挠性石英加速度传感器伺服电路小型化研制

本文简要介绍一种通用的加速度传感器和相应的利用硅工艺技术与混合集成电路技术研制出的一种小型化伺服电路。     

整合三轴线性加速度和角速度传感器的惯性传感器摸块

这款新产品是6个自由度的iNEMO传感器模块,较意法半导体现有产品尺寸缩减近20％,为今天空间受限的消费电子应用（如智能手机、平板电脑等便携式电子设备）带来先进的运动感应功能,让设备厂商能够研制出外观设计更加纤薄时尚的电子产品。     

新颖型弹性膜硅加速度传感器芯片的应用

介绍了最新设计的双E型硅传感器芯片的制作工艺,通过控制不同敏感硅芯片弹性膜的厚度,即可制得不同量程的双E型敏感硅芯片和加速度传感器.     

惯性传感器的发展趋势

概述惯性传感器的主要发展趋势－－固态化、微型化和低成本民用化。     

气流式惯性器件——压电射流速率陀螺与气体摆式加速度传感器

简述气流式惯性器件的国内外现状，压电射流速率陀螺与气体摆式线性加速度传感器的原理、结构、性能和用途。文中提出该惯性器件的关键技术及实用化的技术途径。     

压电惯性式振动加速度虚拟仪器测控系统

基于虚拟仪器技术研发了压电惯性式振动加速度测振系统,分析了压电惯性式振动加速度传感器的力学模型、工作原理及其测量电路,在信号处理中运用了相关滤波原理.试验结果表明,采用高速数据采集卡、压电传感器及LabVIEW2010软硬件平台实现了准确、高效、实时的自动化测振系统.     

气流式加速度传感器

文中首次报导气流式加速度传感器，提出采用气体作为敏感质量体，采用热线作为敏感元件。加速度较小时，从样机得到输出与加速度之间的线性关系。     

单片集成三轴加速度传感器

基于硅压阻效应原理,单片集成三轴加速度传感器通过双惯性质量块和六梁结构组成敏感结构,其中四个L型梁对称布置用来测量x和y轴加速度;中间的对称双梁测量z轴加速度。通过工艺兼容技术,在同一芯片上制作出MEMS敏感结构和CMOS信号处理电路。利用ANSYS软件对所设计的结构进行了应力模拟分析,并对产品的加工工艺进行了描述。通过对研制出的单片集成三轴加速度传感器进行性能测试,验证了模拟分析的合理性,最终产品满足设计要求。所研制的产品具有体积小、可靠性高、易于批量生产等优点,可广泛应用于导航系统、汽车工业以及消费电子产品等领域。     

奇妙的飞思卡尔TM加速度传感器

加速传感器工作原理及架构飞思卡尔传感器产品主要分为三大部分:惯性传感器、压力传感器与安全和报警IC。其中,惯性传感器即为加速传感器,可以用于侦测倾斜、振动及撞击,因此可以用在汽车乘客安全、振动监控、运动诊断、防盗装置、电器平衡、地震检测、倾角／倾斜仪及便携式电子设备中。     

3255系列新型加速度传感器

<正> 本文介绍的3255系列新型压阻式加速度传感器,是美国EG＆G集团IC传感器公司的新产品,主要用于汽车正面及侧面防冲击气袋系统、军用保险系统、工业振动监控记录仪器等。 结构与原理 该系列传感器由两块芯片组成:一是由硅片经微细加工     

MEMSIC传感器让运动更精彩

传感器是各种控制都少不了的重要角色,准确、迅速的控制对传感器的量程、精度、灵敏度等指标都提出了越来越高的要求,这一点在加速度测量中也不例外。 加速度测量在运动控制中起着重要的作用。在汽车、洗衣机、机器人甚至游戏手柄里都能找到加速度传感器的身影。正因为加速度传感器有着如此广泛的应用,市场对这种产品的需求也呈现出多样性的特征,而且常常对体积与性能的要求比较苛刻。在小型化方面,MEMS(微电子机械系统)技术显示出良好的前     

惯性传感器

ADIS16365是一款6自由度（6DoF）惯性传感器——ADIS16365，它扩展了ADI iSensor智能传感器产品系列。ADIS16365IMU（惯性测量单元）实现了高性能、简单性与改进的数据接口的完美结合，与其他同类IMU相比，具有更快的响应时间和更低的功耗。对于高性能平台控制与导航设备的设计工程师来说，ADIS16365使得复杂的运动检测设计更加容易且性价比更高。     

影响气流式加速度传感器性能的因素

影响气流式传感器性能的因素有工艺结构设计、检测电路的设计等，作者用理论和实验的方法对其进行了分析和研究，结果证明选择合理的工艺结构、适当的电源电压，可提高气流式加速度传感器的性能。     

低温漂过载加速度传感器

过载加速度传感器,是采用了最新的MEMS技术与微电子技术研制的一种新型硅压阻加速度传感器,集加速度敏感元件、信号放大、饱和控制及温度补偿等于一体,对传统的电桥放大电路和温度补偿电路进行了改进,使得传感器温漂更小且具有可编程补偿温度和增益调整等功能.     

加速度传感器信号处理算法

随着智能设备的进一步普及和发展,人机交互系统成为研究者关注的重点.本文针对加速度传感器自身的应用特点,设计了一套动作识别系统,利用低维数据实现对人体上肢动作的识别.并通过实验验证了系统自身的识别率.引入互相关矩阵消除数据间的相关性,实现周期信号的正确分割.     

加速度传感器QMA5981

加速度传感器QMA5981产品具有小尺寸、低功耗、高精度的优异特点,并内置智能体感算法,更适用于智能可穿戴领域。矽睿科技和华虹宏力共同创导的中国创造与中国制造逐渐显现其技术和资本优势,满足客户对于低成本和高性能MEMS传感器日益增长的需求。     

微机械惯性传感器

综述微机械惯性传感器的基本工作原理和典型的器件结构,展望它的未来发展趋势。