额”的新概念。
关键词: 相似文献
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双层光学薄膜参数的多入射角椭偏分析方法 总被引:2,自引:1,他引:1
本文讨论了多入射角椭偏测量中光学参数的误差因子以及最佳测量条件的选取.指出,当薄膜较厚时,多入射角椭偏测量可以精确确定膜系的光学常数和几何厚度,并用二例实测结果加以证实.本文的方法也适用于分析多层光学薄膜. 相似文献
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采用嵌入原子方法的原子间相互作用势,通过分子动力学模拟详细研究了以不同角度入射的低能Ni原子与Pt (111)基体表面相互作用过程中的低能溅射行为.结果表明:随着入射角度从0°增加到80°,溅射产额Ys和入射原子钉扎系数S的变化均可以根据入射角θ近似地分为以下三个区域:当θ ≤ 20°时,Ys和S几乎保持不变,其值与垂直入射时接近,溅射原子的发射角分布和能量分布也与垂直入射时的情
关键词:
分子动力学模拟
入射角
低能溅射 相似文献
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入射角对偏光棱镜光强透射比的影响分析 总被引:1,自引:0,他引:1
标志激光偏光棱镜设计好坏的一个重要指标是棱镜的光强透射比,研究棱镜的光强透射比随入射角的变化有助于了解实验中光线非正入射时带来的光强损失。利用菲涅耳公式并考虑到多束光的干涉,得出了激光偏光棱镜的光强透射比公式,由该公式看出偏光棱镜的光强透射比与光束的入射角,胶合介质的折射率,入射波长,胶合层的厚度,入射面的方位及棱镜的结构角有关。通过对某些参数的合理设定,较系统地讨论了入射角对棱镜光能透射比的影响,得出了棱镜的光强透射比随入射角的变化规律。 相似文献
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采用反应性磁控溅射法制备了NiOx薄膜,并结合椭圆偏振仪、XRD和XPS研究了溅射参量对其光学常量的影响.NiOx薄膜的光学常量随着O2/Ar流量比的增大而减小;热退火后,折射率增大而消光系数下降了50%;溅射功率越大折射率也越大,而工作气压越大折射率反而越小.这些变化分别与薄膜中存在间隙O和Ni空位、NiOx分解以及NiOx薄膜的致密度有关. 相似文献
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表面沸腾中接触角对液体过热度的影响刘朝,曾丹苓(重庆大学热力工程系重庆630044)关键词液体过热度;接触角;涨落;统计系综1引言液体极限过热度的研究是研究沸腾热物理过程的基础。更为重要的是,液体的过热现象直接涉及到许多工程问题和技术安全问题。在实际... 相似文献
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压缩角对介观耦合电压缩效应的影响 总被引:3,自引:0,他引:3
从无耗散的电感耦合是电路的经典运动方程出发,研究了压缩真空态下介观电感耦合电路中电荷和电流的量子涨落;着重分析了压缩幅角参数对电荷和电流量子压缩效应的影响,结果表明:在任意幅角θ下,电荷或电流的量子涨落不是随压缩参数r增加而单调地减小,而是存在着一个极小值。 相似文献
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索末菲参量对三重微分截面的影响 总被引:5,自引:3,他引:2
在前期工作的基础上,对非对称几何条件下波函数中的索末菲参量作了进一步的完善。研究了索末菲参量对三重微分截面(TDCS)产生的影响。用新的索末菲参量计算了低能电子入射离化氢原子的TDCS。所得结果与前期工作及CCC(convergentclose-coupling)理论结果进行比较发现:所得结果明显地改善了理论曲线与实验数据的符合程度 相似文献
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在386微机上建立了长脉冲单模的三维放大器数值模拟程序3DFEL,每个单程只需20分钟。模拟计算得出:(1)发射度对输出功率的影响几乎是指数式的。(2)电子相空间形状(相同发射度)对输出功率的重大影响主要表现为两方面:(a)不同相空间形状,等效能散度是不同的,(b)电子束包络和光场包络匹配关系。(3)非理想入射(偏入射和斜入射)超出一定范围之后将引起输出功率的指数下降。 相似文献