非球面零检验的反射式Offner补偿器设计

根据三级像差理论，推导反射式Offner补偿器在检验光路中的初始结构参数计算公式，讨论计算机最佳化设计方法，并给出设计实例。     

非球面零检验的Dall补偿器设计

根据三级像差理论,推导Dall补偿器在检验光路中几种形式下的初始结构参数计算公式。讨论计算机最佳化设计方法并给出设计实例。     

非球面干涉仪零检验的补偿器设计

根据三级像差理论推导非球面干涉仪零检验的单透镜补透器在几种检验光路中的初始结构参数计算公式，讨论最佳化设计方法，并给出设计实例。     

非球面零检验的镜式补偿器设计

根据三级像差理论，推导镜式补偿器在检验光路中初始结构参数计算公式，讨论计算机最佳优化设计方法，并给出设计实例。     

非球面零检验的镜式补偿器设计（续一）

在文献（１）的基础上，推导了光源是发散光和平行光时，镜式补偿器位于被检测非球面曲率中心之外的初始结构的参数计算公式，讨论计算机最佳优化设计方法，并给出设计实例。     

大口径透镜凸面零检验的补偿器设计

根据三像差理论，推导单透镜补偿器在检验光路中几各形式下的初始结构参数计算公式，并给出设计实例。     

设计非球面检测用补偿器应注意的几个问题

介绍了补偿法检测非球面的原理,举例说明了在补偿器的设计中应注意事项。在补偿器中的每个面及其球心都不要位于其前面的光学元件组成的光学系统的焦点附近,以避免其反射光在有效干涉场内与参考光干涉,从而影响检测结果;补偿器中入射角大的面尽量前移,以降低公差要求;对补偿器材料的光学均匀性要认真核算以确保最后的检测结果有效。     

特大非球面度离轴非球面补偿器结构设计与装调

针对快焦比特大非球面度离轴非球面反射镜,设计了3片式Offner补偿器。为应对3片式补偿器对中心偏差及镜间隔严格的公差要求,设计了相应的补偿器镜筒结构。该结构使透镜中心倾斜及平移调整相分离,实现补偿器的高精度装调。根据中心偏差测量仪的测量结果,2片补偿镜之间倾斜误差4.4″,平移误差3.5 μm, 镜间隔误差3.8 μm;补偿镜组与场镜之间倾斜误差5.3″,平移误差4.2 μm, 镜间隔误差7.2 μm,满足检测使用要求。利用该补偿器及4D动态干涉仪对精抛光阶段的离轴非球面进行检测,面形结果PVq值达到0.135λ,RMS值达到0.019 5λ,优于设计要求。     

用计算全息标校补偿器的技术

用计算全息(CGH)模拟理想非球面主镜的反射波面,用补偿器对该计算全息进行检验,只要计算全息的制作误差能够满足要求,就能实现直接对补偿器的标校。介绍了计算全息标校补偿器的原理、方法,并进行了误差分析。实验采用电子束制作的计算全息实现了对850 mm F/2抛物面主镜补偿器的标校,补偿器产生的标准非球面精度不低于计算全息模拟的主镜面形精度,均方根(RMS)误差为0.012λ。研究表明,用计算全息模拟主镜反射波面对补偿器进行标校是一种行之有效的方法,结合先进的微电子制造技术,可实现对补偿器的高精度标校。     

大数值孔径、高次非球面透镜的加工与检验

通过一空间相机光学系统中某透镜的高次非球面表面加工过程,提出了一种基于小磨头数控光学表面成型技术(CCOS,Computercontrolopticalsurfacing)和非球面轮廓检验、零位补偿检验技术的中等口径高次非球面光学表面的加工、检测方法,并且给出了补偿器实际光学设计结果。文中采用这种方法加工的高次非球面表面,最终精度优于1λP V(λ=632.8nm),满足了设计要求。对这种技术的适用范围进行了简明的讨论。     

采用非球面光学塑料物镜消除平视取景器畸变

定性分析影响取景器畸变的因素和物镜非球面参数与畸变的关系,并通过一个具体实例介绍消畸变非球面取景器物镜的设计方法。     

非球面干涉测量方法的原理误差分析

在非球面干涉测量中,常用标准球面波作为测量光束,由于入射光线不垂直于被测表面,因此反射波面的波差并不能真实反映被测非球面与顶点球面的偏差,还会引起严重的测量误差。本文从理论上对这一误差进行分析和讨论。     

非球面反射镜的复制

介绍制作非球面的几种复制法及复制工艺。简述复制法中的几项具体技术,指出复制技术的发展方向。