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相似文献
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1.
国产SiC衬底上利用AIN缓冲层生长高质量GaN外延薄膜   总被引:6,自引:6,他引:0       下载免费PDF全文
采用高温AlN作为缓冲层在国产SiC衬底上利用金属有机物化学气相外延技术生长GaN外延薄膜.通过优化AlN缓冲层的生长参数得到了高质量的GaN外延薄膜,其对称(0002)面和非对称(1012)面X射线衍射摇摆曲线的半峰宽分别达到130 arcsec和252 arcsec,这是目前报道的在国产SiC衬底上生长GaN最好的...  相似文献   

2.
一种外延生长高质量GaN薄膜的新方法   总被引:5,自引:0,他引:5       下载免费PDF全文
采用化学方法腐蚀c-面蓝宝石衬底,以形成一定的图案;利用LP-MOCVD在经过表面处理的蓝宝石衬底上以及常规c-面蓝宝石衬底上外延生长GaN薄膜.采用高分辨率双晶X射线衍射(DCXRD)、三维视频光学显微镜(OM)、扫描电子显微镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)进行分析,结果表明,在经过表面处理形成一定图案的蓝宝石衬底上外延生长的GaN薄膜明显优于在常规蓝宝石衬底上外延生长的GaN薄膜,其(0002)面上的XRD FWHM为208.80弧秒,(1012)面上的为320.76弧秒.同时,此方法也克服了传统 关键词: 表面处理 MOCVD 横向外延生长 GaN薄膜  相似文献   

3.
溶胶-凝胶法制备ZnO纳米薄膜的工艺和应用   总被引:5,自引:0,他引:5  
ZnO是一种重要的功能材料和新型的Ⅱ-Ⅵ族宽禁带半导体材料.采用溶胶-凝胶(Sol-gel)工艺在Si(100)、Si(111)和c面蓝宝石衬底上成功制备出高质量的ZnO纳米薄膜,并用XRD、SEM、AFM等方法研究了薄膜的特性.首次以制备的ZnO纳米薄膜为缓冲层,在n型Si(100)衬底上采用低压化学气相沉积(LPCVD)工艺外延生长了SiC薄膜,得到了低载流子浓度、高电子迁移率和高空穴迁移率的两种SiC薄膜样品,分析了该薄膜的性能.  相似文献   

4.
用低压金属有机气相外延方法设备在蓝宝石衬底两个相反取向的C面上同时生长六方相氮化镓薄膜,对此进行了扫描电子显微镜、透射电子显微镜的分析和研究.发现当衬底表面是向籽晶面时,生长的六方相氮化镓薄膜为(0001)取向,而当衬底表面是背籽晶面时,生长的氮化镓薄膜则为(0001)取向.  相似文献   

5.
通过直流磁控反应溅射装置,在蓝宝石(0001)衬底和氮化的蓝宝石(0001)衬底上成功制备了氮化铝(AIN)薄膜。利用X射线衍射仪、原子力学显微镜和双光束扫描分光计,研究了蓝宝石氮化对AIN薄膜结构、应力、晶粒尺寸、形貌和光学性质的影响。X射线衍射研究表明:制备的AIN薄膜具有较强的(0002)择优取向,蓝宝石衬底的氮化不仅能够改善AIN结晶质量,而且还可以减少薄膜的残余应力。但是,原子力学显微镜结果表明:在蓝宝石衬底上制备的AIN薄膜的晶粒大小分布比在氮化的蓝宝石衬底上制备的AIN薄膜的晶粒大小分布更加均匀。我们认为,蓝宝石衬底在氮化的过程中形成的AIN具有过多的位错和缺陷,正是这些位错和缺陷造成了在氮化的蓝宝石衬底上制备的AIN薄膜的晶粒大小分布的不均匀性。吸收光谱显示:蓝宝石衬底的氮化并没有对AIN薄膜的光学性质产生明显的改善。  相似文献   

6.
分子束外延生长的极性与非极性BeZnO薄膜的比较研究   总被引:1,自引:1,他引:0  
采用分子束外延设备在不同晶面蓝宝石衬底上(c面,a面,r面)生长BeZnO薄膜。使用复合缓冲层生长得到了高质量的BeZnO薄膜,X射线衍射半高宽达到600 arcsec。在c面与a面蓝宝石衬底上生长得到了极性BeZnO薄膜,在r面蓝宝石上生长得到了非极性BeZnO薄膜。共振拉曼光谱测试结果表明薄膜中的Be含量在同一水平。相对于c面与a面蓝宝石上的极性BeZnO薄膜,生长在r面蓝宝石衬底上的非极性BeZnO薄膜具有较大的表面粗糙度以及较大的半高宽,但是其光致发光谱中的紫外发光峰远远强于极性BeZnO薄膜,并且黄绿光发光峰弱于极性BeZnO薄膜。  相似文献   

7.
柱状ZnO阵列薄膜的生长及其发光特性   总被引:2,自引:0,他引:2       下载免费PDF全文
采用一种设备简单、原料低廉的新型方法,在镀有ZnO先驱薄膜的(0001)蓝宝石上利用水热 法制备出了柱状ZnO阵列薄膜.用扫描电镜(SEM),X射线衍射(XRD)对样品的形貌和结构进行 了表征,结果显示ZnO薄膜为柱状阵列,基于蓝宝石衬底沿c轴择优生长,且(0004)摇摆曲线 半高宽度(FWHM)约为1.8°.此ZnO阵列薄膜具有很强的紫外发射光谱(PL). 关键词: 柱状ZnO阵列薄膜 水热法 (0001)蓝宝石 PL谱  相似文献   

8.
本文采用低温光致发光谱研究了蓝宝石(0001)衬底上MOCVD侧向外延生长的六方相GaN中的堆垛层错, 并使用同步辐射XRD方法研究了该堆垛层错以及立方相和六方相GaN的相对取向.  相似文献   

9.
氮化铝单晶薄膜的ECR PEMOCVD低温生长研究   总被引:10,自引:0,他引:10       下载免费PDF全文
秦福文  顾彪  徐茵  杨大智 《物理学报》2003,52(5):1240-1244
采用电子回旋共振等离子体增强金属有机物化学气相沉积(ECR-PEMOCVD)技术,在c轴取向的蓝宝石即α Al2O3(0001)衬底上,以氮化镓(GaN)缓冲层和外延层作为初始层,分别以高纯氮气(N2)和三甲基铝(TMAl)为氮源和铝源低温生长氮化铝(AlN)薄膜.并利用反射高能电子衍射(RHEED)、原子力显微镜(AFM)和x射线衍射(XRD)等测量结果,研究了氢等离子体清洗、氮化和GaN初始层对六方AlN外延层质量的影响,从而获得解理性与α Al2O3衬底一致的六方相AlN单晶薄膜,其XRD半高宽为1 关键词: AlN 氢等离子体清洗 氮化 GaN  相似文献   

10.
利用混合物理化学气相沉积法(Hybrid physical-chemical vapor deposition简称为(HPCVD)在(0001)SiC衬底上制备了干净的MgB2超导超薄膜.在背景气体、压强、载气氢气流量以及B2H6的流量一定的情况下,改变沉积时间,制得一系列MgB2超薄膜样品。通过观察样品的表面形貌变化探究了MgB2超薄膜的生长过程.该系列超薄膜的生长遵循Volmer-Weber岛状生长模式且沿c轴外延生长.以20nm超薄膜作为例子,可知其表面连接性良好,超导转变温度Tc(0)≈38.5K,临界电流密度Jc≈0.82×107 A/cm2,表明了利用HPCVD在(0001)SiC衬底上制备的MgB2超薄膜有很好的性能.这预示其在超导电子器件上具有广阔的应用前景.  相似文献   

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12.
研究了Er1.0P5O14铒非晶玻璃的红外量子剪裁现象. 从吸收谱和激发光谱的计算比较中肯定了Er1.0P5O14非晶 玻璃的1537.0 nm红外荧光为多光子量子剪裁荧光. 从Er1.0P5O14非晶玻璃的可见和红外荧光发射光谱中发现激发2H11/2, 4G11/24G9/2能级所导致的4I13/24I15/2量子剪裁红外荧光很强;基于自发辐射速率、无辐射弛豫速率和能量传递速率等参数的计算,对其量子剪裁机理进行了分析.发现起源于基态的强下转换能量传递{2H11/24I9/2,4I15/24I13/2},{4G11/24I13/2, 4I15/22H11/2},{4G9/24F7/2,4I15/24I13/2}和{4G9/24I13/2, 4I15/22H11/2}是导致Er1.0P5O14非晶玻璃具有强的三光子和四光子量子剪裁红外荧光的原因.研究结果对改善太阳能电池效率有一定意义.  相似文献   

13.
An attempt is made to synthesize Nd2Co14C compound by mechanical alloying Nd16Co76B8−xCx (0x8) alloys and subsequent annealing. Phase formation and magnetic properties of Nd2Fe14B-type Nd16Co76B8−xCx alloys and their hydrides are investigated. The Nd2Co14(B,C) phase with Nd2Fe14B-type structure is formed for Nd16Co76B8−xCx (0x7) alloys, while NdCo7Cδ phase with TbCu7-type structure is observed in Nd16Co76C8 alloy. The lattice parameter c of the Nd2Co14(B,C) phase decreases with increasing the carbon content. A limit volume of the unit cell to form the Nd2Fe14B-type structure is estimated to be 0.870 nm3. The spin-reorientation temperature TSR increases with increasing the carbon content, due to an enhancement of magnetocrystalline anisotropy caused by carbon substitution for boron. After hydrogenation, the lattice expansion is observed for Nd16Co76B8−xCx (0x7) alloys. The spin-reorientation temperature of Nd16Co76B8−xCxHy (0x7) is much lower than that of the host alloys. Some structural and magnetic properties of hypothetic Nd2Co14C and Nd2Co14CHy compounds are estimated by extrapolation.  相似文献   

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Abstract

Earlier, when investigating H-complexes of the RO-H…BR1 type in solutions 1–3 and crystalline state 4, the isotopic shift for frequencies of the stretching vibrations (OH) at substitution of H for D was shown to systematically decrease with increased strength of the H-bond. In strong H-complexes, the (OH) and (OD) bands in the i.r. spectra have a complex structure: depending on the strength of the H-complex in a wide range of frequencies (3000–1000 cm?1), several submaxima caused by a Fermi-resonance interaction of the fundamental tone of (OH) with combinations and overtones in the bending vibrations of R-O-H were observed 1–5. Hence, the frequencies and intensities of the (OH) and (OD) bands in strong H-complexes should be considered as corresponding to the gravity centre (°) and overall intensity (A°) of all the  相似文献   

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