光学薄膜任意厚度控制装置及其应用

用双色三光路(2S3G)测光法来监控膜层的厚度,适当地选择两个膜层厚度终点导数最大的波长作为控制波长。当透射率达到预先计算的控制波长透射率值时,停止膜层的蒸发,实现了多层任意厚度膜系的制备。2S3G控制装置控制精度高,装置简单,便于操作和推广使用。     

光学薄膜任意厚度控制方法的研究

对于特定要求光谱特性的光学薄膜,需要用电子计算机进行设计。薄膜可供调整的参数是薄膜材料的折射率和几何厚度。在实际工作中,由于可供选用的镀膜材料有限,通常把各层膜的厚度作为校正参数。因而自动合成设计的膜系所得到的光学厚度值一般不是λ/4或λ/2厚度的整数倍,通常为非等厚的多层膜组成。这种薄膜与经典的λ/4膜系相比,具有层数少,厚度薄,膜层吸收少,易牢固,能给出宽广的光谱特性。但由于膜层是非λ/4膜系,给薄膜制备时厚度的     

光学薄膜任意厚度的监控方法评述

随着薄膜技术的发展,光学薄膜在各个领域中得到了广泛而重要的实际应用。经典的薄膜系统,例如减反射膜、分光镜、介质反射膜、截止滤光片及带通滤光片等,不管采用几种介质材料,也不管有多少层数,它们的厚度是整齐的,都是四分之一波长或其     

光学薄膜的厚度控制装置——波长扫描法

研制窄带干涉滤光片需要有精密的控制膜层厚度的方法。本文介绍了波长扫描法的原理,以及对实验过程中出现的问题和现象进行了初步分析,并用此方法制备了窄带干涉滤光片,获得了精确的中心波长位置。     

单色仪测试光学薄膜透过率的方法讨论

光学薄膜的应用不仅涉及光学元件领域,也是各类显示器如LCD、OLED中实现发光的重要组成部分。从单色仪的测试原理出发,阐述测试光学薄膜透过率参数的方法,从分光效果、光强和单色性三个方面出发分析测试过程中存在的问题,提出解决意见,对光学薄膜的应用有一定的指导意义。     

248 nm透过率线性渐变光学薄膜的设计与制备

线性渐变透过率薄膜元件是光刻系统中光可变衰减器的关键元件。采用电子束蒸发实现了近线性248 nm渐变透过率光学薄膜的设计与制备。通过对敏感度进行计算和优化,基于减反膜基础膜系实现了低敏感非规整膜系的设计。采用紫外光控-晶控组合的高精度膜厚监控措施,可使膜厚的控制精度达到0.3%,误差容忍度达到0.5%。在248 nm S偏振光照射下,采用JGS1熔融石英基片以及Al_2O_3和SiO_2膜料制备的透射膜,在入射角为21°～35°的范围内实现了透过率从10%到97.8%的线性调控,满足光可变衰减器的性能需求。     

整层大气连续透过率的测量与标定方法

为了获得连续精细的整层大气光谱透过率,将光栅光谱仪与高精度二维跟踪机架相结合,研制了能够进行连续波段测量的太阳辐射计。通过小波变换对光谱进行去噪与基线校正,减小了仪器结构设计的复杂度。鉴于Langley标定法与标准光源法各自的局限性,提出了一种将二者结合的混合标定法,将标定基准溯源至大气层外的太阳辐照度。将所提系统与POM-2辐射计进行了同时同地的对比实验,并且将实验结果与大气辐射传输软件MODTRAN的计算结果进行了对比,对比结果验证了仪器结构设计的可靠性与标定方法的准确性。     

烟幕扩散模型中任意光路电磁波透过率的计算

在烟幕扩散模型中,计算电磁波沿任意路径穿透烟幕云团时产生的衰减,需要准确计算出该路径下的烟幕积分浓度,从而得到电磁波的透过率。本文基于空间几何坐标变换原理、线性代数矩阵运算方法以及烟幕材料消光理论,推导了烟幕扩散模型中电磁波入射方向改变时的三维坐标系变换矩阵和二维积分浓度投影算法,实现了电磁波沿任意方向入射时的积分浓度分布及透过率的计算,为烟幕扩散模型的多角度(方向)数据分析、烟幕云团红外图像处理以及更多应用场景中的使用奠定了基础。     

真空蒸发薄膜厚度控制装置

大家知道,只有当蒸镀的各层薄膜都具有严格给定的厚度时,才能制得优质多层干涉滤光片。因此,在蒸发时应当测量每层膜的厚度,并应及时停止蒸镀过程。在镀膜过程中控制膜层厚度的方法有许多种。其中某些方法,有的不大可靠,有的还存在一定困难及使用不方便等问题。目前最普遍采用的方法,是根据用控制滤光片或单色仪进行单色处理的光透过的大小,来控制蒸镀膜层的厚度。当膜层达到给定厚度时,透过率变为极值,进行观察用的检流计示出最大或最小偏转,这就是停     

光学薄膜厚度均匀性的理论计算

光学薄膜厚度均匀性对薄膜特性产生重要影响。本文介绍旋转平面和球面夹具在余弦和非余弦分布条件下的膜厚计算方法,并给出了计算结果。同时指出了基板和蒸发源倾斜对均匀性的可能影响。     

8～14μ透镜透过率测量装置

本文给出一种光学系统,采用硅碳棒光源和镀金积分球,被测样品的测量数据同理论计算和分光计所测得的积分值进行了对比,对锗透镜进行了测量。并给出了相对均方值测量误差,其值⊿T/T=±1％。     

用透过率测试曲线确定半导体薄膜的光学常数和厚度

介绍了一种简单而准确地确定薄膜光学常数和厚度的方法．借助于Forouhi-Bloomer物理模型，用改进的单纯形法拟合分光光度计透过率测试曲线，获得半导体薄膜的光学常数和厚度．对射频磁控溅射和直流反应溅射制备的玻璃基板上的α-Si和ZnO薄膜进行了实验，拟合的理论曲线和实验曲线吻合得非常好．计算得到的结果与文献报道的结果和台阶仪的测量结果一致，误差小于4%．该方法对无定形或多晶的半导体薄膜都适用，也可以用于计算厚度较薄的薄膜．     

用透过率测试曲线确定半导体薄膜的光学常数和厚度

介绍了一种简单而准确地确定薄膜光学常数和厚度的方法.借助于Forouhi-Bloomer物理模型,用改进的单纯形法拟合分光光度计透过率测试曲线,获得半导体薄膜的光学常数和厚度.对射频磁控溅射和直流反应溅射制备的玻璃基板上的α-Si和ZnO薄膜进行了实验,拟合的理论曲线和实验曲线吻合得非常好.计算得到的结果与文献报道的结果和台阶仪的测量结果一致,误差小于4%.该方法对无定形或多晶的半导体薄膜都适用,也可以用于计算厚度较薄的薄膜.     

半导体硅的光谱透过率

本文将讨论工业生产的半导体硅的光学透过率,并介绍按照硅的电阻率大小来选择制造光学零件的硅材料。众所周知,硅是一种很好的红外光学材料,可是,将它应用于制作光学零件却遇到     

大气透过率测量方法的研究

在测量目标的红外辐射特性时,测量路径上的大气衰减是影响测量精度的一个重要因素.针对试验场条件下难以提高目标红外辐射能量测量精度的问题,对大气透过率的测量方法进行了分析研究,提出了在外场环境条件下实际测量大气透过率的一种方法.     

基于辐射传输数值模型PCOART的大气漫射透过率精确计算

分析了中国第一颗海洋水色卫星(HY-1A)大气漫射透过率模型的计算精度,结果表明,当气溶胶光学厚度或天顶角较大时,该模型计算相对误差可>5%,最大可达50%以上,不适用于高纬度海区(纬度>60°).在此基础上,利用海洋-大气耦合矢量辐射传输数值计算模型PCOART,进行了大气漫射透过率的精确计算.通过与SeaWiFS精确大气漫射透过率查找表计算结果的比较,表明利用PCOART计算大气漫射透过率的相对误差<1.5%,且当观测天顶角<60°时,相对误差<0.5%,可以用来生成我国海洋水色卫星遥感器的精确大气漫射透过率查找表.     

光学薄膜与系统的偏振控制

在先进遥感仪器的性能表征中,偏振灵敏度是很重要的性能指标之一,它在量化高精度遥感信息反演中非常重要。光学薄膜是仪器偏振灵敏度控制中非常重要的一种手段。基于薄膜光学的传输矩阵理论,根据偏振灵敏度控制要求开展了几类光学薄膜的设计、分析和研制工作,主要包括金属反射膜、介质-金属-介质分色膜、介质分色膜、增透膜和带通滤光膜等。给出了一些已研制光学薄膜的偏振灵敏度控制的实测结果和以此研制的遥感仪器的系统偏振灵敏度的控制情况。     

大气光谱透过率的实时测试

介绍了光谱辐射测量装置和测量大气光谱透过率的原理及方法。该方法可以提供目标辐射特性测试现场的大气光谱透过率,用以精确修正目标光谱辐射量,从而提高目标红外辐射野外测量的准确度。     

烟幕透过率分布的测量方法研究

烟幕状态在空间具有渐变性,不会有突变,因此假设热像仪探测器平面的小区域内各探测器单元所接收到的辐射中由各自对应的烟幕单元所做的贡献相等,称之为"烟幕均匀性假设".同理可以做出"大气均匀性假设"、"环境均匀性假设"以及"热像仪自身辐射干扰均匀性假设".分析了热像仪在烟幕遮蔽前后所接收到的红外辐射的特点、并根据这些"均匀性假设",推导出烟幕透过率的计算公式.就影响烟幕透过率测量的因素进行了分析,并介绍了一种用来测量烟幕透过率分布的实验方案.     

CdZnTe晶片的红外透过率研究

测试了多个性能各异的Cd0.9Zn0.1Te晶片的红外透过率。研究表明,红外透过率与晶片的性能有着密切的联系,即红外透过率的大小及红外透过率图谱的形状可反映晶片的成分分布、位错密度以及杂质含量的情况。从晶片对红外光的吸收机理出发,对这些联系进行了详细的分析。