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微处理器在微区薄层电阻测试Mapping技术中的应用 总被引:2,自引:0,他引:2
利用微区薄层电阻测试的一种斜置四探针新方法,将扩散微区薄层电阻测试结果绘成全片的灰度图,这种Mapping技术十分有利于评价材料的质量,在测试过程中应生处理器,可立即数字显示相应的测量电压及微区的薄层电阻,加快计算速度并有利于控制探针的合适位置。 相似文献
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微区薄层电阻四探针测试仪及其应用 总被引:12,自引:0,他引:12
用斜置的四探针方法 ,依靠显微镜观察 ,将针尖置于微区图形的四个角区 ,用改进的范德堡公式可以得到微区的薄层电阻。文中对测准条件作了分析。并用该仪器测定了硼扩散片的薄层电阻分布。在测试过程中应用微处理器 ,加快了计算速度 相似文献
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提出对集成电路在线监控中使用相关薄层电阻标样的必要性和重要性。着重介绍了薄层电阻标样和 Mapping技术在验证仪器各档测量薄层电阻误差 ,对外延生长工艺监控 ,判断离子注入退火后薄层电阻均匀性差的原因 ,监视扩散炉内部温度与气流对扩散影响和监控溅射铝层厚度质量等应用。 相似文献
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薄层电阻标样及Mapping在IC制造中的应用研究 总被引:1,自引:0,他引:1
提出对集成电路在线监控中使用相关薄层电阻标样的必要性和重要性。着重介绍了薄层电阻标样和Mapping技术在验证仪器各档测量薄层电阻误差,对外延生长工艺验控,判断离子注入退火后薄层电阻均匀性差的原因,监视扩散炉内部温度与气流对扩散影响和监控溅吕层厚度质量等应用。 相似文献
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文章对国内外开展微区薄层电阻测试的方法进行了综述,特别对改进范德堡四探针技术方法的测试原理、测试过程与测试结果进行了论述与分析,对微区电阻测试方法的进一步发展提出了一种可操作的方法,并研制出新型四探针测试样机。 相似文献
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对目前使用的测微光度计的检流计式的测光系统进行了改进。采用光电倍增管作为探测器,信号处理采用微处理技术,使其精度高,测光线性好。用软件完成一些计算功能.测量谱板的谱线时,可直接读出透射比、黑度和换值黑度。 相似文献
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介绍了用有限元方法计算半导体方块电阻四探针测试中二维点电流势场的模型并且证明了其正确性。由于有限元方法对边界没有限制,该方法为方块电阻测试中精确确定边界修正系数,更重要的是为微样品测试结构确定提供直接明了的理论依据。 相似文献
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为了解决现有微电阻测量中采用的测试电流过大、精度不高的问题,给出了一种低测试电流的微电阻测量系统的设计。采用高精密恒流源作为电流源,具有很好的稳流特性、低漂移及低噪声的运算放大器ICL7650和OP07ADJ构成精密放大电路,通过数据的实时采集、A/D转换,由单片机进行数据的处理和显示,主要对微弱信号的放大原理以及测量... 相似文献
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电阻网络元模拟算法及其在IC设计中的应用 总被引:2,自引:1,他引:1
提出了一种模拟任意形状的薄层电阻的方法--电阻网络元模拟算法。将模拟值和计算值进行比较表明,该方法具有精度高和操作简单的优点,从而在IC的设计中获得广泛的应用。 相似文献