第17届国际集成铁电会议

由复旦大学微电子学系承办的第17届国际集成铁电会议（ISIF2005）于2005年4月17—20日在上海召开。近400位来自17个国家和地区的专家、学者参加了会议。严隽琪副市长出席了大会开幕式并作了讲话，对国际集成铁电会议第一次在中国召开表示衷心的祝贺，复旦大学王生洪校长致了欢迎词。     

第8届国际固态与集成电路技术会议

第8届国际固态和集成电路技术会议（The 8th International Conference on Solid—State and Integrated Circuit Technolog ICSICT-2006）于2006年10月23-26日在上海召开，由中国电子学会主办，复旦大学承办，并受到了IEEEEDS学会、IET、IEEE北京分会等国内外多家学术组织的支持。     

PECVD法制备SiOxNy膜中组份对电学特性的影响

研究了等离子体增强化学气相淀积法制备ＳｉＯｘＮｙ膜工艺中混合气体配双与薄膜中氮、氧含量间的变化关系以及对膜层折射率、介电常数的影响。同时，对研制成的薄膜的ＭＩＳ结构进行了电学测试，探讨了膜层中氮、氧含量变化对薄膜电学特性的影响。     

溶胶—凝胶法制备了BST铁电薄膜材料的机理研究

采用醇法和部分醋酸盐法两种工艺，获得了透明的ＢＳＴ溶胶，凝胶和ＢＳＴ薄膜铁电材料，应用红外光谱，差热分析及Ｘ－衍射方法，研究了该两种合成了工艺的物理化学过程。