超高真空玻璃油扩散泵系列的研制

编者按：上海灯泡厂三车间玻璃小组的工人同志,自无产阶级文化大革命以来。在毛主席的无产阶级革命路线的指引下,进一步破除迷信、解放思想,发扬敢想敢干的精神,从社会主义革命和建设的需要出发,在超高真空技术领域中坚持了多年的科学研究,取得许多重要成果,其中有些已经超过国际先进水平,雄辩地证明了“卑贱者最聪明！高贵者最愚蠢”．这是对孔孟和林彪之流的“上智下愚”的唯心史观的有力批判,也是对一小撮阶级敌人对无产阶级文化大革命的污蔑的有力回击．本文介绍他们研制成功的超高真空玻璃油扩散泵系列．我们热烈欢迎全国各地工人同志们为本刊撰文报导自己的有关物理学的研究成果．     

高真空和超高真空的获得

最近半世纪以来,真空的应用十分广泛。以近代世界三大成就——原子能、电子学和火箭技术为例,哪一件都不能与真空无关,因此有关获得和测量真空的各种技术也相应地有了极为迅速的发展,特别是在真空获得方面,很多过去认为比较“经典”的概念和“标准”方法都在某种意义上显得有些过时了。根据各种不同場合下要求的真空条件(一般为待抽容器的容积和     

异形截面环流器中的超高真空抽气系统

一、引言 超高真空抽气系统是聚变装置的一个重要组成部分。真空抽气系统的好坏与装置中能否获得干净等离子体有直接关系。在真空系统中,要求杂质污染减低至最小值。     

用于研制二代近贴管的半无油超高真空系统的设计

简述用于研制二代近贴管的半无油超高真空系统的设计原则,并对真空腔室内残余气体进行了四极质谱分析。     

两类无油超高真空系统的实验方法

对涡轮分子泵无油超高真空系统及溅射离子泵无油超高真空系统的结构及操作方法作了介绍，并对它们相关的特性进行了讨论。     

真空热解析分析系统的研制

系统主要针对金属材料中氢同位素和氦的热解析研究而研制，系统原理图如图l所示。系统支路中设计消气剂床，用以避免金属氚化物解析时氚的排放问题；温度、压力和解析组分等由采集系统采集与分析。     

金属真空系统的清洁处理与检漏

这篇文章是两个青年同志写的,一个是1958年初中毕业生,另一个是原来具有小学文化水平的复员军人。它里面叙述的真空清洁处理方法,在高抽空速度的动态真空的金属系统中应用,既方便,又经济,效果很好。所提的检漏方法,是一种简便的、同时又是准确的找漏方法,它对较小的真空部件及系统特别有效。     

超高真空物理的一些基本问题

近十余年来,由于各种科学技术的需要,超高真空技术得到了很大的发展。与此同时,在超高真空技术中出現的問題也越来越多。在超高真空的获得方面,各种抽气泵工作原理的物理机构还不很清楚,这使得設計效率更高、极限气压更低的抽气泵遇到困难。在測量方面,目前还沒有完善的方法;就应用最广的B—A型电     

超高真空物理的一些基本问题

近十余年来,由于各种科学技术的需要,超高真空技术得到了很大的发展。与此同时,在超高真空技术中出现的问题也越来越多。在超高真空的获得方面,各种抽气泵工作原理的物理机构还不很清楚,这使得设计效率更高、极限气压更低的抽气泵遇到困难。在测量方面,目前还没有完善的方法;就应用最广的B-A型电离真空计而言,各种因素的影响也仍然了解得很肤浅。从超高真空物理的角度来看,这些问题一般都涉及到表面效应,大致可归结为吸附、扩散、离子轰击、表面反应等几方面。有关这些     

超高真空系统中GaAlAs光电阴极的重新铯化研究

为了探索在超高真空系统中使用稳定性和重复性好的光电阴极,开展了金属有机化学气相沉积生长的反射式GaAlAs和GaAs光电阴极的激活实验和重新铯化实验,测试了Cs/O激活后和重新补Cs后的光谱响应曲线和光电流衰减曲线.实验结果表明,在100 lx白光照射条件下,超高真空环境中的GaAlAs光电阴极在Cs/O激活后和重新补Cs激活后的光电流衰减寿命相比GaAs光电阴极更长,并且在多次补Cs激活后呈现较一致的蓝绿光响应能力和光电流衰减寿命,体现了GaAlAs光电阴极在真空系统中稳定性和可重复性使用方面具有的优越性,为海洋真空探测器件和真空电子源领域的研究提供了实验指导.     

HL-2A装置真空监测系统的研制

HL-2A装置是我国第一个具有轴对称（极向）偏滤器位形的大型托卡马克装置。其真空系统的工作特点是长时间连续的不间断运行，实验人员值班时间过长，极易产生疲劳，在这种状况下很容易发生事故，并且在放电实验期间会产生辐射，因此在进行放电实验时，装置大厅内不允许人员进入，所以有必要设计一套远程自动化监测系统放在装置大厅外，使值班人员在友好的人机界面下，实时完成对装置真空状态和现场真空设备的监视，这样既能增加装置的安全性和真空系统的可靠性，同时也能减轻值班人员的劳动强度。本文详细介绍了该系统的设计和应用过程。     

HL-2M 装置真空抽气系统的研制

HL-2M 装置真空抽气系统包括 4 套涡轮分子泵机组和 4 套低温泵机组。辅助系统主要由设备逻辑 控制与信号测量、水冷却循环系统和设备供气系统 3 部分组成。真空室经过 100℃烘烤后真空度达到 2.3×10⁻⁶Pa, 超过了设计预期真空度,满足超高真空技术要求。     

超高阈值Pick-off反射镜的研制

 采用水中抛光技术抛制了90mm×60mm×10 mm的K₉玻璃基片,表面粗糙度达1nm。在APS1504镀膜机上,摸索了电子束蒸发镀膜的最佳工艺条件,较稳定地在该超光滑玻璃表面上镀制了对波长1054 nm、入射角45°、反射率R≥99.5%的反射膜。膜层的抗激光损伤阈值可达26 J/cm²(1054nm, 1ns),镀膜后该玻璃基片反射波前可达l /10(p-v),最终制备了超高阈值Pick-off反射镜。     

超高阈值Pick-off反射镜的研制

采用水中抛光技术抛制了90mm×60mm×10 mm的K9玻璃基片,表面粗糙度达1nm。在APS1504镀膜机上,摸索了电子束蒸发镀膜的最佳工艺条件,较稳定地在该超光滑玻璃表面上镀制了对波长1054 nm、入射角45°、反射率R≥99.5%的反射膜。膜层的抗激光损伤阈值可达26 J/cm2(1054nm, 1ns),镀膜后该玻璃基片反射波前可达l /10(p-v),最终制备了超高阈值Pick-off反射镜。     

金属诱导生长与超高真空化学气相沉积方法相结合制备多晶锗硅薄膜

采用金属Ni诱导与超高真空化学气相沉积(UHVCVD)相结合的方法，在热氧化硅衬底上生长了多晶锗硅薄膜.利用X射线衍射(XRD)、场发射扫描电镜(SEM)等对多晶锗硅薄膜的质量、表面形貌进行了测试分析，并就生长参数以及金属Ni对薄膜性能的影响进行了研究.结果表明：1)在420—500℃范围内，金属Ni具有明显的诱导作用；2)Ni层厚度对薄膜质量及形貌的影响使得晶粒尺寸随Ni厚度增加存在一极大值.在Ni层厚度为60nm时，能够获得晶粒尺寸均匀，晶粒大小为500—600nm，结晶质量良好的多晶锗硅薄膜. 关键词： 超高真空化学气相沉积 金属诱导 镍 多晶锗硅     

科学研究的灵魂是创新

 本刊五卷二期“书面座谈”发麦后,参与者甚众,拳拳爱国心,令人感动.为使讨论深入,望今后来稿集中一点来谈,像王龙先生所论就很好.王先生在文中指出的”提法不够确切”的意见是对的,特表谢意,并向杨振宁、李政遵、丁肇中先生及广大读者致歉.     

光辅助超高真空CVD系统制备SiGe异质结双极晶体管研究

介绍了采用紫外光化学汽相淀积(UVCVD)、超高真空化学汽相淀积(UHVCVD)和超低压化学汽相淀积(ULPCVD)技术研制的化学汽相淀积(CVD)工艺系统,简称U³CVD系统.应用该系统,在450℃低温和10^-7Pa超高真空环境下研制出了硅锗(SiGe)材料和硅锗异质结双极晶体管(SiGe HBT)材料.实验表明,该系统制备的SiGe HBT材料性能良好.     

真空环境熔融金属成分检测的激光诱导击穿光谱系统

激光诱导击穿光谱(LIBS)技术是应用于冶金在线分析最具前景的技术之一。为了研究真空和高温条件下LIBS光谱特性和物质成分定量分析方法,设计并搭建了可实现真空环境高温熔融金属LIBS光谱测量的实验系统。系统以调Q Nd: YAG脉冲激光器为光源,采用不同焦距透镜实现激光聚焦和信号光采集,并利用光谱仪进行光谱检测,真空获取和高温加热通过真空泵和中频感应电炉实现,感应加热线圈通过陶瓷封接引线法兰与真空系统进行整合。经过安装测试,搭建系统在未加热情况下真空度可达1×10-4Pa,加热温度可达到1 600 ℃,可实现真空环境下铁、铝等金属加热或熔融,并获得相应环境下的LIBS测量光谱。利用该系统进行真空和熔融条件下标准钢样品的LIBS实验,得到了固态钢样品LIBS光谱在不同真空度下的光谱对比,以及真空环境熔融态和固态钢样品光谱对比。通过对测得的LIBS光谱进行数据处理和理论分析,所得初步实验结果与现有研究结论相符合,表明该系统工作状况良好,可满足真空环境下的熔融金属成分分析研究的基本需求。