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用高功率的Nd^3+:YAG脉冲激光轰击真空室内的石墨靶,形成激光等离子体雾状物质,在硅衬底上沉积形成类金刚石薄膜,用椭圆偏振光谱法测量不同衬底温度下制备的系列样品的厚度和折射率,发现随着衬底温度的升高,薄膜的厚度减小而的折射率增大,这种可以控制折射率米化的薄膜,可能为光学增透增反膜的制备提供一种新方法。 相似文献
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利用微波ECR全方位离子注入技术,在单晶硅(100)衬底上制备类金刚石薄膜.分析结果表明,所制备的类金刚石碳膜具有典型的类金刚石结构特征,薄膜均匀、致密,表面粗糙度小,摩擦系数小.其中,薄膜的结构和性能与氢流量比关系密切,随氢流量比的增加,薄膜的沉积速率减小,表面粗糙度降低,且生成sp3键更加趋向于金刚石结构,表面能 更低,从而使摩擦系数大幅降低.
关键词:
全方位离子注入
类金刚石碳膜
拉曼光谱
摩擦磨损 相似文献
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利用脉冲激光法研究了在(100)SrTiO3(STO)、(100)LaAlO3(LAO)和(100)Y-ZrO2(YSZ)衬底上外延生长LaCuO4(LCO),La1.85Sr0.15CuO4(LSCO),Nd1.85Ce0.15CuO4(NCCO)和Pr2CuO4(PCO)薄膜的工艺技术。利用X光衍射仪检测了不同条件下制备的薄膜样品结构和取向。X射线衍结果表明,在事适的制膜条件下可以在这三种衬底 相似文献
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