GDMS法和ICP-MS法测定太阳能级多晶硅中杂质元素含量

采用辉光放电质谱法(GD-MS)测定太阳能级多晶硅中B,P,Fe,Co,Ni,Cu,Zn等痕量杂质元素,并优化和选择了GD-MS工作参数。考察了在半定量分析的情况下,GD-MS测定痕量杂质的精密度。结果表明,GD-MS对B,P,Na,Al,K,Ca,Fe,Ni,Cu,Co,Zn等元素测定结果的RSD都小于30%。用ICP-MS法进行验证,检出限0.14~2.85 ng/mL,RSD为1.6%~12%,加标回收率85.2%~125%。     

直流辉光放电质谱法测定多晶硅中关键杂质元素的相对灵敏度因子

采用直流辉光放电质谱(dc-GD-MS)测定多晶硅中关键杂质元素的相对灵敏度因子(RSF).标样制作过程中主要是在连续通入氩气条件下将固定量的非标准多晶硅样品熔化,向硅熔体中均匀掺入浓度范围为1～30 μg/g的关键杂质元素(如B和P),采用快速固化法制成标样;再将制成的标准样品加工成一系列适合GD-MS扁平池(Flat Cell)的片状样品(20 mm×20 mm×2mm).采用二次离子质谱法(SI-MS)对标准样品中关键掺杂元素进行多次定量测定,取平均值作为关键杂质元素的精确含量.优化一系列质谱条件后,运用GD-MS对标样中关键掺杂元素的离子强度进行多次测定,计算平均结果,得到未校正的表观浓度,利用标准曲线法计算出关键杂质元素的相对灵敏度因子.     

高纯钛的辉光放电质谱法多元素分析

采用辉光放电质谱法(GD-MS)测定高纯钛中Mg、Al、Cr、Fe、V、Mn、Co、Ni、Cu、Zn、As、Sn、Sb、Ta、W、Pb、Bi等痕量杂质元素,并对GD-MS工作参数及条件进行了优化。主要元素与内标校正ICP-MS法定量分析的结果一致,对结果差异的原因进行分析,论述了Element GD辉光放电质谱仪在痕量杂质元素分析方面的优势。     

微波消解-ICP-AES法测定氧化铝中杂质元素

采用微波消解法,将样品用磷酸溶解,用ICP-AES测定氧化铝中Na、K、Ca、Si、Fe、Ti、Mn、Zn、Cu、V、Cr和B等12种杂质元素,采用测定标样、加标回收试验和精密度试验证明该方法简便快速,准确可靠。     

电感耦合等离子体质谱法测定太阳能级多晶硅中杂质元素

多晶硅样品经氢氟酸和硝酸混合酸消解,采用电感耦合等离子体质谱法测定所得样品溶液中23种杂质元素的含量。通过调整分辨率来调整多原子离子对部分被测元素的干扰。方法的检出限(3s)在0.3～19.7ng.g-1之间。方法用于太阳能级多晶硅样品中23种元素的测定,回收率在85.2%～111%之间,相对标准偏差(n=11)在0.9%～4.6%之间。     

电感耦合等离子体原子发射光谱（ICP-AES）法测定高纯氧化铟中7种杂质元素

采用电感耦合等离子体原子发射光谱(ICP-AES)法测定高纯氧化铟中杂质元素Al、Cd、Cu、Fe、Pb、Tl和Zn等的含量。使用盐酸(1+1)溶解高纯氧化铟试样,基体铟的干扰采用基体匹配法消除,被测元素之间没有光谱干扰。对方法进行加标回收实验和精密度实验,方法加标回收率在92.2%～110%,测得结果的相对标准偏差在0.57%～5.8%,可以满足高纯氧化铟中Al、Cd、Cu、Fe、Pb、Tl和Zn等杂质元素含量的测定要求。     

电感耦合等离子体质谱法测定金属单元素溶液标准物质中杂质

建立了电感耦合等离子体质谱法(ICP-MS)测定Zn、Pb、Co、Cd、Ni、Fe、Cr、Cu8种各行业常用国家一级金属单元素溶液标准物质中痕量杂质含量的方法.采用八极杆碰撞/反应池动能歧视模式,以4.3 mL/min的He气碰撞消除40 Ca16O+和40Ar16O+对56Fe+、37Cl16O+对53 Cr+、35...     

晶体硅材料中杂质元素分析方法研究进展

综述了晶体硅材料中杂质元素含量测定的分析方法研究进展。晶体硅材料中杂质元素的分析方法主要包括红外吸收法、二次离子质谱法、中子活化分析法、辉光放电质谱法、电感耦合等离子体质谱法、X射线光谱分析及其它分析方法,引用文献41篇。     

黄原脂棉富集-电感耦合等离子质谱法测定海水中的重金属元素

采用黄原脂棉富集技术,建立了电感耦合等离子质谱法测定海水中重金属Cu,Pb,Zn,Co,Cd含量的方法。完善前处理条件,优化仪器工作参数,选取Rh,Ir作为内标元素,有效克服基体效应及仪器波动影响。Cu,Pb,Zn,Co,Cd的检出限分别为1.26,0.21,0.24,0.0027,0.0051μg/L,RSD为0.77%~3.3%,回收率为87.2%~96.0%。方法适用于海水中重金属元素的含量测定。     

电感耦合等离子体质谱法(ICP-MS)测定土壤中的重金属元素

采用电感耦合等离子体质谱法(ICP-MS)测定了国家标准土壤样品中的部分重金属元素(Cd,Cu,Pb,Zn,Cr,Ni,Mo)的含量,其测定值与推荐值相符,准确度符合国家标准要求。各元素方法的检出限满足要求,相对标准偏差(RSD)介于0.91%~4.3%,加标回收率介于94%~106%。方法简便快速,结果准确,可以运用于大批量地质样品中的部分重金属元素含量的同时测定。