横流准分子激光器的寿命研究

本文研究了混合气体比例、气体钝化、窗口污染和存放时间对横向流动氯化氙准分子激光器寿命的影响。适当地选择各种参量,使该激光器的一次充气寿命大于10~5个脉冲,一次充气寿命大于10~5个脉冲,一次充气存放时间大于1000hr。     

超高分辨差分吸收光谱技术测量火焰中OH自由基

介绍了超高分辨差分吸收光谱测量火焰中OH自由基的实验方法与结果分析.实验以准直氙灯作为光源;使用基长为20 m,反射次数176次,总光程为3 520m的怀特结构多次反射池扩展光程;使用光谱分辨率为3.3pm的超高分辨中阶梯光栅光谱仪作为光谱采集系统.该系统满足对OH自由基单根吸收谱线测量的需求.实验获得了OH自由基在3...     

应用于FAGE技术测量OH自由基的激光器波长修正方法研究

研究了一种应用于气体扩张激光诱导荧光(FAGE)技术测量OH自由基的染料激光器波长修正方法。该方法采用镍铝丝热解水汽产生稳定的高浓度OH自由基,利用重复频率为8500 Hz的染料激光器输出波长约282 nm激光作为光源.激发低压腔内热解产生的高浓度高稳定性OH自由基产生荧光,由普通光电倍增管和光电二极管分别探测激发荧光和出腔激光强度。通过延时信号发生器统一触发激光器和高速数据采集卡并结合LabVIEW软件处理得到单位激光强度的荧光积分强度数据。连续两次扫描激光波长,当第二次扫描的荧光积分强度达到第一次最大值的0.95倍时,停止波长扫描,此时的激光器波长位置即为激发线位置。本文首先扫描激光波长,研究了282 nm激发机制下的OH自由基激发谱;然后在Q_1 2激发线位置探究了气体湿度、氧气含量、进气量以及抽速对荧光积分强度和寿命的影响;并分析了镍铝丝热解水的反应机理,初步认为热解中OH自由基主要来源于氧原子与水的反应。在以上荧光积分强度和寿命影响因素的研究基础上,优化了系统参数,使荧光积分强度波动小于±1.9%。连续多次进行波长修正,修正偏差为0.1pm。该方法能够满足气体扩张激光诱导荧光(FAGE)技术定量精确测量大气OH自由基对波长的要求。     

OH自由基LIF光谱研究

利用脉冲高压直流放电技术产生H超声分子束,以纳秒染料激光二倍频输出(282 nm)作为激发光源,通过LIF光谱测量方法,获得了OH A 2Σ+-X 2Π(1, 0)带转动分辨激发荧光谱,并通过对谱线强度分布的分析和计算,得到X 2Π态H的转动温度为(30±1) K;通过对A 2Σ+-X 2Π (1, 1)带及(0, 0)带跃迁的荧光衰减时间谱测量,拟合得出H激发态 A 2Σ+ (ｖ′=1)及X 2Π (ｖ″=0)的寿命分别为(637±6)和(675±13) ns。     

衰荡光谱法测量OH自由基的理论研究

提出了一种用衰荡光谱法测量对流层OH自由基的新方法,并从理论上推 导出OH自由基浓度与衰荡时间的关系,讨论了该方法的可行性和灵敏度,分析了各种干扰因 素对测量的影响,认为该方法与传统测量OH自由基的方法相比优势较为明显。     

折叠式长脉冲XeCl准分子激光器

本文报道一台新颖的双通道放电泵浦的准分子激光器,采用折叠式光路构成一个较长的激光腔(2m),同时适当拉长放电时间,获得了150ns、150mJ的激光输出。     

高重复频率XeCl准分子激光器

本文报道一台高重复频率XeC准分子激光器的结构及其特性。采用接地栅金属陶瓷闸流管开关和气体横向流动系统及自动紫外火花预电离的放电结构。该激光器最高单脉冲能量为200mJ,最高重复脉冲频率为107Hz,最大平均功率18W。     

低气压下XeCl准分子的形成研究

本工作利用高频介质阻挡放电对较低气压(70～1330 Pa)Xe/Cl_2混合气体中XeCl准分子的形成过程进行研究。通过探测不同Xe/Cl_2混合气压和不同Xe/Cl_2混合比条件下放电等离子体在285～315nm波长范围的荧光发射谱,得到了XeCl准分子在308nm附近的荧光发射以及荧光强度随气压变化曲线。得出该实验条件下生成XeCl准分子的最佳Xe/Cl_2混合比为4:1。     

激光诱导荧光法测量OH自由基中激光产生的OH自由基转动能级布居及其对测量的影响

对激光诱导荧光法测量对流层OH自由基时,激光与大气中的臭氧及水蒸气作用产生的OH自由基的转动态分布及其随时间的演化进行了研究,并对新生的OH自由基对荧光信号的干扰强度进行了讨论。     

准分子宽带泵浦碱金属激光器

基于国内外相关研究成果,对准分子宽带泵浦碱金属激光器(XPAL)的原理进行了阐述,对其优缺点进行了分析,针对半导体泵浦碱金属蒸气激光器(DPAL)发展中所面临的困难,分析了XPAL解决这些困难的潜力。最后综述了XPAL近年的发展,提出了下一步的发展方向。     

XeCl准分子激光光束均匀器及其应用

采用光束均匀器，改善ＸｅＣｌ准分子激光器输出光束强度的分布，其起伏优于２％，用这一装置测量了Ｃ６０薄膜的刻蚀阈值，并完成了准分子激光改变Ｃ６０薄膜电导率的实验研究。     

XeCl激光泵浦的受激布里渊散特性的研究

报道了直接泵浦法和经光栅泵浦法激励的受激布里渊散射的时间特性并比较了两种泵浦方法的受激布里渊镜反射率。     

XaCl激光泵浦的受激布里渊散特性的研究

报道了直接泵浦法和经光栅泵浦法激励的受激布里渊散射的时间特性并比较了两种泵浦方法的受激布里渊镜反射率。     

XeCl（308nm）脉冲准分子激光淀积类金刚石薄膜

利用ＸｅＣｌ（３０８ｎｍ）脉冲准分子激光淀积技术在功率密度５×１０８Ｗ／ｃｍ２、室温、真空度１０－３Ｐａ的条件下，制备出不含氢成分的类金刚石薄膜，研究了类金刚石薄膜的特性及其随制备工艺条件的变化规律。研究了激光诱导的碳等离子体发射光谱，探讨了类金刚石薄膜的形成机理。     

A Quenched Dye Laser Pumped by a KrF Excimer Laser

ＡＱｕｅｎｃｈｅｄＤｙｅＬａｓｅｒＰｕｍｐｅｄｂｙａＫｒＦＥｘｃｉｍｅｒＬａｓｅｒ￥ＸＵＥＳｈａｏｌｉｎ；ＬＯＵＱｉｈｏｎｇ；ＨＵＡＮＧＨｕｉｊｉｅ；ＤＵＬｏｎｇｌｏｎｇ（ＳｈａｎｇｈａｉＩｎｓｔｉｔｕｔｅｏｆＯｐｔｉｃｓａｎｄＦｉｎｅＭｅｃｈａｎｉ...     

Experimental Study of Double XeCl Laser with a Phase-conjugate Stimulated Scattering Cavity

SupportedbytheNationalNatureScienceFoundationofChina.1.Intr0ducti0nExcimcrlasersareonekindofthemostefficientsourcesofUVcoherentlight.Theyareusedinmanyficldssuchasn2atcrialpr0ccssing[lJ,photolitography['J,laserfusion[3Jetal..Inmany0ftheseapplicationstheshort-x`,avelcngthexcimerlaserswith1aserbeamsofhighqua1ityarenecessary.Mostoftheexci113crlasersi1regcncra11yfedbydischargecircuitswhichpumpthegasvol-umebutcausedischargeinstabiliticsinthedischargevolume['1j.Thislastphenomenonisduetothepresen…     

深亚微米激光光刻研究

报道用远紫外准分子激光进行亚微光刻的实验结果，以波长为２４８．３ｎｍ的ＫｒＦ准分子激光为光源，以光管均匀器为主构成照明系统，采用带有平行平板为像差样正板的１：１折反射投影光刻物镜，在两种光刻胶上分别获得了０．６μｍ和０．５μｍ的光刻分辨率。     

Narrow-bandwidth operation of a XeCl laser with SFUR

Ｎａｒｒｏｗ－ｂａｎｄｗｉｄｔｈｏｐｅｒａｔｉｏｎｏｆａＸｅＣｌｌａｓｅｒｗｉｔｈＳＦＵＲＣＨＥＮＪｉａｎｗｅｎ；ＺＨＵＰｅｉｐｉｎｇ；ＸＩＡＯＴｉｑｉａｏ；ＫＯＵＬｅｉｇａｎｇ；ＣＨＥＮＧＹａ；ＷＡＮＧＲｕｎｗｅｎ（ＳｈａｏｐｈａｉＩｎｓｔｉｔｕｔ...     

用于薄膜沉积的XeCl激基激光器研制

以镀制半导体薄膜、巨磁薄膜、金刚石及其它薄膜,外延生长及后续的光刻,激光与物质的相互作用、等离子体研究为目的,设计、研制了脉冲放电激励的XeCl激基激光器.试验结果表明:激光脉宽18ns,单脉冲能量150mJ,矩形光斑大小2cm×1cm,束散角3mrad,最高重复频率5HZ.与同类激光器相比,具有结构简单、造价低廉、性能稳定等特点.