环形抛光的生产工艺

在大口径超精密平面光学元件加工中，环形抛光（简称环抛）是一种重要的抛光技术。由于抛光的过程复杂，并受很多因素影响，环抛加工技术一直未能取得有效突破，也未能形成稳定的生产能力。文中用主动轮方法精确控制校正盘和元件转速，进行抛光胶配比实验及新抛光胶盘的制作、抛光胶盘开槽改进、新制胶盘面形快速收敛、区域环境的控制改进、改变抛光液pH值控制胶盘老化等，以提高环形抛光的效率。     

长立方体的整盘加工

长立方体的整盘加工是利用光胶加工较高精度的棱镜或平面镜所广泛采用的方法。其光胶工具一般包括长方体、立方体和光胶垫板。光胶垫板的制造是属于高精度平面加工的范畴,而长方体和立方体的加工方法又基本相同,所以我们就只着重讨论一下有关长方体的使用、技术要求及加工等问题。     

准LIGA工艺的关键技术

准LIGA（Lithography，Electroforming，Molding）技术采用便宜的紫外光作光源，可加工出较高精度的微结构产品，且加工温度较低，使得它在微传感器、微执行器等微结构产品加工中显示出突出的优点。利用现有实验条件在所内首次开展准LIGA技术的研究，主要研究厚胶光刻和微电铸技术。基本流程为：在导电的基片上经涂胶、前烘、曝光、显影、坚膜等工艺过程得到胶模，再利用该胶模进行微电铸，即金属沉积，沉积过程中需要控制好温度、pH值、电流密度等参数，最后将金属结构和光刻胶进行分离，得到三维立体金属结构，如图1所示。     

改性光刻胶制备纳米压印模版

制备纳米压印中的模版是压印技术的基本条件.目前很多压印模版是利用高硬度材料制作的，但是这些材料比较难以加工，从而限制了纳米压印技术的发展.提出一种利用光刻胶制备纳米压印模版的方法.利用聚焦离子束对光刻胶的改性作用，控制加工的条件，将柔性的光刻胶改性为硬度很高的材料，从而形成纳米压印模版.这种方法具有速度快、制备简单等特点，是一种新颖的加工方式，扩展了聚焦离子束的加工范围，可用于其他的纳米加工领域. 关键词： 纳米压印 光刻胶 聚焦离子束 纳米孔阵列     

硫化铅探测器的光刻技术

<正> 一、引言光刻是一种精密的表面加工技术,是由照相和化学腐蚀相结合,在集成电路和半导体器件表面修刻的关键工艺。随着电子抗蚀胶的发展,为PbS器件的光敏面成形和电极成形提供了一个精密加工的重要手段。二、感光树脂光刻原理PbS光刻技术中所采用的感光胶称为光致     

高速精磨、抛光的方法

本文从精磨模具的制造工艺、抛光模具的制造工艺、聚胺脂平盘的预制、胶盘方法和高速抛光胶的制做方法上主要叙述了定时、定光圈的高速精磨、高速抛光模具的制做方法。通过实践，达到了批量生产的定时、定光圈的要求。     

提高棱镜制造精度的方法

应用干涉测量技术对制造棱镜时所用的光胶垫板、光胶长方体和棱镜光胶盘被加工表面与光胶垫板基准面之间的平行度进行测控,以达到提高棱镜制造精度的目的。     

光胶垫板主要技术指标的给定及应用

光胶垫板技术条件的给定,直接影响到光胶垫板的使用性能和加工效率。通过对其目前所应用规范的分析,指出对其修正的必要性,提出了较合理并经实践验证的有关技术条件,不但确保了使用性能,而且降低了加工和检测的难度,提高了加工效率。     

超薄形零件的制造

本文指出了超薄形零件光圈变形的主要原因和研究了控制薄平面零件变形的几种方法。经过多年的努力，研制出了一种比较理想的粘结胶──ＪＫ－７８型光学加工粘结胶。用这种胶进行超薄形零件加工时，零件贴得牢，不易脱落便于加工，且零件加工过程中厚度无需增加，不用光胶，工艺简单。     

小棱镜退修件的加工

图1所示的小棱镜,在加工过程中通常是成条进行的,用12～13块胶成一条,然后进行粗磨、精磨、抛光、改角等工序,加工完毕后再拆胶。当零件达不到技术要求,需要退修再加工就比较困难,其原因是零件太小,不易单件改角度,而且在胶盘或抛光时,由于加工面过小,容易走动,使角度变化很大。针对上述问题,我们采用了如下的办法来进行小棱镜的退修件加工。     

等离子壁材料钨基纳米粉末的制备

用机械合金化的方法制备了可为等离子壁材料的W-30%TiC(体积百分数)纳米复合粉末。用BET N2吸附法测量了球磨前后复合粉末的比表面,用激光粒度仪测量复合粉末的粒径分布,用X射线衍射分析了粉末的晶粒尺寸,用SEM观察了球磨前后粉末形貌。研究结果表明,W-TiC粉末的最佳球磨参数为：球磨介质比约2:1,球料比约10:1,球磨转速约200r•min^-1,球磨时间约25h。     

高能球磨条件下TiO2相变的实验研究

 采用高能球磨法处理二氧化钛（TiO₂）与双氰胺粉末混合物,对不同球磨时间和球磨转速条件下TiO₂的相变进行了研究。利用X射线衍射仪对回收产物的相组成进行表征。结果表明,在700 r/min的高速球磨条件下,TiO₂发生了由锐钛矿相向金红石相和Srilankite高压相的转变,随着球磨时间的增加,Srilankite高压相和金红石相的含量逐步增加并逐渐趋于平衡;进一步提高球磨转速至1 000 r/min,锐钛矿相向Srilankite高压相的转变占主导,更易于形成Srilankite高压相,Srilankite高压相的质量分数可增加至47.8%。     

国产光学设备平面高效连续稳定生产的条件

国产光学设备平面高效生产是在采用刚性盘上盘后,一次性完成从铣磨、精磨和抛光的全部加工过程。怎样才能做到连续稳定的高效生产？本文从四个方面阐述了它的保证条件。     

高次非球面的工艺技术研究

 高次非球面在光学系统应用中意义重大,但是一直以来缺乏一套快速、有效的工艺方法。利用VC6.0编制了一款面型计算软件以辅助加工,并提出了一种新的高次非球面补偿检验方法。针对一块巡天光谱仪中口径Φ244 mm的一面平面另一面为高次非球面的改正镜开展工艺方法的设计与研究,从铣磨成形开始,根据高次非球面的特点提出了几种新型磨削工艺,建立相应的数学模型。由于高次非球面的特殊性,试验了数控铣磨直接成型法,很大程度上降低后继工艺难度,在细磨和抛光阶段采用数控小工具和整工具研磨相结合,能够很好地克服面型不平滑等技术难题。总结出了一套高效率、低成本、高精度的高次非球面工艺方法。     

半球蓝宝石整流罩制造技术研究

整流罩在高速飞行中既要对空气进行整流,同时又起光学窗口的作用。蓝宝石材料硬度高,加工非常困难。分别从精磨模、精磨磨料、抛光膜层、抛光辅料、机床速度和压力等方面介绍了一种加工蓝宝石整流罩的工艺方法。     

Simulation of ball motion and energy transfer in a planetary ball mill

A kinetic model is proposed for simulating the trajectory of a single milling ball in a planetary ball mill, and a model is also proposed for simulating the local energy transfer during the ball milling process under no-slip conditions. Based on the kinematics of ball motion, the collision frequency and power are described, and the normal impact forces and effective power are derived from analyses of collision geometry. The Hertzian impact theory is applied to formulate these models after having established some relationships among the geometric, dynamic, and thermophysical parameters. Simulation is carried out based on two models, and the effects of the rotation velocity of the planetary disk and the vial-to-disk speed ratio ω/Ω on other kinetic parameters is investigated. As a result, the optimal ratio ω/Ω to obtain high impact energy in the standard operating condition at = 800 rpm is estimated, and is equal to 1.15.     

Study of mechanochemically prepared nanocrystalline La<Subscript>0.8</Subscript>Sr<Subscript>0.2</Subscript>MnO<Subscript>3</Subscript>

The nanocrystalline La_0.8Sr_0.2MnO₃ (LSM) is prepared by varying the revolutions per minute and milling time of planetary monomill during the mechanochemical method. The LSM forms in a relatively shorter milling time with an increase in the milling speed from 250 to 600 rpm. The structural phase transition from orthorhombic to rhombohedral phase in the LSM prepared by ball milling at the speed 250 rpm for 36 h is seen due to sintering it at 700 °C for 4 h. The crystallite size reduces with the increase in both the milling speed and the milling time individually or combined. The microhardness (HV) and sintered density increase with the reduction in the crystallite size. The temperature-activated transition temperature is suppressed by reducing the grain size in the nanometer range. The electrical dc conductivity increases with the reduction in the grain/crystallite size.     

钡铁氧体前驱体高能球磨过程的红外拟合光谱分析

高能球磨法是材料制备过程中常用的方法,通过物料在高速运转的过程中进行磨合而产生晶体空位缺陷,实现元素的掺杂,进而发生化学吸附或化学反应,合成产生新的物相,对于后续合成材料的性能有很大影响.钡铁氧体具有良好的磁性能,被用于功能材料制备的诸多领域.采用高能球磨法制备钡铁氧体前驱体,利用XRD,SEM和FTIR检测方法考察不...     

大口径平面光学元件超精密加工技术的研究

为了解决激光核聚变装置中大口径平面光学元件的批量制造难题,将先进制造技术和传统抛光技术相结合,提出了一种新的工艺方法,即使用ELID(在线电解)磨削代替传统的铣磨和初抛工序,以提高生产效率。利用数控抛光将工件抛光至最终的面形精度,以提高生产效率和减少边缘效应。将连续抛光作为最终加工工序,使加工工件的表面粗糙度和波纹度达到工程要求。实验证明这一新的工艺方法是可行的。     

Efficient evaluation of process stability in milling with Spindle Speed Variation by using the Chebyshev Collocation Method

Chatter is a vibrational problem affecting machining operations, which may cause bad surface quality and damages to the machining system. In recent decades, several techniques for avoiding chatter onset were developed. Among other techniques, the continuous modulation of spindle speed during the cutting process (also called Spindle Speed Variation – SSV) has been demonstrated to be very effective for reducing the chance of chatter onset. However, spindle speed modulation parameters should be adequately chosen before machining, in order to effectively increase the material removal rate. In this perspective, chatter prediction algorithms play a crucial role, since they allow a preventive evaluation of process stability for any given spindle speed regime. State of the art algorithms for chatter prediction in milling with SSV are characterized by extremely long computation times, hindering their practical application in industry. In this paper, an innovative and fast algorithm for chatter prediction in milling with SSV, based on the Chebyshev Collocation Method, is presented. The algorithm was successfully compared with a state of the art algorithm – the Semi Discretization Method – in different experimental configurations and cutting conditions. The results showed that the new method is generally more accurate and from ten to one thousand times faster than the Semi Discretization Method.