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利用摩擦诱导选择性刻蚀的方法,可在砷化镓表面加工一系列的纳米结构;该纳米加工方法无需掩膜,且加工效率高、成本低,具有应用前景.为了进一步研究砷化镓表面摩擦诱导选择性刻蚀的特性,优化加工参数,本文作者在不同温度下利用H_2SO_4-H_2O_2溶液对砷化镓表面进行选择性刻蚀,考察了刻蚀后所形成的凸起高度及砷化镓表面粗糙度随刻蚀时间和刻蚀温度的变化规律,阐释了温度对砷化镓表面刻蚀的影响机制;最后从加工高度和表面粗糙度着眼,探讨了砷化镓表面摩擦诱导选择性刻蚀的最佳条件.本研究为砷化镓表面选择性刻蚀加工的条件优化提供了重要依据. 相似文献
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针对微机械谐振器中存在的幅度-频率耦合带来振动稳定性变差的问题,提出了一种闭环自激控制的直流参考电压约束方法来抑制谐振器振幅。首先,从理论上分析了决定谐振器临界振幅的因素,利用计算机视觉辅助测量方法和高频方波调制方法获得相关尺寸参数及品质因数计算得到微机械谐振器的临界振幅。然后,提出频谱边带比的振动幅度测试方法实现封装后的振动幅度测试。最后,构建了自激振荡闭环测控电路分析模型,根据临界振幅计算得相应的临界直流参考电压为0.866V。恒温实验测试表明:直流参考电压为0.4 V(小于临界参考电压)时,谐振器能够稳定地保持恒定幅度振动;直流参考电压为1.0 V(大于临界参考电压)时,谐振器振动幅度不恒定,谐振器稳定性变差,所提方法通过确定临界参考电压值,并将直流参考电压约束在临界参考电压以内能有效抑制幅度-频率的耦合。 相似文献
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中频感应局部加热弯管回弹的研究 总被引:4,自引:0,他引:4
对中频感应局部加热弯管在不同钢管材料及规格,不同弯曲半径及弯曲角度等工艺参数时的加载和卸载的力能参数,应力应变进行了分析和实验研究,提出了中频感应局部加热弯制大直径钢管的回弹理论,计算结果与有限元模拟结果以及实际弯制的20,10CrMo910和12Cr1MoV等钢管弯头实测的回弹量吻合良好。 相似文献
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应用云纹干涉法测量力电耦合作用下铁电陶瓷的破坏行为 总被引:1,自引:0,他引:1
本文采用云纹干涉系统对的电陶瓷在力电耦合载荷作用下裂纹尖端的力学行为进行全场实时非接触动态细观测量,采用三点弯实验获取裂纹尖端区域在力电耦合作用下与电场集中有关的电致伸缩位移场,应变场,通过分析实验取得的云纹图得到了裂尖区域的位移场,应变场,发现裂尖区域就变随着与裂尖距离的增加衰减的速率比没有电场作用下的理论计算结果要快。 相似文献
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小型静电陀螺仪信号读取方案研究 总被引:1,自引:1,他引:1
信号读取技术是小型静电陀螺仪的一项关键技术,中介绍了赤道锯齿刻线的光电信号读取方案,分析了图形刻线误差,转子转速误差,耦合误差,转子线位移误差所产生的测角误差,研究了图形刻制方法,并作了初步试验。研究结果对信号读取系统的设计与研制具有参考价值。 相似文献
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等离子喷涂Al2O3-13wt.%TiO2涂层在干摩擦条件下的磨损机制转变图 总被引:2,自引:0,他引:2
研究了等离子喷涂AlO3-13wt.%TiO2涂层/WC硬质合金在干摩擦条件下,载荷为10~100 N和速度为0.1~0.5 m/s范围内涂层的磨损行为,并通过对涂层磨损表面的显微分析,建立了这种涂层的磨损机制转变图.结果表明:等离子喷涂AlO3-13wt.%TiO2涂层在低载荷低滑动速度条件下,即涂层的磨损率在0.1~1.0 mg/m条件下,磨损机制主要是塑性变形和显微犁削;在中速中载下,即涂层的磨损率在1.0~3.0 mg/m条件下,磨损机制主要是涂层的轻微断裂和颗粒剥落;在高速高载下,即涂层的磨损率在大于3.0 mg/m的条件下,磨损机制主要是涂层的断裂和剥层. 相似文献
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谐振子弹性系数和阻尼系数的不对称是引起半球谐振陀螺漂移的主要原因。根据半球谐振陀螺的动力学模型,用轨迹图法对谐振子的振动特性进行了研究。轨迹图直观地反映了谐振子的振动特性。当谐振子处于理想状态并且有角速率输入时,谐振子的轨迹图是以一定的角速率进动的标准椭圆。谐振子的非理想性严重影响陀螺的正常工作。当谐振子弹性系数不对称时,谐振子的轨迹图会发生明显变形。阻尼系数的不对称会导致振动平面向最低阻尼轴漂移。因此,消除弹性系数和阻尼系数不对称的影响对提高半球谐振陀螺的精度有重要意义。 相似文献
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为了分析半球谐振陀螺仪非敏感轴X、Y轴存在比力输入时,对输出角速率解算精度的影响,首先,利用环形谐振子的动力学方程,得到了径向振动方程。然后,分析了存在比力输入时,谐振子唇沿中心将偏移激励器和位移传感器所确定的圆心,并根据闭环检测原理,推导了陀螺仪解算角速率误差的表达式,仿真计算了相对偏移量对输出结果的影响程度。最后,利用分度头进行了非敏感轴的多位置翻滚试验,验证了输出中存在与非敏感轴比力输入有关的误差。 相似文献
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薄膜润滑中的应力偶效应 总被引:1,自引:2,他引:1
利用应力偶理论计算了薄膜润滑的膜厚特性.计算结果表明:应力偶的作用相当于增加润滑剂粘度,其可以增加油膜厚度,提高承载能力;同时应力偶作用依赖于油膜尺寸,润滑油膜越低,其影响越明显. 相似文献
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针对挠性接头细颈壁厚测量时所遇到的壁薄易变形,测量空间狭小等问题,在介绍了目前几种测量接头壁厚方法及其优缺点后,重点阐述了双测头电感测量法的工作原理,测量设备的结构装置,对于测量结果采用和差演算法来有效消除测杆变形这项主要误差来源。在分析整套设备的各个误差分量后得出:该装置测量精度达到了1um,该设备具有结构简单,易于实现,测量速度快的优点。另外还可以通过更换相对应的测量夹具分别测量内外接头细颈的壁厚及其锥度。 相似文献
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本文根据烟草机械高速烟支质量检测装置中陶瓷涂层的实际工作情况,对比分析了Al2O3-40%TiO2、Al2O3-20%TiO2、WC-12%Co和Cr2O34种涂层材料与浸树脂石墨作为摩擦配副材料时的磨损性能,并根据耐磨性好的原则对涂层材料进行选择,以达到减少零件失效、降低维修费用的目的.结果表明:在相同条件下,涂层材料磨损率由大到小分别为Al2O3-40%TiO2、Al2O3-20%TiO2、WC-12%Co和Cr2O3,其中Cr2O3涂层的耐磨性最好.陶瓷涂层材料的主要磨损机理为黏着磨损、脆性剥落和磨粒磨损. 相似文献
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半球谐振陀螺的机理分析 总被引:2,自引:0,他引:2
—本文论述了半球谐振陀螺的组成;用能量法建立了旋转轴对称壳体的动力学方程,研究了半球谐振频率;推导了半球谐振子四波腹振型的形成,同时分析半球谐振子环向振型的进动性,说明了不同的拾振原理。 相似文献