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光学薄膜厚度的均匀性 总被引:2,自引:0,他引:2
<正> 光学薄膜厚度的均匀性,是薄膜制备技术中最重要的问题之一。这是因为,光学薄膜的性质,在很大程度上取决于它的厚度。在工作范围内薄膜厚度没有足够的均匀性,就无法获得优质的光学薄膜。有关膜厚分布问题, 相似文献
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椭圆偏振测量技术(简称椭偏技术)是利用偏振光束在界面或薄膜上反射或透射时出现偏振态的变化,研究界面或薄膜特性的一种光学方法。椭偏技术具有抗干扰性强、高灵敏度、对样品无特殊要求等优点,因而在材料科学、微电子技术、薄膜技术、物理学、化学、生物学和医学等领域有着广泛的应用。一、历史回顾追溯椭偏技术的发展,已有近百年的历史。在19世纪初,人们对光波做了大量的观察和研究,发现光波实际上存在着不同程度的偏振态。1669年,丹麦的巴塞林那斯(E.Bartholinus)发现光经过方解石晶体有双折射现象。1808年,法国的马吕斯(E.L.Malus)发现光具有偏振性。 相似文献
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基于DSP的红外焦平面阵列非均匀性实时压缩校正研究 总被引:5,自引:3,他引:2
针对红外成像系统在图像处理中所涉及的数据量大,实时处理难于实现的特点,利用高速DSP硬件对红外焦平面阵列的非均匀性进行实时压缩校正.以两点校正为例,详细阐述了硬件压缩校正原理和实现步骤,并给出实验结果.实验表明:基于DSP的非均匀性实时压缩校正系统生成的图像比较清晰,校正过程简单,程序调试方便,能够有效地解决红外成像技术中实时性难题. 相似文献
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椭圆偏振法测量薄膜参量的数据处理 总被引:7,自引:0,他引:7
利用实时作图的方法,开发设计了椭偏仪数据处理应用程序,该程序不但具有传统查图法简便直观的特点,而且不限制实验条件的选择,能够满足科学研究和实验教学的要求,利用该程序和多入射角测量方法,能够确定薄膜的真实厚度。 相似文献
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TDI CCD光子响应非均匀性噪音分析与测量 总被引:1,自引:0,他引:1
探测器光子响应非均匀性噪音会降低低照度情况下遥感成像系统的成像质量.针对这一现象,本文首先结合探测器的物理性质,对各种噪音源进行了研究;建立了TDI CCD不同级数下的光子响应非均匀性噪音模型,随着曝光量的增加,光子响应非均匀性噪音也线性增加.其次根据曝光级数越多TDI CCD对非均匀性噪音的平滑效应越明显这一现象,提出一种光子响应非均匀性系数与曝光级数之间的关系式,并给出了利用TDI CCD输出图像提取光子响应非均匀性噪音的方法.最后建立了试验系统,通过试验对测试获得的光子响应非均匀性噪音与理论分析计算得出的结果进行了分析. 相似文献
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针对目前红外搜索系统实用性较强的两点非均匀性校正存在难以实时跟踪图像非均匀的不足点,提出一种新的基于两点非均匀性校正和基于场景的实时联合校正算法。该算法利用两点校正提供基础校正系数,并充分利用红外搜索系统大数据量的特点,对实时数据量进行统计、分析,进而找出系统非均匀性随时间的漂移量,解决只采用两点校正算法带来的红外图像退化的问题。多次试验证明,采用联合非均匀校正算法的相对非均匀度由两点校正的5%降到了2%左右,并具有时间稳定性,获得了较好的校正效果。 相似文献
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大面积超导膜均匀性测量装置 总被引:1,自引:1,他引:0
本报道由感应法测量大面积高温超导膜均匀性的装置,其特点是探头可以在液氮温区进行两维移动,从而对大面积膜的不同区域进行测量以达到均匀性测量的目的。测量包括超导转变温度Tc及临界面电流密度Kc的测量。 相似文献
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为了进一步发展测定离子注入损伤层的椭圆偏光法,我们测量了离子注入硅在4000—7000?波长范围内的椭圆偏振光谱,并由此得到它的色散关系。注入条件为150keV,1015cm-2和1016cm-2的砷离子注入。由于在硅样品表面处形成无定形层,我们用单层模型,从(ψ,Δ)-λ数据计算出(n,k)-λ关系,并可定出损伤层厚度。在~4800?处,出现折射率n的谱峰,峰值约4.9。本文还比较了离子注入损伤层、溅射无定形硅膜层、蒸发无定形硅膜层和单晶硅的实验结果。
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抛光垫是化学机械抛光的重要组成部分,其磨损的非均匀性对被加工工件面型精度和抛光垫修整有重要影响。基于直线摆动式抛光方式,研究了抛光过程中抛光垫与工件的相对运动,建立了抛光垫磨损模型,分析了抛光工艺参数对抛光垫磨损及均匀性的影响。研究结果表明,工件与抛光垫的转速比为1.11,正弦偏心直线摆动形式,摆动幅度系数为2,摆动频率系数在0.1~0.2之间,抛光垫表面磨损更均匀,并根据抛光垫表面磨损特性优化了抛光垫形状。优化的抛光垫具有更好的面型保持性,延长了修整间隔,为抛光工艺设计提供理论指导。 相似文献
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非均匀性是红外系统中影响图像质量的重要因素。为了更好地拟合探测器的响应曲线,充分发挥探测器的最佳性能,以获得良好的图像效果,在两点校正的理论基础上提出了一种更为实用的两点校正方法。通过单片机(MCU)控制半导体制冷器(TEC)以产生两个不同的校正温度点,系统分别读取在这两个温度点下所采集的两幅图像,利用两点校正算法计算探测器的响应率和暗电流。通过实验验证,这种校正算法实用,易于实现。 相似文献
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<正> 一、引言传统的真空镀膜,全靠人工操作控制。这样的操作控制,会影响光学薄膜的质量和重复性精度。因此薄膜工作者多年来一直在致力于探索能严格控制各项工艺因素的自动化生产装置或系统。理想的自动化控制系统,应具备显示、控制、运算、反馈修正等各种功能。因此使用微处理机作为全套系统中 相似文献
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本文首次把调制与脉冲光热偏转技术同时置于激光损伤测试装置之中,用以进行光学薄膜激光损伤的实时研究.初步实验结果表明,该方法不仅有助于确定损伤阀值,也有助于分析损伤形貌和损伤过程,包括样品损伤前的行为及样品在重复频率激光作用下损伤的累积效应. 相似文献
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通过合理而有效地按排多种探测仪器,观察到等离子体X射线激光介质的空间非均匀现象。在保证入射激光经最佳组合透镜后焦线均匀性前提下,由实验显示等离子体介质的空间不均匀性主要来自靶材质量和调焦精度。此外,入射激光脉宽的大小变化将会引起等离子体整个辐射空间和时间范围的明显变化。 相似文献