玷污硅片的无损检测及洁净工艺

本文讨论了XCD-H红外电视显微镜对硅片的无损检测，发现硅片在切割、研磨工艺中普遍引入了金属杂质拈污，它是降低器件成品率的主要因素之一由实验和应用证实了简单、可行的化学腐蚀洁净硅片法去除站污是十分有效的.     

半导体晶片Fe/Ni玷污的紫外荧光谱研究

针对Si,GaAs半导体晶片中金属杂质玷污的问题,本文提出了紫外光致荧光谱的检测方法。常温下,晶片中的Fe,Ni杂质玷污可产生紫外特征荧光峰。这种新的检测方法是非破坏性的,并适用于φ76.2mm,φ100mm大圆片的直接检验,而且具有较高的检测灵敏度。     

对半导体杂质沉淀无损检测的若干结果

用XCD-H红外电视测微显微镜,通过无损检测来评价半导体材料与器件工艺的质量。本文仅对材料的完整性与芯片制造工艺导致杂质沉淀的问题进行讨论。     

LNO薄膜的射频磁控溅射制备及其电学性能与红外吸收性能

用磁控溅射法在Si（111）基片上以不同溅射功率沉积LaNiO3（LNO）薄膜,基片温度370℃,对沉积的薄膜样品进行快速热退火处理（500℃,10min）。使用电感耦合等离子体原子发射光谱（ICP-AES）精确测量不同溅射功率沉积的LNO薄膜退火前后的组分情况。分析发现：LNO薄膜经退火处理后,其中的Ni／La的比值随着溅射功率增大而越接近理想比1：1,其导电性能也越好。另外,我们以相同工艺制备了不同厚度的LNO薄膜顶电极,四探针电阻测试仪和红外椭圆偏振光谱仪测试其电学与红外吸收性能,实验发现：（1）LNO薄膜的电阻率随膜厚的增加而降低,在大约300nm厚时略又有增加趋势;（2）LNO薄膜的红外吸收系数随其厚度的增加而增加,且随红外波长的增大而减小。     

硅片分凝除铁效应的研究

针对实用硅片研磨损伤层中的铁杂质玷污问题,本文探讨了Al-Fe-Si固溶体系的分凝效应,提出了一种热处理除铁的新工艺。实验样品用紫外光致荧光谱法进行了分析,并用扫描电镜X光能谱检测。结果表明,这一工艺使铁杂质含量明显下降。     

基于数字图像相关方法的不锈钢内部缺陷检测研究

不锈钢材料内部缺陷检测是无损检测领域的研究热点和难点之一,尤其对微小和闭合裂纹的检测.本文提出了一种基于数字图像相关方法的应变集中缺陷识别方法,即对试样表面采用曝光灯进行辐射加热,利用数字图像相关方法定量分析试样表面应变场,通过试样表面高应变区域的表征,实现对金属内部裂纹的检测.结果表明,该方法可以在试样加热过程中表征不锈钢内部裂纹,其有效检测深度可达3.71 mm.     

非晶GeO2-SiO2复合薄膜的制备及其红外吸收谱

采用锗－硅复合靶射频反应溅射技术,制备了ＧｅＯ_２含量ｘ＝０％～８１％的非晶ＧｅＯ_２－ＳｉＯ_２复合薄膜．用自动椭偏仪进行测量,得到复合氧化物薄膜中ＧｅＯ_２的含量．用傅里叶变换红外光谱仪测得此种薄膜的红外吸收谱随ＧｅＯ_２含量的变化关系,并讨论了其结构特征．     

二硫纶联吡啶过渡金属配合物的红外光谱与配位方式

详细报道了二硫纶联吡啶过渡金属配合物Ｍ（ｍｎｔ）（ｂｐｙ），Ｍ＝Ｍｎ（Ⅱ）、Ｆｅ（Ⅱ）、Ｃｏ（Ⅱ）、Ｎｉ（Ⅱ）、Ｃｕ（Ⅱ）、Ｚｎ（Ⅱ）的红外光谱实验数据．对比二硫纶二甲基联吡啶金属配合物Ｍ（ｍｎｔ）（ｄｍｂｐｙ）和二硫纶邻菲咯啉金属配合物Ｍ（ｍｎｔ）（ｐｈｅｎ）的红外光谱，分析了Ｍ（ｍｎｔ）（ｂｐｙ）的简正坐标，并结合热谱、电子光谱等性质研究了二氰基二硫纶和联吡啶与金属离子的配位方式     

邻二甲苯分子结构和红外光谱的DFT研究

用 Onsager 模型和密度泛函B3LYP方法在6-31G^＊基组水平上对邻二甲苯分子的几何构型进行了全优化，计算了最优构型的红外光谱．将计算所得的邻二甲苯的红外频率与其Sadtler标准红外光谱进行了比较，确定了邻二甲苯的分子结构，并对红外光谱进行了归属．同时，对 Onsager 模型的适用性进行了讨论，进而得出了 Onsager 模型适于研究纯液态的邻二甲苯分子结构和红外光谱的结论．     

稀土钻酸盐的电子和红外光谱研究

本文考察了具有钙钛矿型晶体结构的稀土钴酸盐LnCoO_3(Ln=La～Er)的电子和红外光谱,用晶体学和Ln-O,Co-O键的共价性讨论了实验结果,发现中心离子Co~(3+)的电子跃迁受到稀土离子Ln~(3+)的有规律的影响。LnCoO_3有其特定的CoO_6基团振动光谱,Ln-O的共价性随着稀土元素原子序数的增大而加强:重稀土的红外光谱比轻稀土更丰富,有的还出现分裂现象。用IR技术考察了制备等过程中晶体结构的变化。     

非晶GeO2-SiO2复合薄膜的制备及其红外吸收谱

采用锗-硅复合靶射频反应溅射技术,制备了GeO     

硅一体化薄膜微电极电化学传感器件的稳定性研究

研究讨论了硅一体化微机械结构型薄膜微电极电化学传感器件的稳定性及其相关的电化学问题．以电流型ＣＯ２薄膜微电极传感器件为例，通过改进器件构型设计，发展稳定的Ａｇ＋／Ａｇ参比电极取代常规的Ａｇ／ＡｇＣｌ电极，及在硅微机械加工工艺上作相应的变动，使器件中的电化学串音减至最小并得到有效的控制，器件长期稳定性和使用寿命有了大的改善     

氮化碳薄膜的红外吸收光谱(FTIR)研究

测量了采用ＲＦ－ＣＶＤ方法制备的氮化碳薄膜的ＦＴＩＲ曲线，膜层中的Ｃ—Ｎ键、石墨相、ＣＮ键和ＣＮ键的红外吸收峰波数分别为１２５０ｃｍ－１，１５７６ｃｍ－１，１６８７ｃｍ－１和２０５４ｃｍ－１．采用技术措施避免石墨相析出的氮化碳薄膜，其红外吸收谱只出现了Ｃ—Ｎ键的伸缩振动吸收峰（９４８ｃｍ－１）．薄膜中的其它功能基团的存在对Ｃ—Ｎ键的振动频率有一定的影响．     

乳化液膜法对模拟乙酸乙酯废气吸收的研究

摘要：针对水吸收法难于处理非（弱）水溶性有机废气的问题,以煤油为油相,失水山梨醇三油酸酯（Span 85）为乳化剂,制得水相/油相（W/O）乳化液膜,进行了吸收模拟乙酸乙酯废气的研究.结果表明：乳化液膜体系对乙酸乙酯废气吸收效率最高可达89%,1 h内吸收效率大于50%以上;低温、低表面活性剂体积分数和高废气质量浓度有利于提高吸收速率,在实验条件下存在最佳油水比1∶1.     

苯胺分子结构和红外光谱的密度泛函研究

用Onsager模型和密度泛函BLYP方法在6-31G·基组水平上对苯胺分子的几何构型进行了全优化,计算了最优构型的红外光谱.将计算所得的苯胺红外光谱与其Sadtler标准谱进行了比较,用自然键轨道(NBO)方法讨论了氨基的结构,并对红外光谱进行了归属,确定了氨基在苯环上的结构.结果表明,该Onsager模型适于研究液态苯胺分子的结构和红外光谱.     

对二甲苯分子结构和红外光谱的DFT研究

用密度泛函理论(DFT)-BLYP方法在6-31G*基组水平上结合Onsager模型对液态对二甲苯的几何构型进行了全优化,同时对其振动光谱进行了计算.在Gaussian View3.08程序上对其红外光谱进行了归属,并将计算所得的对二甲苯的红外频率与Sadtler标准红外光谱进行了比较.对Onsager模型的适用性进行了讨论,结果发现,该模型为液态对二甲苯的最稳定构型.     

杯[8]芳烃的红外光谱和拉曼光谱研究

研究了对－叔丁基杯［８］芳烃（ｐ－ｔｅｒｔ－ｂｕｔｙｌｃａｌｉｘ［８］ａｒｅｎｅ）的红外和拉曼光谱，并与杯［４］芳烃的红外和拉曼光谱进行了比较．杯［８］芳烃与杯［４］芳烃都属于同一类寡聚物，其红外和拉曼光谱虽有某些相似但彼此之间存在着明显的差异．这些光谱特征的差异说明杯［８］芳烃八聚体的“折迭环”构象与杯［４］芳烃四聚体的“锥形”结构有着显著的差别．     

SiH4凝聚态结构的近边X射线吸收精细结构研究

用多重散射团簇方法对低温下凝聚态SiH-4进行了Si的1 s NEXAFS理论研究,对不同的模型研究表明,此时凝聚相SiH-4形成链状结构.     

几种吡啶酮偶氮类化合物吸收半峰宽的预测研究

利用Gaussian98程序包，对几种吡啶酮偶氮类化合物的基态和最低激发态构型分别用密度泛函的B3LYP法和CIS法进行优化，然后用TD-DFT方法计算它们的最高吸收波长λmax和发射波长λmax^＊，最后将此二波长差的绝对值S与吸收半峰宽Δλ1/2。进行回归分析，得到了较好的线性关系．利用这一关系对其它同类化合物的吸收半峰宽进行预测，结果与实测值比较吻合．     

Pr3+掺杂硒基玻璃的制备及其中红外发光性能增强研究

报道了一种可用于2μm商用激光器有效激发的中红外宽带发光玻璃. 采用真空熔融淬冷法制备了Pr3+掺杂硒基玻璃的系列样品, 测试了样品的吸收光谱以及2μm激光泵浦下的3~5μm中红外荧光光谱, 观察到了由激发态吸收造成的近红外荧光. 通过Judd-Ofelt理论计算了不同浓度Pr3+离子掺杂玻璃样品的强度参数Ωt (t=2, 4, 6)、辐射寿命和受激发射截面等光谱参数, 讨论Pr3+离子局域配位环境对发光特性的影响. 结果表明, 4.6μm和4.8μm对应的跃迁能级具有较好的发光特性, 相比其他体系玻璃具有更大的受激发射截面, 是一种理想的中红外激光基质材料.