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碳纳米管(CNT)场致发射的阴极结构通常用丝网印刷和光刻的工艺制作。此工作中,为提高制作精度和降低制作成本,用现有的CNT层作底部曝光的掩模版,用感光性介质浆料将电介质上的孔精确地直接制作在CNT发射体之上,从而避免了烧结收缩和光刻偏移引起的误差,本文以10"一般三级结构的FED作为例子说明此工艺。 相似文献
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真空微电子平板显示器(FED)进展述评 总被引:2,自引:0,他引:2
本文描述了场致发射阵列平板显示器(FieldEmissionDiplay)工作原理,和其他平板器件性能的比较,关键技术及未来市场发展前景。 相似文献
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发光均匀度是FED器件的一个重要的技术参量;本文介绍了对于FED器件发光均匀度的新测量方法及提高FED器件发光均匀度的新方法。 相似文献
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本文叙述了场致发射的机理及几种不同类型场致发射阴极的特点,并对场致发射技术在真空微电子器件方面的应用进行了分析. 相似文献
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集成真空微电子器件的研究及展望 总被引:1,自引:0,他引:1
概述了集成真空微电子器件的基本理论、特性、工艺制备及发展现状。现在集成真空场发射阵列的发射电流密度可做到1×10~3A/cm~2,单个锥尖跨导为5.0μS。对于锥尖密度为1×10~7锥尖/cm~2,总跨导可以达到50S/cm~2。一种新的采用真空微电子技术的微带放大器,在频率1THz 下能输出功率1~50W。指出真空微电子技术将是设计和制备新型亚微米器件的有效方法。 相似文献
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本文简述了场发射真空微二极管的工作特点、结构参数设计考虑及制备工艺技术,对键合法制备的样品进行了测试分析:起始发射电压5~6伏,反向击穿电压大于70伏发射在田极电压为20V时达0.5mA。 相似文献
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本文介绍了一种对真空微电子器件进行电特性数值模拟的有限差分法。计算了场致发射电流与锥体的曲率半径r_(tip)、锥体半角度θ_(1/2)、栅孔半径r_g和锥体高度h的依赖关系。栅压V_g=100V,锥体发射阴极对曲率半径r_(tip)、栅孔半径r_g的电流灵敏度分别是3.7×10 ̄7A/nm和1.1×10 ̄3A/μm。 相似文献
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尽管玻璃基板尺寸不断增大,但是单块整屏并没有突破目前的尺寸。拼接显示则提供了完美的解决方案,使远视距、高背景光环境下的大面积显示成为可能。下文是对拼接技术的综述。 相似文献