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<正> 一、前言在光学加工技术中,一种全新的抛光方法——固着磨料抛光,已引起光学行业的普遍关注。其原因,是在于这种抛光方法,具有效率高、质量好、成本低和污染小等优点,特别是对中等尺寸、中等精度,批量生产的光学零件十分适合。为改变光学零件制造技术中落后的抛光工艺,提高经济效益,将起重要作用。固着磨料抛光是依赖于固着在抛光模中的磨料去完成抛光任务。在抛光的全过程中,抛光液中不需添加抛光粉,因而不同于传统的散粒磨料抛光方法。影响固着磨料抛光效果的工艺因素很多,诸如:机床参数、抛光模、玻璃材料、抛光液和加工时间等。因此,开展对以上各方面工作的研究,是必要和有意义的。这对合理选择各 相似文献
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一、前言照相物镜、棱镜和滤光片等高精度光学零件在用古典法精磨或金刚石精磨片精磨后要进行抛光,抛光时要采用沥青、聚氨酯抛光模片等制作的抛光模并采用氧化铈、氧化锆等抛光粉。抛光工序是要去除前工序加工时所产生的变质层,并获得外观上没有缺陷、表面精度符合要求的光学表面。目前。使用金刚石精磨片的固着磨料精磨法正在逐步取代古典法精磨,而抛光工序也已开始试用固着磨料。 相似文献
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光学玻璃加工破坏层研究及粗磨、精磨、抛光工序加工余量的合理匹配 总被引:5,自引:1,他引:4
本文通过用五种散粒磨料(碳化硅)、五种固着磨料(金刚石)对八大类常用光学玻璃进行加工,用扫瞄电子显微镜观察其表面形貌,用抛测法测出其破坏层深度,得出一系列破坏层的深度数值,从而找出破坏层与磨料之问的函数关系。以破坏层的绝对深度为依据,得出光学加工中精磨、抛光工序的加工余量的合理匹配值。 相似文献
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针对高功率板条激光器核心工作器件板条Nd:YAG晶体的超精密加工开展研究,分析了具有特殊构型的板条Nd:YAG晶体元件的加工性能及工艺难点,提出了一种新的基于合成盘抛光的板条Nd:YAG晶体加工工艺,并对规格为100 mm30 mm3 mm 的板条Nd:YAG晶体进行了加工实验。实验结果表明,合成盘抛光可以很好地控制元件的塌边现象;通过磨料的优化选择,在合成盘抛光工艺中匹配合适粒度的Al2O3磨料能够实现元件的低缺陷加工,元件下盘后的全反射面平面度达0.217(1=632.8 nm),端面平面度达到0.06,表面粗糙度达0.55 nm(RMS),端面楔角精度可达2。 相似文献
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针对高功率板条激光器核心工作器件——板条Nd:YAG晶体的超精密加工开展研究,分析了具有特殊构型的板条Nd:YAG晶体元件的加工性能及工艺难点,提出了一种新的基于合成盘抛光的板条Nd:YAG晶体加工工艺,并对规格为100mm×30mm×3mm的板条Nd:YAG晶体进行了加工实验。实验结果表明,合成盘抛光可以很好地控制元件的塌边现象;通过磨料的优化选择,在合成盘抛光工艺中匹配合适粒度的Al2O3磨料能够实现元件的低缺陷加工,元件下盘后的全反射面平面度达0.217λ(1λ=632.8nm),端面平面度达到0.06λ,表面粗糙度达0.55nm(RMS),端面楔角精度可达2″。 相似文献
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The abnormal vibration of ball bearings lubricated with grease was studied. The test bearings were lubricated with three types of grease: Li soap/silicone oil grease, Na soap/mineral oil grease and Li soap/mineral oil grease. In the experiments, the axial-loaded ball bearings were operated at a constant rotational speed, and the vibration and the outer ring temperatures of the test bearings were measured. In addition, the shear stress and shear rate of the greases were measured by a rheometer. The experimental results showed that the abnormal vibration occurs on the test bearings lubricated with all three types of grease. Based on the experimental results, the generating mechanisms of the abnormal vibrations were discussed. From the discussions, it seems reasonable to conclude: (1) Li soap/silicone oil grease and Na soap/mineral oil grease both have a negative damping moment characteristic. The abnormal vibrations of the ball bearings lubricated with these greases are generated by the negative damping moment. (2) The abnormal vibration of the ball bearings lubricated with Li soap/mineral oil grease is generated by the decreasing positive damping moment of the grease due to the rising temperature. 相似文献
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This paper deals with the study of laser-induced damage in n-type single crystal InSb irradiated with a Nd: glass laser of 1.06 μm wavelength and 300 μs pulse duration. Samples of different surface quality were prepared by mechanical lapping and polishing by diamond paste. Evolution of damage morphological features observed at different power densities is discussed. Damage threshold results are analysed in terms of a thermal model taking into account the temperature dependence of various physical parameters and using the finite difference method of calculation. A comparative study of laser induced damage in InSb, Ge, Si and GaAs irradiated under similar conditions is also presented. 相似文献
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计算机控制光学表面抛光的磨头运动方式和参数的优化研究 总被引:5,自引:1,他引:4
对影响计算机数控抛光表面误差收敛速度的主要因素———磨头工作函数进行了详细的讨论。提出了以趋近因子作为评价磨头参数优化的参量。对目前流行的行星式磨头和平转动磨头分别作优化,给出了最佳参数组合,为提高计算机控制抛光的效率提供了理论依据。 相似文献
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针对高功率激光器中使用的激光晶体关键元件,开展了晶体的先进加工技术的研究。根据LBO及YCOB晶体材料的加工特性,选取了定向切割、研磨、预抛光、磁流变抛光、合成盘抛光和机械化学抛光的总体技术路线。对不同种类晶体加工设计了不同的工艺路线,开展了相关加工工艺研究。其中LBO晶体的面形收敛工艺主要采用磁流变抛光,YCOB晶体的面形工艺主要采用合成盘抛光。通过组合加工工艺,获得了高质量的晶体加工指标,LBO晶体透射波前0.12(=632.8 nm),粗糙度0.77 nm;YCOB晶体面形0.11,粗糙度0.68 nm。确定了晶体元件的整体加工技术路线,并对整个工艺流程开展了工艺实验研究,取得了较好的实验效果,实现了激光晶体的高质量加工指标。 相似文献
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针对高功率激光器中使用的激光晶体关键元件,开展了晶体的先进加工技术的研究。根据LBO及YCOB晶体材料的加工特性,选取了定向切割、研磨、预抛光、磁流变抛光、合成盘抛光和机械化学抛光的总体技术路线。对不同种类晶体加工设计了不同的工艺路线,开展了相关加工工艺研究。其中LBO晶体的面形收敛工艺主要采用磁流变抛光,YCOB晶体的面形工艺主要采用合成盘抛光。通过组合加工工艺,获得了高质量的晶体加工指标,LBO晶体透射波前0.12λ(λ=632.8nm),粗糙度0.77nm;YCOB晶体面形0.11λ,粗糙度0.68nm。确定了晶体元件的整体加工技术路线,并对整个工艺流程开展了工艺实验研究,取得了较好的实验效果,实现了激光晶体的高质量加工指标。 相似文献
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超光滑表面的形成与抛光时间之间的关系研究 总被引:1,自引:1,他引:0
由于加工超光滑表面的古典法对加工者的经验要求较高,而且不同的加工者对抛光时间长短的控制也有较大的差别,因而下盘时机的准确判断将会对超光滑表面的加工质量产生严重的影响。为此,对所加工的全反射棱镜的超光滑表面抛光不同的时间,并在全反射条件下,根据全反射棱镜背向散射光斑的大小和亮暗的程度来判断所加工超光滑表面加工质量的检测方法,最终给出超光滑表面的抛光质量随抛光时间的变化。在实验结果的基础上得出了抛光质量随抛光时间交替变化的基本规律,并根据加工经验总结出了超光滑表面加工过程中的注意事项和判断下盘时机的基本方法。 相似文献
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基于气囊抛光技术和工业机器人平台开发光学元件精密抛光系统,既能满足光学元件快速抛光环节的高效率和高精度的要求,又可以降低开发成本,是极具潜力的抛光设备开发方案。气囊抛光具有稳定的且确定的材料去除特性,通常要求抛光斑稳定性在90%左右。针对机器人气囊抛光系统在多步离散进动抛光过程中机器人末端刚度对气囊抛光稳定性的影响展开研究,通过建立机器人末端刚度矩阵,获得机器人末端变形;基于Preston理论,建立含变形误差的气囊抛光去除函数。最后设计4步离散定点抛光实验验证机器人气囊抛光系统稳定性。根据结果可知抛光斑在XY截面轮廓线上皆呈类高斯形状,且XY截面轮廓线基本一致,具有比较好的重合度;对比不同抛光位置的截面轮廓线,其相对误差小于5%,由此可验证机器人气囊抛光系统在离散进动抛光时具有较好的稳定性。 相似文献